【技术实现步骤摘要】
一种压力自动调整纳米压印机
本专利技术属于纳米压印
,具体涉及一种压力自动调整纳米压印机。
技术介绍
现有的纳米压印机主要是通过加压的方式实现将升降台上升,使得放置于升降台上的模板和衬底接触到承压台进行对压压印,但是在实际的应用过程当中,由于不同的工艺每次模板和衬底的总厚度存在很大的差异,然而升降台的上升高度主要取决于加压箱内的压力大小,可是现有的纳米压印机无法根据每次模板和衬底的总厚度来针对性的调整加压箱内的压力大小,因此升降台的上升高度无法适应于不同工艺要求的使用需求,纳米压印机实际的使用存在很大的局限性,使用效果不佳。
技术实现思路
专利技术目的:为了克服现有技术中存在的不足,提供一种能够适应于任何厚度的模板和衬底的压印需求的纳米压印机。技术方案:为实现上述目的,本专利技术提供一种压力自动调整纳米压印机,包括顶部开口结构的加压箱、位于加压箱正上方的用于放置衬底和模板的升降台、位于升降台正上方的承压台,所述加压箱内设置有至少2个朝着加压箱上方纵向延伸的升降柱,所述升降柱贯穿升降台和承压台,所述承压台和升降柱固定连接,所述升降台能够沿着升降柱上下移动,所述加压箱的底部通过加压管连接着加压器,所述承压台上设置有紫外灯装置,所述模板上放置有红外发射器,所述升降台的侧部设置有用于测量出红外发射器发出红外线的高度的红外高度板,所述红外高度板连接着信号转换发射器,所述加压器上设置有用于接收信号转换发射器发射数据的显示接收器,所述显示接收器连接着加压器。本专利技术的设计原理为:利用红外高度板接收到红外发射器发射出的红外线的实时高度,从而推断出衬底和模板的总厚度,信 ...
【技术保护点】
一种压力自动调整纳米压印机,包括顶部开口结构的加压箱(1)、位于加压箱(1)正上方的用于放置衬底(11)和模板(12)的升降台(2)、位于升降台(2)正上方的承压台(3),所述加压箱(1)内设置有至少2个朝着加压箱(1)上方纵向延伸的升降柱(4),所述升降柱(4)贯穿升降台(2)和承压台(3),所述承压台(3)和升降柱(4)固定连接,所述升降台(2)能够沿着升降柱(4)上下移动,所述加压箱(1)的底部通过加压管(71)连接着加压器(7),所述承压台(3)上设置有紫外灯装置(5),其特征在于:所述模板(12)上放置有红外发射器(9),所述升降台(2)的侧部设置有用于测量出红外发射器(9)发出红外线的高度的红外高度板(91),所述红外高度板(91)连接着信号转换发射器(92),所述加压器(7)上设置有用于接收信号转换发射器(92)发射数据的显示接收器(10),所述显示接收器(10)连接着加压器(7)。
【技术特征摘要】
1.一种压力自动调整纳米压印机,包括顶部开口结构的加压箱(1)、位于加压箱(1)正上方的用于放置衬底(11)和模板(12)的升降台(2)、位于升降台(2)正上方的承压台(3),所述加压箱(1)内设置有至少2个朝着加压箱(1)上方纵向延伸的升降柱(4),所述升降柱(4)贯穿升降台(2)和承压台(3),所述承压台(3)和升降柱(4)固定连接,所述升降台(2)能够沿着升降柱(4)上下移动,所述加压箱(1)的底部通过加压管(71)连接着加压器(7),所述承压台(3)上设置有紫外灯装置(5),其特征在于:所述模板(12)上放置有红外发射器(9),所述升降台(2)的侧部设置有用于测量出红外发射器(9)发出红外线的高度的红外高度板(91),所述红外高度板(91)连接着信号转换发射器(92),所述加压器(7)上设置有用...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵敏洁,杨彦涛,
申请(专利权)人:无锡英普林纳米科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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