加压储藏机构及其减压喷雾成膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种加压储藏机构及其减压喷雾成膜装置。所述加压储藏机构包括：第一容器，其用于容纳溶液；排出部，其用于排出所述溶液；设于所述第一容器内的间隔件，其用于将所述溶液与含有非所述溶液组分的介质间隔开；所述间隔件能够在所述第一容器内滑动以推动所述溶液由所述排出部排出。

Pressurized storage mechanism and its pressure reducing spray film forming device

The utility model discloses a pressurized storage mechanism and a pressure reducing spray film forming device. The compression mechanism includes a first storage container for containing solution; discharging part, which is used for discharging the solution; the spacer is arranged in the first container, which is used for the solution and the solution medium containing non interval component; the spacer can slide on the first the container in order to promote the solution by the discharging section discharging.

【技术实现步骤摘要】
加压储藏机构及其减压喷雾成膜装置
本技术涉及薄膜形成领域，尤其涉及一种加压储藏机构及其减压喷雾成膜装置。
技术介绍
已知使用涂布法，浸渍法等湿式法作为在基板的表面上形成薄膜、例如有机膜、无机膜的成膜方法。例如，专利文献1中提出了一种成膜方法，其中，在大气中，在玻璃、塑料等基板的表面上，刻出深10～400nm的刻痕(划痕)，使其具有规定方向的条纹状的精细凹凸面，之后通过涂布按规定组成制作的涂布液(稀释溶液)并使其干燥，从而在所述精细凹凸面上形成规定组成的防污膜(有机膜)。此外，专利文献2中提出了一种成膜方法，其中，将氧化钛粒子混合于水中形成悬浊液，进一步调整为特定的pH后，将该悬浊液涂布在支撑体上并使其干燥，由此形成无机氧化钛膜(无机膜)。湿式法中所用的涂布液、悬浊液使用的是溶质浓度低的稀溶液。因此，加热干燥后得到的膜的密度低，随之存在形成的膜的功能容易消失的问题。例如，在用湿式法涂布的防污膜中，最表面上形成的膜容易由于擦拭而被刮掉，其防油性有时消失。与此相对，也考虑使用真空蒸镀法(干式法)在基板上形成薄膜的成膜方法，使用该方法的情况下，成膜时需要形成高真空条件，需要高价的真空排气系统。其结果是难以实现低成本下的成膜。现有技术文献专利文献1：日本特开平9-309745号公报专利文献2：日本特开平6-293519号公报
技术实现思路
为解决上述问题，中国专利申请“2015800002404”提出了一种薄膜的成膜方法和成膜装置，该薄膜的成膜方法和成膜装置将含有2种以上材料的溶液在基于构成该溶液的各材料的蒸汽压而设定的压力的气氛下排出至基板上形成薄膜，不仅可以提高薄膜的耐久性，还可以降低制作成本。该成膜方法及成膜装置在排出溶液时需要进行加压才能将溶液排出，同时，通过加压也可以控制溶液的排出速率，但是，专利技术人发现在加压过程中气体会溶解于溶液中，随着加压时间的延长，气体溶解于溶液中的量也逐步增大，从而在溶液减压排出时溶解的气体会形成气泡，气泡到达喷嘴时会使喷嘴形成的喷雾形成间断，导致喷嘴不稳定地排出溶液，影响成膜质量。为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种加压储藏机构，包括：第一容器，其用于容纳溶液；排出部，其用于排出所述溶液；设于所述第一容器内的间隔件，其用于将所述溶液与含有非所述溶液组分的介质间隔开；所述间隔件能够在所述第一容器内滑动以推动所述溶液由所述排出部排出。作为一种优选的实施方式，所述间隔件将所述溶液与打压介质间隔开；所述间隔件在所述打压介质的推动下移动。作为一种优选的实施方式，所述第一容器上设有通入所述第一容器内部的输入部，所述输入部用于输入打压气体；所述间隔件将所述打压气体与所述溶液间隔开，所述打压气体作用于所述间隔件使其滑动。作为一种优选的实施方式，所述间隔件将所述第一容器内部分为第一区域和第二区域；所述输入部与所述第一区域相通；所述第二区域容纳所述溶液并与所述排出部相通。作为一种优选的实施方式，所述排出部设于所述第一容器的底部或靠近底部设置。作为一种优选的实施方式，所述排出部设于所述第一容器的顶部或靠近顶部设置。作为一种优选的实施方式，所述间隔件的材料为铝、钛、或不锈钢。作为一种优选的实施方式，所述间隔件为空心结构。作为一种优选的实施方式，所述间隔件的下表面和/或上表面为平面。作为一种优选的实施方式，所述间隔件的下表面和/或上表面为曲面。一种减压喷雾成膜装置，包括：第二容器，其内部能容置基板；如上任一实施方式所述的加压储藏机构；能将所述溶液排出至所述基板上的喷嘴，其与所述排出部相连通。作为一种优选的实施方式，还包括打压机构，所述打压机构与所述储藏机构的第一容器内部连通，所述打压机构用于向所述第一容器内部输入打压气体。作为一种优选的实施方式，所述储藏机构的输入部设有第一孔，所述打压机构与所述储藏机构通过第一管道连通；所述第一管道通过所述第一孔伸入所述第一容器内。作为一种优选的实施方式，所述储藏机构的所述排出部设有第二孔，所述喷嘴与所述储藏机构通过第二管道连通；所述第二管道通过所述第二孔伸入所述第一容器内。借由以上技术方案，在减压喷雾成膜时，加压储藏机构通过向第一容器内注气加压，由于间隔件的存在，气体无法溶解于溶液中，从而避免溶液中因溶解有气体而在减压排出时形成气泡，改善了溶液在喷嘴排出时的稳定性。参照后文的说明和附图，详细公开了本技术的特定实施方式，指明了本技术的原理可以被采用的方式。应该理解，本技术的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本技术的实施方式包括许多改变、修改和等同。针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术一种实施方式提供的加压储藏机构结构示意图；图2是本技术另一种实施方式提供的加压储藏机构结构示意图；图3是采用图2所示加压储藏机构的减压喷雾成膜装置结构示意图；图4是本技术另一种实施方式提供的加压储藏机构结构示意图。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请参阅图1至图4，为本技术一种实施方式提供的一种加压储藏机构结构示意图。在本实施方式中，该加压储藏机构应用但不限于减压喷雾成膜装置1中，该加压储藏机构还可以应用于通过加压供给溶液21以防止溶液21中混入杂质的其他装置中。在本实施方式中，所述加压储藏机构包括：第一容器23，其用于容纳溶液21；排出部232，其用于排出所述溶液21；设于所述第一容器23内的间隔件24，其用于将所述溶液21与含有非所述溶液组分的介质间隔开；所述间隔件24能够在所述第一容器23内滑动以推本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加压储藏机构，其特征在于，包括：第一容器，其用于容纳溶液；排出部，其用于排出所述溶液；设于所述第一容器内的间隔件，其用于将所述溶液与含有非所述溶液组分的介质间隔开；所述间隔件能够在所述第一容器内滑动以推动所述溶液由所述排出部排出。

【技术特征摘要】
1.一种加压储藏机构，其特征在于，包括：第一容器，其用于容纳溶液；排出部，其用于排出所述溶液；设于所述第一容器内的间隔件，其用于将所述溶液与含有非所述溶液组分的介质间隔开；所述间隔件能够在所述第一容器内滑动以推动所述溶液由所述排出部排出。2.如权利要求1所述的储藏机构，其特征在于：所述间隔件将所述溶液与打压介质间隔开；所述间隔件在所述打压介质的推动下移动。3.如权利要求1或2所述的储藏机构，其特征在于：所述第一容器上设有通入所述第一容器内部的输入部，所述输入部用于输入打压气体；所述间隔件将所述打压气体与所述溶液间隔开，所述打压气体作用于所述间隔件使其滑动。4.如权利要求3所述的储藏机构，其特征在于：所述间隔件将所述第一容器内部分为第一区域和第二区域；所述输入部与所述第一区域相通；所述第二区域容纳所述溶液并与所述排出部相通。5.如权利要求1或2所述的储藏机构，其特征在于：所述排出部设于所述第一容器的底部或靠近底部设置。6.如权利要求1或2所述的储藏机构，其特征在于：所述排出部设于所述第一容器的顶部或靠近顶部设置。7.如权利要求1或2所述的储藏机构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：青山贵昭，今井正德，
申请(专利权)人：株式会社新柯隆，
类型：新型
国别省市：日本,JP