【技术实现步骤摘要】
基板镀膜装夹工具
本技术涉及的是一种基板镀膜装夹工具,属于机械设备
技术介绍
平板状材料如平板玻璃在真空镀膜时由于要整面镀膜,装夹工具只可以在基板周边较窄的区域实施夹持,而镀膜工序因其工艺特点,在传送、真空与大气环境切换等环节基板受到的冲击较大;这两方面的因素造成基板在镀膜工序的震动幅度较大,当基板震动时被夹持的边缘尤其角落是主要的受力点,现有装夹工具对基板震动的缓冲功能较弱,易造成基板边缘受力过大而破裂或磨损。现有装夹工具的主要功能实现部分由框架和弹性夹组成(其余部分还包括圆柱导轨、磁性导轨、绝缘块、连接件、二维码标牌等附件,根据具体设备细节设计,各不相同)。现有结构上框架内边缘尺寸较基板尺寸内缩一个较小的尺寸(典型如5mm)作为夹持区域,框架上安装弹性夹,生产时空置的工装弹性夹打开(由设备上的机构实现,如气缸驱动顶针顶开),基板挂上后弹性夹关闭夹住基板,传送至腔体内完成镀膜,出腔体后弹性夹再次打开,基板取走,如此循环。造成基板破裂的主要因素是沿垂直基板平面方向的震动,震动时基板边缘成为主要受力点,现有夹具由于框架不具有弹性,其与基板接触面在震动方向上不可移动,因而不具备缓冲功能,在垂直基板面的方向上不能较好实现减震,当基板向框架一侧震动时,基板在其与框架的接触面和镀膜区的交界处受到较大的拉应力,易裂开;另一方面,框架与基板之间在接触面上产生较大的压力,往往造成基板表面摩擦受损,产生破裂的起始点。本技术针对原有装夹工具的不足,提出了一种设计方案,可以对基板的震动起到缓冲减震的效果,从而避免基板边缘受力过大而破裂,为实现更高的良品率、更快的生产节 ...
【技术保护点】
基板镀膜装夹工具,其特征是包括外框、内框、弹簧夹、导柱;其中,弹簧夹处在内框上,内框与外框之间通过导柱连接;导柱的长度大于内框的厚度,内框的两侧装有缓冲材料。
【技术特征摘要】
1.基板镀膜装夹工具,其特征是包括外框、内框、弹簧夹、导柱;其中,弹簧夹处在内框上,内框与外框之间通过导柱连接;导柱的长度大于内框的厚度,内框的两侧装有缓冲材料。2.根据权利要求1所述的基板镀膜装夹工具,其特征是所述内框上有孔,外框上与内框上孔的对应位置有螺纹孔。3.根据权利要求2所述的基板镀膜装夹工具,其特...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱子寰,李亚明,朱廷,黎凤燕,钟义顺,石博平,
申请(专利权)人:南京中电熊猫液晶材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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