一种高精度压电陶瓷扫描器制造技术

本发明专利技术涉及到电镜技术领域，尤其涉及一种高精度压电陶瓷扫描器。该高精度压电陶瓷扫描器，包括支架、压电陶瓷管本体、外壳、盖子、导线一、导线二、连接器和陶瓷管，所述支架固定在外壳的一端内部。本发明专利技术所涉及的一种高精度压电陶瓷扫描器，在保证了扫描精度的同时，它的工艺制作简单，成功率高，同时成本较低，应用在扫描隧道显微镜和扫描探针显微镜上，适合产业化生产。

A high precision piezoceramic scanner

The invention relates to the technical field of electron microscopy, in particular to a high precision piezoelectric ceramic scanner. The high-precision piezoelectric ceramic scanner comprises a bracket, a piezoelectric ceramic tube body, a case, a cover, a lead wire, a conductor two, a connector and a ceramic tube, and the bracket is fixed at one end of the outer shell. A piezoelectric ceramic scanner with high accuracy is developed, which ensures that the scanning accuracy is high while the technology is simple, the success rate is high, and the cost is low. It is suitable for industrial production with scanning tunneling microscope and scanning probe microscope.

【技术实现步骤摘要】
一种高精度压电陶瓷扫描器
本专利技术涉及到电镜
，尤其涉及一种高精度压电陶瓷扫描器。
技术介绍
压电陶瓷扫描器是扫描隧道显微镜(STM)和扫描探针显微镜(SPM)的核心组成部件之一，其作用是带动样品在某一设定范围内扫描，不仅用来产生探针的三维运动，而且还是测量数据的直接来源，因此它对STM和SPM的测量精度和测量范围影响很大。目前市场上应用的压电陶瓷扫描器主要有三角架型、单管型和多管型等，三角架型扫描器制作复杂，成本较高，而多管式压电陶瓷扫描器虽然扫描范围较大，但是以牺牲扫描精度为代价的，同时多管拼接对管子的同心度要求极高，目前技术还不够成熟，制作成功率较低。STM和SPM都是精度极高的显微系统，它可以观测到一个原子的位置和分布状态，因此对扫描器的制作精度也是要求极高。为了解决上述技术问题，本专利技术设计了一种高精度压电陶瓷扫描器，在保证了扫描精度的同时，它的工艺制作简单，成功率高，同时成本较低，应用在扫描隧道显微镜和扫描探针显微镜上，适合产业化生产。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中存在的缺陷，本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种高精度压电陶瓷扫描器，包括支架、压电陶瓷管本体、外壳、盖子、导线一、导线二、连接器和陶瓷管，所述支架固定在外壳的一端内部，所述盖子固定在外壳的另一端上，所述压电陶瓷管本体的一端固定在外壳内部的支架上，所述压电陶瓷管本体的一端的另一端设有绝缘套，所述绝缘套内设有导电基座，所述绝缘套将压电陶瓷管本体和导电基座间隔开，所述导电基座内设有磁钢，所述压电陶瓷管本体和外壳之间设有避震环，所述压电陶瓷管本体的内部设有陶瓷管，所述陶瓷管的外侧面上设有X+导电层、X-导电层、Y+导电层和Y-导电层四个导电层，所述陶瓷管的内侧面上设有Z-导电层，所述X+导电层、X-导电层、Y+导电层和Y-导电层与连接器之间分别通过导线一相连接，所述Z-导电层与连接器之间通过导线二相连接，所述导电基座与连接器之间通过导线二相连接，所述支架上设有侧穿孔和中心穿孔，所述导线一从侧穿孔内穿过，所述导线二从中心穿孔内穿过。本专利技术所涉及的一种高精度压电陶瓷扫描器，在保证了扫描精度的同时，它的工艺制作简单，成功率高，同时成本较低，应用在扫描隧道显微镜和扫描探针显微镜上，适合产业化生产。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术一种高精度压电陶瓷扫描器的结构示意图；图2是本专利技术一种高精度压电陶瓷扫描器的局部剖视图；图3是本专利技术一种高精度压电陶瓷扫描器中的压电陶瓷管本体的结构示意图；图4是本专利技术一种高精度压电陶瓷扫描器中的压电陶瓷管本体的主视图；其中:1、支架；2、压电陶瓷管本体；3、避震环；4、绝缘套；5、磁钢；6、导电基座；7、外壳；8、盖子；9、侧穿孔；10、中心穿孔；11、导线一；12、导线二；13、连接器；14、X+导电层；15、X-导电层；16、Y+导电层；17、Y-导电层；18、Z-导电层；19、陶瓷管。具体实施方式现在结合附图对本专利技术作进一步详细的说明。附图为简化的示意图，仅以示意方式说明本专利技术的基本结构，因此其仅显示与本专利技术有关的构成。请参阅图1、图2、图3和图4，一种高精度压电陶瓷扫描器，包括支架1、压电陶瓷管本体2、外壳7、盖子8、导线一11、导线二12、连接器13和陶瓷管19，所述支架1固定在外壳7的一端内部，所述盖子8固定在外壳7的另一端上，所述压电陶瓷管本体2的一端固定在外壳7内部的支架1上，所述压电陶瓷管本体2的一端的另一端设有绝缘套4，所述绝缘套4内设有导电基座6，所述绝缘套4将压电陶瓷管本体2和导电基座6间隔开，所述导电基座6内设有磁钢5，所述压电陶瓷管本体2和外壳7之间设有避震环3，所述压电陶瓷管本体2的内部设有陶瓷管19，所述陶瓷管19的外侧面上设有X+导电层14、X-导电层15、Y+导电层16和Y-导电层17四个导电层，所述陶瓷管19的内侧面上设有Z-导电层18，所述X+导电层14、X-导电层15、Y+导电层16和Y-导电层17与连接器13之间分别通过导线一11相连接，所述Z-导电层18与连接器13之间通过导线二12相连接，所述导电基座6与连接器13之间通过导线二12相连接，所述支架1上设有侧穿孔9和中心穿孔10，所述导线一11从侧穿孔9内穿过，所述导线二12从中心穿孔10内穿过。本专利技术所涉及的一种高精度压电陶瓷扫描器，该高精度压电陶瓷扫描器中的压电陶瓷管2上设有5个导电层，5个导电层上加不同的电压来控制扫描器在XYZ三维空间内运动，其中X+导电层14与X-导电层15共同控制X方向运动，Y+导电层16与Y-导电层17共同控制Y方向运动；Z-导电层18用来控制Z方向运动。该高精度压电陶瓷扫描器能够在保证了扫描精度的同时，它的工艺制作简单，成功率高，同时成本较低，应用在扫描隧道显微镜和扫描探针显微镜上，适合产业化生产。显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本专利技术创造的保护范围之中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度压电陶瓷扫描器，包括支架（1）、压电陶瓷管本体（2）、外壳（7）、盖子（8）、导线一（11）、导线二（12）、连接器（13）和陶瓷管（19），其特征在于：所述支架（1）固定在外壳（7）的一端内部，所述盖子（8）固定在外壳（7）的另一端上，所述压电陶瓷管本体（2）的一端固定在外壳（7）内部的支架（1）上，所述压电陶瓷管本体（2）的一端的另一端设有绝缘套（4），所述绝缘套（4）内设有导电基座（6），所述绝缘套（4）将压电陶瓷管本体（2）和导电基座（6）间隔开，所述导电基座（6）内设有磁钢（5），所述压电陶瓷管本体（2）和外壳（7）之间设有避震环（3），所述压电陶瓷管本体（2）的内部设有陶瓷管（19），所述陶瓷管（19）的外侧面上设有X+导电层（14）、X‑导电层（15）、Y+导电层（16）和Y‑导电层（17）四个导电层，所述陶瓷管（19）的内侧面上设有Z‑导电层（18），所述X+导电层（14）、X‑导电层（15）、Y+导电层（16）和Y‑导电层（17）与连接器（13）之间分别通过导线一（11）相连接，所述Z‑导电层（18）与连接器（13）之间通过导线二（12）相连接，所述导电基座（6）与连接器（13）之间通过导线二（12）相连接，所述支架（1）上设有侧穿孔（9）和中心穿孔（10），所述导线一（11）从侧穿孔（9）内穿过，所述导线二（12）从中心穿孔（10）内穿过。...

【技术特征摘要】
1.一种高精度压电陶瓷扫描器，包括支架（1）、压电陶瓷管本体（2）、外壳（7）、盖子（8）、导线一（11）、导线二（12）、连接器（13）和陶瓷管（19），其特征在于：所述支架（1）固定在外壳（7）的一端内部，所述盖子（8）固定在外壳（7）的另一端上，所述压电陶瓷管本体（2）的一端固定在外壳（7）内部的支架（1）上，所述压电陶瓷管本体（2）的一端的另一端设有绝缘套（4），所述绝缘套（4）内设有导电基座（6），所述绝缘套（4）将压电陶瓷管本体（2）和导电基座（6）间隔开，所述导电基座（6）内设有磁钢（5），所述压电陶瓷管本体（2）和外壳（7）之间设有避震环（3），所述压电陶瓷管本体（2）的内...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊启红，张贤，朱峥嵘，黄大刚，
申请(专利权)人：苏州海兹思纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32