一种晶体激光切割装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶体激光切割装置，包括支撑架和工作台，在两个支撑架之间通过横梁固定连接，在横梁上固定安装有激光传导管，所述激光传导管末端安装有激光发生器，且在激光传导管中心通过调节杆安装有聚焦透镜，且调节杆通过调节调节螺栓调节，所述聚焦透镜侧面上缠绕有若干组冷凝水管，所述冷凝水管两端分别通过进水管和出水管固定安装在支撑架侧面，在聚焦透镜下方分别设有惰性保护气入口管和保洁出气管，在支撑架末端还设有喷嘴板，所述激光传导管通过喷嘴板将激光照射在工作台上，能够降低热效应，提高切割精度，与此同时还可以防止过热导致的破碎和变质，可以形成环流通道带走碎屑物质防止污染。

【技术实现步骤摘要】
一种晶体激光切割装置
本技术涉及激光切割
，具体为一种晶体激光切割装置。
技术介绍
随着半导体技术的发展，晶体的应用越来越广泛，但是在晶体的应用中，由于晶体的强度大，脆性强，对稳定比较敏感，采用常规的物理切割和热切割都难以导到晶体切割的标准，这是由于传统的物理切割会产生振动以及应力集中释放，导致晶体破碎，最主要的是在切割面上容易出现破碎面，不能满足精度上的需求。随着激光技术的发展，激光切割已经成为常态，但是在传统的激光切割中，也存在着一些缺陷。如中国专利CN205817100U公布的一种晶体激光切割装置，采用激光切割，但是在激光的过程中会产生大量的热积聚，导致切割发生熔融状态，而且还会由于热效应导致切割缝变大，精度误差变大，在上述技术方案中，采用红外探测和激光冷却技术，降低热效应，进而提高切割效率和精度。但是在类似的技术方案中，冷却过程是在晶体表现发生的，容易引起晶体冷热变化导致破碎，而且还会由于高热量导致晶体变质，对于不同类型的晶体切割，不能合理的调整切割缝，切割轨迹调整过于复杂，而且对于切割过程产生的碎屑物质不能及时清理，容易由于高温熔融污染晶体外表面。
技术实现思路
为了克服现有技术方案的不足,本技术提供一种晶体激光切割装置，能够降低热效应，提高切割精度，与此同时还可以防止过热导致的破碎和变质，可以形成环流通道带走碎屑物质防止污染，可以有效解决
技术介绍
中的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶体激光切割装置，包括支撑架和工作台，所述支撑架呈轴对称分别设在两侧，且在两个支撑架之间通过横梁固定连接，在横梁上固定安装有激光传导管，所述激光传导管末端安装有激光发生器，且在激光传导管中心通过调节杆安装有聚焦透镜，所述调节杆安装在支撑架内侧，且调节杆通过调节调节螺栓调节，所述聚焦透镜侧面上缠绕有若干组冷凝水管，所述冷凝水管两端分别通过进水管和出水管固定安装在支撑架侧面，在聚焦透镜下方分别设有惰性保护气入口管和保洁出气管，且惰性保护气入口管和保洁出气管分别设在不同的支撑架内侧，在支撑架末端还设有喷嘴板，所述激光传导管通过喷嘴板将激光照射在工作台上。作为本技术一种优选的技术方案，所述支撑架和工作台之间的距离恒定，且两者之间的距离为30cm。作为本技术一种优选的技术方案，所述调节杆和调节螺栓之间通过内螺旋连接，且调节杆和调节螺栓相互垂直，相邻所述内螺旋之间呈绞合状，且面夹角为60°。作为本技术一种优选的技术方案，所述冷凝水管和进水管以及出水管连接处均通过软管连接，所述软管的长度大于两倍聚焦透镜的调节高度。作为本技术一种优选的技术方案，所述保洁出气管末端还固定安装有收集板，所述收集板与支撑架内表面呈45°夹角。作为本技术一种优选的技术方案，所述喷嘴板通过滑板固定安装在支撑架末端，且滑板和支撑架之间通过调节器调整上下高度变化。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过设置在激光传导管中心位置安装聚焦透镜，将激光发生器产生的平行激光聚焦起来形成切割激光束，由于在聚焦的过程中会将高能量的激光集中起来，会产生大量的热，并且激光束也会产生高热量，影响切割的精确度，因此通过冷凝水管进行环流冷却，防止高温产生的晶体变质以及晶体由于受热不均导致的破碎，与此同时，通过惰性气体的充填，可以防止晶体在高温切割的条件下发生变质，隔绝空气等比较活跃的气体，同时流动的惰性气体还充当着搬运碎屑的角色，将切割产生碎屑带走并通过保洁出气管排出，形成完整的回路，避免碎屑物质导致的熔融污染问题。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术内螺旋结构示意图。图中：1-支撑架；2-工作台；3-横梁；4-激光传导管；5-激光发生器；6-调节杆；7-聚焦透镜；8-调节螺栓；9-冷凝水管；10-进水管；11-出水管；12-惰性保护气入口管；13-保洁出气管；14-喷嘴板；15-内螺旋；16-软管；17-收集板；18-滑板；19-调节器。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例：如图1和图2所示，一种晶体激光切割装置，包括支撑架1和工作台2，所述支撑架1和工作台2之间的距离恒定，且两者之间的距离为30cm，所述支撑架1呈轴对称分别设在两侧，且在两个支撑架1之间通过横梁3固定连接，提高激光传导管4的稳定性，在横梁3上固定安装有激光传导管4，所述激光传导管4末端安装有激光发生器5，且在激光传导管4中心通过调节杆6安装有聚焦透镜7，所进行聚焦，将平行的激光聚焦形成激光束，述调节杆6安装在支撑架1内侧，且调节杆6通过调节螺栓8调节，调整激光的焦点位置，实现不同深度的切割，所述调节杆6和调节螺栓8之间通过内螺旋15连接，且调节杆6和调节螺栓8相互垂直，相邻所述内螺旋15之间呈绞合状，且面夹角为60°。如图1所示，所述聚焦透镜7侧面上缠绕有若干组冷凝水管9，所述冷凝水管9两端分别通过进水管10和出水管11固定安装在支撑架1侧面，进行聚焦冷却，所述冷凝水管9和进水管10以及出水管11连接处均通过软管16连接，所述软管16的长度大于两倍聚焦透镜7的调节高度，便于移动聚焦透镜7，而不用在移动聚焦透镜7的同时还移动冷凝水管9，在聚焦透镜7下方分别设有惰性保护气入口管12和保洁出气管13，且惰性保护气入口管12和保洁出气管13分别设在不同的支撑架1内侧，所述保洁出气管13末端还固定安装有收集板17，所述收集板17与支撑架1内表面呈45°夹角，防止高温产生的晶体变质以及晶体由于受热不均导致的破碎，与此同时，通过惰性气体的充填，可以防止晶体在高温切割的条件下发生变质，隔绝空气等比较活跃的气体，同时流动的惰性气体还充当着搬运碎屑的角色，将切割产生碎屑带走并通过保洁出气管13排出，形成完整的回路，避免碎屑物质导致的熔融污染问题，在支撑架1末端还设有喷嘴板14，所述喷嘴板14通过滑板18固定安装在支撑架1末端，且滑板18和支撑架1之间通过调节器19调整上下高度变化，所述激光传导管4通过喷嘴板14将激光照射在工作台2上，防止碎屑物质直接喷射到激光传导管4上。本技术的主要特点在于，本技术通过设置在激光传导管中心位置安装聚焦透镜，将激光发生器产生的平行激光聚焦起来形成切割激光束，由于在聚焦的过程中会将高能量的激光集中起来，会产生大量的热，并且激光束也会产生高热量，影响切割的精确度，因此通过冷凝水管进行环流冷却，防止高温产生的晶体变质以及晶体由于受热不均导致的破碎，与此同时，通过惰性气体的充填，可以防止晶体在高温切割的条件下发生变质，隔绝空气等比较活跃的气体，同时流动的惰性气体还充当着搬运碎屑的角色，将切割产生碎屑带走并通过保洁出气管排出，形成完整的回路，避免碎屑物质导致的熔融污染问题。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶体激光切割装置，包括支撑架（1）和工作台（2），所述支撑架（1）呈轴对称分别设在两侧，且在两个支撑架（1）之间通过横梁（3）固定连接，在横梁（3）上固定安装有激光传导管（4），所述激光传导管（4）末端安装有激光发生器（5），其特征在于：在激光传导管（4）中心通过调节杆（6）安装有聚焦透镜（7），所述调节杆（6）安装在支撑架（1）内侧，且调节杆（6）通过调节螺栓（8）调节，所述聚焦透镜（7）侧面上缠绕有若干组冷凝水管（9），所述冷凝水管（9）两端分别通过进水管（10）和出水管（11）固定安装在支撑架（1）侧面，在聚焦透镜（7）下方分别设有惰性保护气入口管（12）和保洁出气管（13），且惰性保护气入口管（12）和保洁出气管（13）分别设在不同的支撑架（1）内侧，在支撑架（1）末端还设有喷嘴板（14），所述激光传导管（4）通过喷嘴板（14）将激光照射在工作台（2）上。

【技术特征摘要】
1.一种晶体激光切割装置，包括支撑架（1）和工作台（2），所述支撑架（1）呈轴对称分别设在两侧，且在两个支撑架（1）之间通过横梁（3）固定连接，在横梁（3）上固定安装有激光传导管（4），所述激光传导管（4）末端安装有激光发生器（5），其特征在于：在激光传导管（4）中心通过调节杆（6）安装有聚焦透镜（7），所述调节杆（6）安装在支撑架（1）内侧，且调节杆（6）通过调节螺栓（8）调节，所述聚焦透镜（7）侧面上缠绕有若干组冷凝水管（9），所述冷凝水管（9）两端分别通过进水管（10）和出水管（11）固定安装在支撑架（1）侧面，在聚焦透镜（7）下方分别设有惰性保护气入口管（12）和保洁出气管（13），且惰性保护气入口管（12）和保洁出气管（13）分别设在不同的支撑架（1）内侧，在支撑架（1）末端还设有喷嘴板（14），所述激光传导管（4）通过喷嘴板（14）将激光照射在工作台（2）上。2.根据权利要求1所述的一种晶体激光切割装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹云凯，
申请(专利权)人：东莞市嘉良展示科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44