感光性组合物及硬化膜制造技术

技术编号:17096649 阅读:35 留言:0更新日期:2018-01-21 08:00
本发明专利技术涉及一种耐热性良好且短时间显影时的线图案形状直线性良好的保护膜用感光性组合物及硬化膜。本发明专利技术的感光性组合物含有:聚酯酰胺酸(A)、含环氧基的共聚物(B)及1,2‑醌二叠氮化合物(C),所述聚酯酰胺酸(A)包含下述式(1)所表示的构成单元及下述式(2)所表示的构成单元,所述含环氧基的共聚物(B)为具有环氧基的聚合性化合物(b1)及(b1)以外的聚合性化合物(b2)的共聚物,所述聚合性化合物(b2)包含具有酚性羟基的聚合性化合物。

【技术实现步骤摘要】
感光性组合物及硬化膜
本专利技术涉及一种在电子零件中的绝缘材料、半导体装置中的钝化膜、缓冲涂膜、层间绝缘膜或平坦化膜,或者显示元件中的层间绝缘膜或彩色滤光片用保护膜等的形成中所使用的感光性组合物、利用该感光性组合物的硬化膜及具有该硬化膜的电子零件。
技术介绍
在仅于所需部分形成保护膜的情况下或在绝缘膜中形成孔图案的情况下,一直使用感光性组合物。作为感光性组合物的例子,可列举丙烯酸系的正型感光性组合物(专利文献1)。伴随着提高显示器所要求的可靠性的要求特性,而提高显示器构件所要求的耐热性中,专利文献1中记载的材料的问题在于进一步的高耐热性化。为了解决该问题,提出有耐热性良好的聚酯酰胺酸系的正型感光性组合物(专利文献2)。为了应对近年来的显示器的低价格化,应增加每单位时间的制造片数并缩短各步骤的时间。其中,专利文献2中记载的正型感光性组合物中,在显影时间短的情况下,产生线图案形状无法成为直线状而成为波纹状的问题。如果该线图案为波纹状,则面板显示品质会降低。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开平5-165214[专利文献2]日本专利特开2008-102351
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]本专利技术的问题在于提供一种耐热性良好且短时间显影时的线图案形状直线性良好的保护膜用或绝缘用的感光性组合物。[解决问题的技术手段]本专利技术人等人为了解决所述问题而进行了努力研究,结果发现通过如下的组合物、及使该组合物硬化所获得的硬化膜可达成所述目的,从而完成了本专利技术,所述组合物包含聚酯酰胺酸、含环氧基的共聚物及1,2-醌二叠氮化合物。本专利技术包含以下的构成。[1]一种感光性组合物,其包含:聚酯酰胺酸(A)、含环氧基的共聚物(B)及1,2-醌二叠氮化合物(C);所述聚酯酰胺酸(A)包含下述式(1)所表示的构成单元及下述式(2)所表示的构成单元;所述含环氧基的共聚物(B)为具有环氧基的聚合性化合物(b1)及(b1)以外的聚合性化合物(b2)的共聚物;所述聚合性化合物(b2)包含具有酚性羟基的聚合性化合物,在式(1)中,R1为碳数2~1000的有机基,R2为碳数2~1000的有机基;在式(2)中,R3为碳数2~1000的有机基,R4为碳数2~100的有机基。[2]根据项[1]所述的感光性组合物,其中所述式(1)所表示的构成单元为将具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)及二胺(a2)设为原料的构成单元;所述式(2)所表示的构成单元为将具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)及多元羟基化合物(a3)设为原料的构成单元。[3]根据项[2]所述的感光性组合物,其中所述具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)为选自四羧酸二酐及苯乙烯-顺丁烯二酸酐共聚物中的一种以上的化合物;所述聚酯酰胺酸(A)为以使下述式(3)及下述式(4)的关系成立的比率包含X摩尔的四羧酸二酐、Y摩尔的二胺及Z摩尔的多元羟基化合物的原料的反应产物,0.2≤Z/Y≤8.0式(3)0.2≤(Y+Z)/X≤5.0式(4)。[4]根据项[1]所述的感光性组合物,其中所述具有环氧基的聚合性化合物(b1)为选自具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯中的一种以上;具有酚性羟基的聚合性化合物为选自下述式(5)所表示的化合物及下述式(6)所表示的化合物中的一种以上,在式(5)中,R5为氢或碳数1~7的有机基,R6为单键或-C(=O)-,R7~R11分别独立地为羟基或碳数1~7的有机基,其中,R7~R11中的至少一个为羟基;在式(6)中,R12为氢或碳数1~7的有机基,R13为-O-或-NH-,R14为单键或碳数1~40的二价的有机基,R15~R19分别独立地为羟基或碳数1~7的有机基,其中,R15~R19中的至少一个为羟基。[5]根据项[4]所述的感光性组合物,其中所述具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯为(甲基)丙烯酸缩水甘油酯;所述式(5)所表示的化合物为选自4-羟基苯乙烯、4-羟基甲基苯乙烯及4-羟基苯基乙烯基酮中的一种以上;所述式(6)所表示的化合物为选自(甲基)丙烯酸4-羟基苯酯、4-羟基苯基(甲基)丙烯酰胺及(甲基)丙烯酸4-羟基苯基氧基乙酯中的一种以上。[6]根据项[1]所述的感光性组合物,其中聚酯酰胺酸(A)及含环氧基的共聚物(B)的总量100重量%中,含环氧基的共聚物(B)的含有率为20重量%~90重量%,且相对于聚酯酰胺酸(A)及含环氧基的共聚物(B)的总量100重量份,1,2-醌二叠氮化合物(C)为5重量份~40重量份。[7]一种硬化膜,其是由根据项[1]至项[6]中任一项所述的感光性组合物而获得。[专利技术的效果]本专利技术的优选的实施方式的感光性组合物为耐热性良好且短时间显影时的线图案形状直线性良好的材料,在用作彩色显示元件的彩色滤光片保护膜的情况下,可提高可靠性及显示品质,且可提高彩色滤光片保护膜制造时的生产性。而且,还可用作各种光学材料的保护膜及绝缘膜。附图说明图1是对在线图案形状中无波纹的状态进行拍摄而得的光学显微镜照片。图2是对在线图案形状中有波纹的状态进行拍摄而得的光学显微镜照片。具体实施方式本说明书中,为了表示“丙烯酸”及“甲基丙烯酸”的一个或两个,有时表述为“(甲基)丙烯酸”。同样地,为了表示“丙烯酸酯”及“甲基丙烯酸酯”的一个或两个,有时表述为“(甲基)丙烯酸酯”,为了表示“丙烯酰胺”及“甲基丙烯酰胺”的一个或两个,有时表述为“(甲基)丙烯酰胺”,为了表示“丙烯酰氧基”及“甲基丙烯酰氧基”的一个或两个,有时表述为“(甲基)丙烯酰氧基”。<1.感光性组合物>本专利技术的感光性组合物为包含聚酯酰胺酸(A)、含环氧基的共聚物(B)及1,2-醌二叠氮化合物(C)的组合物。关于聚酯酰胺酸(A)、含环氧基的共聚物(B)及1,2-醌二叠氮化合物(C)的优选的组成比,聚酯酰胺酸(A)及含环氧基的共聚物(B)的总量100重量%中,含环氧基的共聚物(B)的含有率为20重量%~90重量%,且相对于聚酯酰胺酸(A)及含环氧基的共聚物(B)的总量100重量份,1,2-醌二叠氮化合物(C)为5重量份~40重量份。此外,本专利技术的感光性组合物还可在获得本专利技术的效果的范围内进一步包含所述以外的其他成分。<1-1.聚酯酰胺酸(A)>聚酯酰胺酸(A)具有式(1)所表示的构成单元及式(2)所表示的构成单元。聚酯酰胺酸(A)可通过以具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)、二胺(a2)及多元羟基化合物(a3)为必需成分来进行反应而获得。该情况下,在式(1)及式(2)中,R1及R3是自具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)除去两个-CO-O-CO-而成的残基,R2是自二胺(a2)除去两个-NH2而成的残基,R4是自多元羟基化合物(a3)除去两个-OH而成的残基。在聚酯酰胺酸(A)的合成中至少需要溶剂。可使该溶剂直接残留而使用考虑到操作性等的液状或凝胶状的聚酯酰胺酸溶液来制造感光性组合物,而且也可将该溶剂除去而使用考虑到搬运性等的固体状聚酯酰胺酸来制造感光性组合物。而且,在聚酯酰胺酸(A)的合成中,也可在不损及本专利技术的目的的范围内,包含所述以外的其他化合物。作为其他原料的例子,可列举单羟基化合物及具有烷氧基硅烷基的单胺。<1-1-1.具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)>本专利技术中,作为用以获得聚酯酰胺酸(A)的原料本文档来自技高网...
感光性组合物及硬化膜

【技术保护点】
一种感光性组合物,其包含聚酯酰胺酸(A)、含环氧基的共聚物(B)及1,2‑醌二叠氮化合物(C),且所述感光性组合物的特征在于:所述聚酯酰胺酸(A)包含下述式(1)所表示的构成单元及下述式(2)所表示的构成单元;所述含环氧基的共聚物(B)为具有环氧基的聚合性化合物(b1)及(b1)以外的聚合性化合物(b2)的共聚物;而且所述聚合性化合物(b2)包含具有酚性羟基的聚合性化合物,

【技术特征摘要】
2016.07.12 JP 2016-1373401.一种感光性组合物,其包含聚酯酰胺酸(A)、含环氧基的共聚物(B)及1,2-醌二叠氮化合物(C),且所述感光性组合物的特征在于:所述聚酯酰胺酸(A)包含下述式(1)所表示的构成单元及下述式(2)所表示的构成单元;所述含环氧基的共聚物(B)为具有环氧基的聚合性化合物(b1)及(b1)以外的聚合性化合物(b2)的共聚物;而且所述聚合性化合物(b2)包含具有酚性羟基的聚合性化合物,在式(1)中,R1为碳数2~1000的有机基,R2为碳数2~100的有机基;在式(2)中,R3为碳数2~1000的有机基,R4为碳数2~100的有机基。2.根据权利要求1所述的感光性组合物,其中所述式(1)所表示的构成单元为将具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)及二胺(a2)设为原料的构成单元;所述式(2)所表示的构成单元为将具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)及多元羟基化合物(a3)设为原料的构成单元。3.根据权利要求2所述的感光性组合物,其中所述具有两个以上的酸酐基的化合物(a1)为选自四羧酸二酐及苯乙烯-顺丁烯二酸酐共聚物中的一种以上的化合物;所述聚酯酰胺酸(A)为以使下述式(3)及下述式(4)的关系成立的比率包含X摩尔的四羧酸二酐、Y摩尔的二胺及Z摩尔的多元羟基化合物的原料的反应产物,0.2≤Z/Y≤8.0式(3)0.2≤(Y+Z)/X≤5.0式(4)。4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员:堀田佑策江头友弘
申请(专利权)人:捷恩智株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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