曝光装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种曝光装置，包括：基台，基台用于放置基板；光源组件，光源组件设在基台的上方，光源组件用于发射光源；载物台，载物台设在基台和光源组件之间且用于放置掩膜板，掩膜板上具有透光部，透光部的宽度方向与光源组件的扫描方向相同，光源的宽度为d1，透光部的宽度为d2，d1和d2满足：d1＜d2；驱动组件，在对基板进行曝光时驱动组件用于分别驱动光源组件和载物台移动，其中光源组件的移动方向与载物台的移动方向相反；控制组件，控制组件与驱动组件相连以控制驱动组件驱动光源组件和载物台的移动速度。本发明专利技术的曝光装置，可增加基板上电路的集成度，进而增加显示的分辨率。若分辨率不变，则可增加基板的开口率，从而增加显示效果。

Exposure device

The invention discloses an exposure apparatus includes a base station and base station for placing the substrate; the light source component, a base station above the light source, light source module for emitting light; carrier between the loading station is located in the base station and the light source component and is used to place the mask, the mask has a light transmission part on the scanning direction of width direction of transmission parts and components of the same light source, light transmitting part width is D1, width of D2, D1 and D2 meet: D1 < D2; driving component in exposure to substrate driven components are respectively used for driving the light source component and stage moving, moving direction of the moving direction of the the light source component and stage opposite; control module, control module and driving module is connected with the moving speed to control the drive assembly drives the light source component and stage. The exposure device of the invention can increase the integration of the circuit on the substrate, and then increase the resolution of the display. If the resolution is constant, the opening rate of the substrate can be increased, thus increasing the display effect.

【技术实现步骤摘要】
曝光装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种曝光装置。
技术介绍
随着显示技术不断的更新，显示效果随之不断提升。在曝光工序中，如何提高曝光的精细度一直是曝光技术的热点之一。较高的曝光精细度，能够提升基板的开口率以及基板上的集成度，进而增强显示效果，但高精细度的曝光设备较难制备与更新。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种曝光装置，可以有效地增加基板上电路的集成度，进而增加显示的分辨率。若分辨率不变，则可以有效地增加基板的开口率，从而增加显示效果。根据本专利技术实施例的曝光装置，包括：基台，所述基台用于放置基板；光源组件，所述光源组件设在所述基台的上方，所述光源组件用于发射光源；载物台，所述载物台设在所述基台和所述光源组件之间且用于放置掩膜板，所述掩膜板上具有透光部，所述透光部的宽度方向与所述光源组件的扫描方向相同，所述光源的宽度为d1，所述透光部的宽度为d2，所述d1和所述d2满足：d1＜d2；驱动组件，在对所述基板进行曝光时所述驱动组件用于分别驱动所述光源组件和所述载物台移动，其中所述光源组件的移动方向与所述载物台的移动方向相反；控制组件，所述控制组件与所述驱动组件相连以控制所述驱动组件驱动所述光源组件和所述载物台的移动速度。根据本专利技术实施例的曝光装置，通过设置驱动组件以驱动光源组件和载物台进行相反方向的移动，设置控制组件以控制驱动组件驱动光源组件和载物台的相对运动速度，同时使透光部的宽度方向与光源组件的扫描方向相同，光源的宽度d1＜透光部的宽度d2。从而可以有效地增加基板上电路的集成度，进而增加显示的分辨率。若分辨率不变，则可以有效地增加基板的开口率，从而增加显示效果。同时便于控制曝光区的宽度较相应的透光部的宽度缩小的倍数，进而增强显示效果。根据本专利技术的一些实施例，所述驱动组件包括：第一驱动部件，所述第一驱动部件用于驱动所述光源组件移动；第二驱动部件，所述第二驱动部件用于驱动所述载物台移动。从而可知，驱动组件的结构简单。驱动组件通过第一驱动部件驱动光源组件移动，通过第二驱动部件驱动载物台移动，由此有利于提高驱动组件工作的可靠性，进而保证曝光装置的可靠性。具体地，所述第一驱动部件为电机。从而能够保证驱动组件对光源组件的驱动效果，保证光源相对基板移动的稳定性，进而提高驱动组件的可靠性，同时便于控制组件对驱动组件进行控制，进而保证曝光装置的可靠性。具体地，所述第二驱动部件为电机。从而能够保证驱动组件对载物台的驱动效果，保证基板相对光源移动的稳定性，进而提高驱动组件的可靠性，同时便于控制组件对驱动组件进行控制，进而保证曝光装置的可靠性。具体地，所述光源为线型光源或偏振光。具体地，所述控制组件为芯片。由此可知，控制组件的体积小，精度高，从而能够在一定程度上减小曝光装置的占用空间，提高控制组件的控制精度。根据本专利技术的一些实施例，所述光源组件具有第一扫描方向和第二扫描方向，所述第一扫描方向和所述第二扫描方向垂直。从而可以在第一扫描方向上通过放置一个掩膜板以对基板进行第一次曝光，在第二扫描方向上通过放置另一个掩膜板以对基板进行第二次曝光，经过两个曝光即可获得具有相应曝光图案的基板。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是根据本专利技术实施例的掩膜板与光源组件相对运动原理示意图A；图2是根据本专利技术实施例的曝光装置的曝光原理示意图B。附图标记：曝光装置100；基板1；曝光区11；光源组件2；掩膜板3；透光部31；光源组件的运动方向4；掩膜板的运动方向5。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“宽度”、“上”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。下面参考图1-图2描述根据本专利技术实施例的曝光装置100。如图1-图2所示，根据本专利技术实施例的曝光装置100，包括：基台(图未示出)、光源组件2、载物台(图未示出)、驱动组件(图未示出)和控制组件(图未示出)。具体而言，基台用于放置基板1，光源组件2设在基台的上方，光源组件2用于发射光源。载物台设在基台和光源组件2之间且用于放置掩膜板3，掩膜板3上具有透光部31。从而可以利用光源组件2和载物台上的掩膜板3对基板1进行曝光。透光部31的宽度方向与光源组件2的扫描方向相同，光源的宽度为d1，透光部31的宽度为d2，d1和d2满足：d1＜d2。在对基板1进行曝光时驱动组件用于分别驱动光源组件2和载物台移动，其中光源组件2的移动方向与载物台的移动方向相反。由此可知，光源组件2与载物台在驱动组件的驱动作用下可发生相对运动，即光源组件2发射的光源与载物台上基板1可发生相对运动，从而使基板1上的曝光区11的图样较对应的掩膜板3上的透光部31出现成倍缩小。另基板1上的曝光区11的宽度为d3，也就是说，基板1上的曝光区11的宽度d3较相应的透光部31的宽度d2出现成倍缩小。由此，可以有效地增加基板1上电路的集成度，从而增加显示的分辨率。若分辨率不变，则可以有效地增加基板1的开口率，从而增加显示效果。控制组件与驱动组件相连以控制驱动组件驱动光源组件2和载物台的移动速度。可以理解的是，光源组件2和载物台移动的速度越快，曝光区11的宽度d3较相应的透光部31的宽度d2缩小的越多，缩小的倍数与光源组件2和载物台相对运动的速度成线性关系。从而可以通过控制组件控制光源组件2与载物台相对运动的速度，进而控制曝光区11的宽度d3较相应的透光部31的宽度d2缩小的倍数，进而增强显示效果。根据本专利技术实施例的曝光装置100，通过设置驱动组件以驱动光源组件2和载物台进行相反方向的移动，设置控制组件以控制驱动组件驱动光源组件2和载物台的相对运动速度，同时使透光部31的宽度方向与光源组件2的扫描方向相同，光源的宽度d1＜透光部31的宽度d2。从而可以有效地增加基板1上电路的集成度，进而增加显示的分辨率。若分辨率不变，则可以有效地增加基板1的开口率，从而增加显示效果。同时便于控制曝光区11的宽度d3较相应的透光部31的宽度d2缩小的倍数，进而增强显示效果。根据本专利技术的一些实施例，驱动组件包括：第一驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光装置，其特征在于，包括：基台，所述基台用于放置基板；光源组件，所述光源组件设在所述基台的上方，所述光源组件用于发射光源；载物台，所述载物台设在所述基台和所述光源组件之间且用于放置掩膜板，所述掩膜板上具有透光部，所述透光部的宽度方向与所述光源组件的扫描方向相同，所述光源的宽度为d1，所述透光部的宽度为d2，所述d1和所述d2满足：d1＜d2；驱动组件，在对所述基板进行曝光时所述驱动组件用于分别驱动所述光源组件和所述载物台移动，其中所述光源组件的移动方向与所述载物台的移动方向相反；控制组件，所述控制组件与所述驱动组件相连以控制所述驱动组件驱动所述光源组件和所述载物台的移动速度。

【技术特征摘要】
1.一种曝光装置，其特征在于，包括：基台，所述基台用于放置基板；光源组件，所述光源组件设在所述基台的上方，所述光源组件用于发射光源；载物台，所述载物台设在所述基台和所述光源组件之间且用于放置掩膜板，所述掩膜板上具有透光部，所述透光部的宽度方向与所述光源组件的扫描方向相同，所述光源的宽度为d1，所述透光部的宽度为d2，所述d1和所述d2满足：d1＜d2；驱动组件，在对所述基板进行曝光时所述驱动组件用于分别驱动所述光源组件和所述载物台移动，其中所述光源组件的移动方向与所述载物台的移动方向相反；控制组件，所述控制组件与所述驱动组件相连以控制所述驱动组件驱动所述光源组件和所述载物台的移动速...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡迎宾，赵策，周斌，王东方，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11