【技术实现步骤摘要】
载具冷却装置及具有载具冷却装置的移动滚轮台
本技术是关于一种冷却装置,尤指一种载具冷却装置及具有载具冷却装置的移动滚轮台。
技术介绍
现有的真空镀膜是一种通过物理方法产生薄膜材料的技术,最先使用于生产光学镜片,后延伸至其他功能的薄膜,如机械刀具镀膜以改变加工硬度等,现有的真空镀膜程序在工件经过表面处理或镀膜后,需经过一冷却装置,将载具或治具进行冷却,使其在制程中产生吸热的作用,以降低制程中对工件产生的热量,确保工件在可容许的温度下进行。现有的载具冷却装置如中国台湾专利号TWI531671号专利技术“具有载盘冷却功能的镀膜系统”,前述的载盘冷却功能是通过相变化物质的潜热转换,而该相变化的物质为冷媒,然而,冷媒的冷却温度并不均匀,且冷媒在降温过程中,冷媒中各区域的温度并无法受到监控与调整,因此,现有的载具冷却装置诚有改良的必要。
技术实现思路
为解决现有的载具冷却装置,利用冷媒做为相变化物质,导致载盘冷却温度不均的不足,本技术的主要目的在于提供一种载具冷却装置及具有载具冷却装置的移动滚轮台,本技术在致冷板以及散热板之间夹设有多个致冷晶片,通过多个致冷晶片的温度控制,使载具冷却的降温过程能够维持均匀降温。本技术解决先前技术问题所提出的载具冷却装置,其包括:一散热板;多个致冷晶片,该多个致冷晶片固接于该散热板的顶面;以及一致冷板,该致冷板固接于该多个致冷晶片的顶面。前述的载具冷却装置,其中该多个致冷晶片纵横间隔的设置于该散热板顶面。前述的载具冷却装置,其中致冷晶片的顶面凹设有四个螺孔,该致冷板通过锁固的方式固接于该多个致冷晶片的顶面。本技术解决先前技术问题所提出的具有载具 ...
【技术保护点】
一种载具冷却装置,其特征在于,其包括:一散热板;多个致冷晶片,该多个致冷晶片固接于该散热板的顶面;以及一致冷板,该致冷板固接于该多个致冷晶片的顶面。
【技术特征摘要】
1.一种载具冷却装置,其特征在于,其包括:一散热板;多个致冷晶片,该多个致冷晶片固接于该散热板的顶面;以及一致冷板,该致冷板固接于该多个致冷晶片的顶面。2.根据权利要求1所述的载具冷却装置,其特征在于,所述多个致冷晶片纵横间隔的设置于该散热板顶面。3.根据权利要求2所述的载具冷却装置,其特征在于,致冷晶片的顶面凹设有四个螺孔,该致冷板通过锁固的方式固接...
【专利技术属性】
技术研发人员:魏木元,刘忠炯,赖青华,杨正暐,
申请(专利权)人:友威科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:中国台湾,71
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