有机电致发光器件及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种有机电致发光器件及其制造方法，包括基板，依次成膜于基板上方的第一金属层、第一无机层、半导体层、第二无机层、第二金属层、第三无机层，其中，第三无机层上成形有通孔，并且通孔是通过两次刻蚀形成的，通孔呈台阶状，通孔包括第一孔、台阶以及第二孔，第二孔的最小直径大于第一孔的最大直径。本发明专利技术解决了低温多晶硅无法应用于大尺寸玻璃的问题，同时工艺简单，能够节约成本提高生产效率，通过对第三无机层进行两次刻蚀，使得现有制程后裸露的金属层有一层无机保护，从而解决了现有技术中裸露的金属层被氧化的问题，提高了器件寿命及良率。

An organic electroluminescent device and its manufacturing method

The present invention provides an organic electroluminescent device and manufacturing method thereof, which comprises a substrate, a first metal layer, followed by the film on the substrate above the first inorganic layer, a semiconductor layer, second layer, second layer metal, inorganic inorganic layer third, among them, third inorganic layers are formed on the through hole, and the through holes are formed through the two through hole etching, serrated, hole hole, including the first step and the second hole, the maximum diameter of minimum diameter of the first hole hole is greater than second. The invention solves the problem of low temperature polysilicon can not be applied to large size glass, and has the advantages of simple process, can save cost and improve production efficiency, through two etching on the inorganic layer third, the existing process after bare metal layer with a layer of inorganic protection, so as to solve the bare metal layer is oxidized in the prior art the problem, improve the life of the device and yield.

【技术实现步骤摘要】
一种有机电致发光器件及其制造方法
本专利技术属于照明器件及显示器件制造领域，尤其涉及一种有机电致发光器件及其制造方法。
技术介绍
目前市面上显示技术主要为液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)和有机电致发光显示器(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)两种；其中OLED以其自发光所带来的高对比度、高色域、宽视角、低能耗、低反应时间以及其更轻薄的优势更受市场所青睐。OLED的基本结构包括阳极层，功能层和阴极层。其中功能层包括：空穴传输层、发光层与电子传输层。OLED发光原理简单来说是阴阳极各提供电子与空穴在外加电场的作用下，在发光层结合形成激发子，激发子返回基态发出光子，所以OLED是一种电流发光器件，由半导体背板控制电流大小，从而控制发光亮度。当给阴极和阳极提供适当电压时，电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子和空穴传输层，并分别经过电子和空穴传输层迁移到发光层，空穴与电子在发光层中复合发光，从而实现OLED自身发光的特性。目前市面上较成熟的背板主要以单晶硅(a-Si)，低温多晶硅(LTPS),氧化铟镓锌(IGZO)这三种为主，而LTPS以其更高的迁移率和成熟的制作工艺成为OLED背板的优选方案，目前市面上量产OLED均以LTPS背板为主。一般LCD面板由薄膜晶体管(ThinFilmTransistor，TFT)与彩色滤光板(ColorFilter，CF)组成，而OLED面板由TFT与OLED器件组成。一般OLED面板由缓冲层、低温多晶硅层LTPS、栅极绝缘层GI、第一金属层M1、中间绝缘层ILD、第二金属层M2、平坦化层PLN、阳极RE、像素定义层PDL、支撑层PS、OLED器件等构成，虽然OLED面板存在无数优点，但其缺点在量产过程中也是无法忽视的。首先，低温多晶硅(LTPS)由单晶硅(a-Si)经过例如激光晶化(ELA)等方式结晶形成，但由于目前设备技术限制，ELA无法应用于大尺寸玻璃，故LTPS的产能和效率是个问题。其次，LTPS背板制程中需要对LTPS进行多次掺杂以改变其特性，工艺复杂，工序繁多，相应成本同样不低，这些也是不容忽视的问题。在这种情况下，针对现有技术中存在的上述问题，本专利技术提出一种新的有机电致发光器件及其制造方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够防止正常工艺中金属层被氧化、提高产品良率的有机电致发光器件。本专利技术提供一种有机电致发光器件，包括：基板；形成在所述基板上方的第一金属层；形成在所述第一金属层上方的无机层，所述无机层包括至少三层无机层，所述至少三层无机层包括第一无机层、第二无机层、以及第三无机层；形成在第一无机层和第二无机层之间的半导体层；形成在第二无机层和第三无机层之间的第二金属层；其中，所述第三无机层上形成有通孔，所述通孔呈台阶状，所述通孔包括第一孔、台阶以及第二孔，所述第一孔的最小直径大于所述第二孔的最大直径。优选地，本专利技术还包括孔，所述孔通过无机层呈台阶状，所述无机层是第三无机层的一部分且无机层覆于所述第二金属层上方。优选地，本专利技术的所述无机层的厚度与台阶的厚度相同。优选地，本专利技术还包括缓冲层，所述缓冲层位于所述基板和所述第一金属层之间。本专利技术还提供一种有机电致发光器件的制造方法，该方法包括：S01：在基板上形成第一金属层；S02：在所述第一金属层上形成第一无机层、半导体层和第二无机层；S03：在所述第二无机层上形成第二金属层；S04：在所述第二金属层上形成第三无机层和第一有机层；其中，所述第三无机层上形成有通孔，所述通孔呈台阶状，包括第一孔、台阶以及第二孔，所述第一孔的最小直径大于所述第二孔的最大直径。优选地，本专利技术的所述S04具体为：S041：在所述第二金属层上成膜第三无机层，对所述第三无机层进行第一次刻蚀，刻蚀所述第三无机层的一部分，留有一定厚度的无机层，所述无机层的厚度小于所述第三无机层的膜厚；S042：在所述第三无机层上成膜第一有机层，形成第一有机层图案；S043：使用所述第一有机层图案作为光阻对所述第三无机层进行第二次刻蚀，移除无机层，形成具有台阶的通孔。优选地，本专利技术的所述台阶的厚度为所述第三无机层的膜厚与所述无机层的厚度的差值。优选地，本专利技术的所述S01还包括：S01：在所述基板上成膜缓冲层；S02：在所述缓冲层上成膜第一金属层。优选地，本专利技术的所述S02具体为：S021：在所述第一金属层上依次成膜第一无机层和半导体层，形成半导体层图案；S022：在所述半导体层上成膜第二无机层，依次形成第二无机层图案和第一无机层图案；或者，先形成第一无机层图案，再在所述半导体层上成膜第二无机层，形成第二无机层图案。优选地，本专利技术的所述第三无机层上还形成有孔，所述孔形成于所述第二次刻蚀，且还形成有无机层，所述无机层是第三无机层的一部分，所述无机层覆于所述第二金属层上方且厚度与台阶的厚度相同。本专利技术解决了LTPS无法应用于大尺寸玻璃的问题，本专利技术也可以使用如IGZO背板驱动OLED器件，同时由于IGZO背板不需要掺杂，工艺简单，能够节约成本提高生产效率。本专利技术的第三无机层通过两次刻蚀，使得现有制程后裸露的金属铜有一层无机保护，从而解决了现有技术中裸露的金属铜被氧化的问题，提高了器件寿命及良率。此外，本专利技术通过交换第一无机层与第二无机层刻蚀顺序，可以根据膜层厚度提高像素存储电容值，提高良率，同时，在基板上方成膜一层缓冲层能够防止基板杂质对半导体层的影响。附图说明图1为本专利技术有机电致发光器件的结构示意图；图2为本专利技术有机电致发光器件的成膜第一金属层示意图；图3为本专利技术有机电致发光器件的成膜第一无机层和半导体层示意图；图4为本专利技术有机电致发光器件的成膜第二无机层示意图；图5为本专利技术有机电致发光器件的成膜第二金属层示意图；图6为本专利技术有机电致发光器件的成膜第三无机层示意图；图7为本专利技术有机电致发光器件的成膜第一有机层示意图；图8为本专利技术有机电致发光器件的二次刻蚀孔示意图；图9为本专利技术有机电致发光器件的成膜阳极层示意图；图10为本专利技术有机电致发光器件的成膜第二有机层示意图。图11为本专利技术有机电致发光器件的成膜第三有机层示意图；图12为本专利技术有机电致发光器件的封装完成示意图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本专利技术，应理解这些实施例仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围，在阅读了本专利技术之后，本领域技术人员对本专利技术的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。本专利技术的有机电致发光器件100，其可以使用IGZO背板驱动OLED器件，因此解决了LTPS无法应用于大尺寸玻璃的问题，同时IGZO背板不需要掺杂，工艺简单，能够节约成本提高生产效率。如图1所示，有机电致发光器件100包括：基板1，基板1可以是玻璃基板也可以是柔性基板。成膜于基板1上方的第一金属层2，其中，第一金属层2可以是底层为Ti、顶层为Cu，也可以是底层为Mo、顶层为Cu，也可以是其它的金属材料。成膜于第一金属层2上方的至少三层无机层，至少三层无机层包括第一无机层3、第二无机层5、以及第三无机层7。具体地，成膜于第一金属层2上方的第一无机层3，其中，第一无机层3可以是底层为SiNx、顶层为SiO2的两层结构，也可以是由SiO2构成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机电致发光器件(100)，包括：基板(1)；形成在所述基板(1)上方的第一金属层(2)；形成在所述第一金属层(2)上方的无机层，所述无机层包括至少三层无机层，所述至少三层无机层包括第一无机层(3)、第二无机层(5)、以及第三无机层(7)；形成在第一无机层(3)和第二无机层(5)之间的半导体层(4)；形成在第二无机层(5)和第三无机层(7)之间的第二金属层(6)；其中，所述第三无机层(7)上形成有通孔(13)，所述通孔(13)呈台阶状，所述通孔(13)包括第一孔(13a)、台阶(14)以及第二孔(13b)，所述第一孔(13a)的最小直径大于所述第二孔(13b)的最大直径。

【技术特征摘要】
1.一种有机电致发光器件(100)，包括：基板(1)；形成在所述基板(1)上方的第一金属层(2)；形成在所述第一金属层(2)上方的无机层，所述无机层包括至少三层无机层，所述至少三层无机层包括第一无机层(3)、第二无机层(5)、以及第三无机层(7)；形成在第一无机层(3)和第二无机层(5)之间的半导体层(4)；形成在第二无机层(5)和第三无机层(7)之间的第二金属层(6)；其中，所述第三无机层(7)上形成有通孔(13)，所述通孔(13)呈台阶状，所述通孔(13)包括第一孔(13a)、台阶(14)以及第二孔(13b)，所述第一孔(13a)的最小直径大于所述第二孔(13b)的最大直径。2.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，还包括孔(131)，所述孔(131)通过无机层(72)呈台阶状，所述无机层(72)是第三无机层(7)的一部分且无机层(72)覆于所述第二金属层(6)上方。3.根据权利要求2所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述无机层(72)的厚度与台阶(14)的厚度相同。4.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，还包括缓冲层，所述缓冲层位于所述基板(1)和所述第一金属层(2)之间。5.一种有机电致发光器件(100)的制造方法，该方法包括：S01：在基板(1)上形成第一金属层(2)；S02：在所述第一金属层(2)上形成第一无机层(3)、半导体层(4)和第二无机层(5)；S03：在所述第二无机层(5)上形成第二金属层(6)；S04：在所述第二金属层(6)上形成第三无机层(7)和第一有机层(8)；其中，所述第三无机层(7)上形成有通孔(13)，所述通孔(13)呈台阶状，包括第一孔(13a)、台阶(14)以及第二孔(13b)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张骏，戴超，
申请(专利权)人：南京中电熊猫平板显示科技有限公司，南京中电熊猫液晶显示科技有限公司，南京华东电子信息科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32