硅料烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种硅料烘干装置，包括：本体，用以容纳硅料，所述本体包括底部及若干个侧壁，所述若干个侧壁围绕形成一开口；设置于所述开口处的伸缩式密封机构，包括柔性伸缩盖，所述柔性伸缩盖具有固定端及与所述固定端相对的活动端，所述固定端固定于所述开口的一侧，所述活动端通过相对所述开口平向移动，使所述柔性伸缩盖延展封盖所述开口。上述硅料烘干装置利用上述柔性伸缩盖对本体的开口部分进行封盖，不占用上述硅料烘干装置周边的空间，减小了真整体生产设备的额尺寸。

Silicon drying device

【技术实现步骤摘要】
硅料烘干装置
本技术涉及半导体加工领域，特别是涉及一种硅料烘干装置。
技术介绍
在硅料的加工领域中，对于硅料，在生产环节经历加工、包装、搬运、运输等生产过程中，不可避免的要受到周围环境的污染。在硅料进入铸锭炉之前，要保证硅料的纯净，所以要硅料进行清洁清洗，去除其表面附着的颗粒、有机物杂质、金属污染物及自然氧化膜等污染物，从而保障硅片生产的质量。硅料清洗机正是完成硅料清洗满足生产使用要求的自动化设备。它使用一系列设备作为保证，完成硅料表面污染物的清洗的工艺过程。对硅料清洗时，整个工艺过程包含许多环节，如：预水洗-酸洗-超声水洗-漂洗-切水-烘干-下料等。烘干操作是处于整个工艺链条的末端，且该烘干操作是在烘干装置内进行的，而烘干装置的槽门的密封性会影响的烘干的时间。传统的烘干装置的槽门打开时占用了烘干装置周边一定的空间，影响到机械手臂的搬运料的动作，进而也能增大了整个机械设备的高度及外围尺寸。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述烘干装置的槽门打开时占用了烘干装置周边一定的空间，进而导致增大了整个机械设备的高度及外围尺寸的问题，提供一种占用空间小的硅料烘干装置。一种硅料烘干装置，包括：本体，用以容纳硅料，所述本体包括底部及若干个侧壁，所述若干个侧壁围绕形成一开口；设置于所述开口处的伸缩式密封机构，包括柔性伸缩盖，所述柔性伸缩盖具有固定端及与所述固定端相对的活动端，所述固定端固定于所述开口的一侧，所述活动端通过相对所述开口平向移动，使所述柔性伸缩盖延展封盖所述开口。上述硅料烘干装置利用上述柔性伸缩盖对本体的开口部分进行封盖，不占用上述硅料烘干装置周边的空间，减小了真整体生产设备的尺寸。在其中一个实施方式中，所述伸缩式密封机构还包括：与围成所述开口的侧壁连接的框体；设置于所述框体相对两侧的一对导向轨，所述柔性伸缩盖的固定端固定连接于所述导向轨的一端，所述柔性伸缩盖的活动端沿所述导向轨移动。在其中一个实施方式中，至少一个导向轨为丝杠，所述柔性伸缩盖的活动端通过丝杠螺母与所述丝杠连接，所述伸缩式密封机构还包括旋转驱动机构，所述旋转驱动机构用以驱动所述丝杠转动，以使所述丝杠螺母沿丝杆轴向移动。在其中一个实施方式中，所述旋转驱动机构为旋转驱动气缸。在其中一个实施方式中，所述旋转驱动气缸设置于所述丝杆一端。在其中一个实施方式中，所述柔性伸缩盖的活动端通过滑块与所述导向轨连接，以使所述活动端沿所述导向轨轴向移动。在其中一个实施方式中，所述柔性伸缩盖的截面呈波浪形。在其中一个实施方式中，所述柔性伸缩盖呈卷帘状。在其中一个实施方式中，所述导向轨为导向滑杆或导向滑槽。附图说明图1为本技术一优选实施方式的硅料烘干装置的结构示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。如图1所示，本技术公开了一种硅料烘干装置100，该硅料烘干装置100包括本体110，该本体110主要用以容纳硅料，其中，该本体110主要底部及若干个侧壁，本实施方式中上述底部的形状为长方形，侧壁的个数为4个，分别与底部的四个侧壁111连接，并与该底部垂直设置，与该底部相对的，该四个侧壁111围成一开口，硅料通过该开口放置于上述本体110内。上述本体110还包括烘干机构(图未示)，该烘干机构可以为吹风机，该吹风机的吹风口通过上述其中一个侧壁111进入上述本体110内，以对位于本体110内的硅料进行烘干处理。本实施方式中的底部的形状为长方形，但本技术并不限于此，也可以为其它多边形结构，例如正方形或六边形等。该侧壁111与该多变形形状相对应设置，且该侧壁111可也不与上述底部垂直，只要与该底部呈一定角度即可，设置方式与上述内容类似，本技术在此不再赘述。上述硅料烘干装置100还包括伸缩式密封机构120，该伸缩式密封机构120设置于上述本体110的开口处，主要是用以密封上述开口，具体地，上述伸缩式密封机构120包括柔性伸缩盖121，该柔性伸缩盖121具有固定端及与该固定端相对的活动端，所述固定端固定于所述开口的一侧，所述活动端通过相对所述开口平向移动，使所述柔性伸缩盖延展封盖所述开口。本实施方式中的上述柔性伸缩盖121呈波浪形折叠伸展或收缩，换言之，上述柔性伸缩盖121的伸展方向与折叠方向垂直。当需要上述柔性伸缩盖121打开时，该柔性伸缩盖121呈波浪形折叠至柔性伸缩盖121的固定端，这样，该柔性伸缩盖121便整体位于上述本体110开口的一侧；当需要该柔性伸缩盖121闭合时，柔性伸缩盖121由上述本体110开口的一侧向相对一侧伸展，直至上述柔性伸缩盖121的活动端与固定端分别位于上述开口的相对两侧，这样该柔性伸缩该121便盖合上述本体110的开口。更详细地说，上述伸缩式密封机构110还包括框体122及一对导向轨123，该框体122与上述围成开口的侧壁111连接，且该框体122所围成的形状与本体110的开口形状相匹配，该框体122所围成的大小等于或略大于上述本体110的开口。上述导向轨123设置于上述框体122内边的相对两侧。所述柔性伸缩盖的固定端固定连接于所述导向轨的一端，所述柔性伸缩盖的活动端沿所述导向轨移动。上述导向轨123可以为导向滑杆或导向滑槽，本实施方式以导向滑杆为例，而上述柔性伸缩盖121可通过滑块与上述导向滑杆滑动连接，进而可使滑块带动上述柔性伸缩盖121的活动端在上述导向滑杆上滑动，以使上述柔性伸缩盖121在上述本体110的开口处进行延展或压缩，以覆盖密封或打开上述开口。上述一对导向轨123中，至少其中一个导向轨123可以为丝杠，与该丝杠向对应地，上述柔性伸缩盖121的活动端通过丝杠螺母与该丝杠连接，这样，随着丝杠围绕自身轴线转动，丝杠螺母便可在丝杠上进行轴向移动，进而带动上述柔性伸缩盖121在上述本体110的开口处进行延展或压缩，以覆盖密封或打开上述开口。上述伸缩式密封机构120还可以包括旋转驱动机构124，该旋转驱动机构用以驱动上述丝杠转动，以使所述丝杠螺母沿丝杆轴向移动。本实施方式中的旋转驱动机构可以为旋转驱动气缸，这样，通过该旋转驱动气缸驱动上述丝杠，便可控制上述柔性伸缩盖121伸展或压缩。本实施方式的上述可折叠的柔性伸缩盖121的折叠方向与其伸展方向一致，也可使上述柔性伸缩该121达到压缩或伸展的效果。本实施方式的上述硅料烘干装置100利用上述柔性伸缩盖121对本体110的开口部分进行封盖，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅料烘干装置，其特征在于，包括：本体，用以容纳硅料，所述本体包括底部及若干个侧壁，所述若干个侧壁围绕形成一开口；设置于所述开口处的伸缩式密封机构，包括柔性伸缩盖，所述柔性伸缩盖具有固定端及与所述固定端相对的活动端，所述固定端固定于所述开口的一侧，所述活动端通过相对所述开口平向移动，使所述柔性伸缩盖延展封盖所述开口。

【技术特征摘要】
1.一种硅料烘干装置，其特征在于，包括：本体，用以容纳硅料，所述本体包括底部及若干个侧壁，所述若干个侧壁围绕形成一开口；设置于所述开口处的伸缩式密封机构，包括柔性伸缩盖，所述柔性伸缩盖具有固定端及与所述固定端相对的活动端，所述固定端固定于所述开口的一侧，所述活动端通过相对所述开口平向移动，使所述柔性伸缩盖延展封盖所述开口。2.根据权利要求1所述的硅料烘干装置，其特征在于，所述伸缩式密封机构还包括：与围成所述开口的侧壁连接的框体；设置于所述框体相对两侧的一对导向轨，所述柔性伸缩盖的固定端固定连接于所述导向轨的一端，所述柔性伸缩盖的活动端沿所述导向轨移动。3.根据权利要求2所述的硅料烘干装置，其特征在于，至少一个导向轨为丝杠，所述柔性伸缩盖的活动端通过丝杠螺母与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈彪，
申请(专利权)人：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32