一种用于半导体抛光液制作的成套设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于半导体抛光液制作的成套设备，属于抛光技术领域。本用于半导体抛光液制作的成套设备，包括搅拌箱、超声波粉碎仪和成品收集箱，搅拌箱上固定有搅拌电机，搅拌电机连接有搅拌轴，搅拌轴固定有安装环一和安装环二，安装环一固定有搅拌组件一，安装环二固定有搅拌组件二；搅拌箱连通有连接管一，连接管一与超声波粉碎仪相连通，连接管一上设置有液泵一，超声波粉碎仪和成品收集箱通过连接管二相连通，连接管二上连通有循环管，循环管与搅拌箱相连通，循环管上设置有液泵二和阀门一，连接管二上设有阀门二，成品收集箱上连通有出液管。本实用新型专利技术在半导体抛光液制作过程中具有能够进行搅拌、粉碎和循环处理的优点。

A complete set of equipment used for making semiconductor polishing fluids

The utility model provides a complete set of equipment for making semiconductor polishing liquid, which belongs to the field of polishing technology. The complete set of equipment used for semiconductor polishing production, including mixing box, ultrasonic crushing apparatus and finished the collection box, a stirring motor is fixed on the stirring tank, the mixing motor is connected with a stirring shaft, a stirring shaft is fixed with a mounting ring and a mounting ring two, a mounting ring is fixed with a stirring component, two fixed with a mounting ring the mixing assembly two; stirring box is communicated with a connecting pipe, a connecting pipe and ultrasonic crushing apparatus is connected with a connecting tube is provided with a liquid pump, ultrasonic crushing apparatus and finished collecting box through the connecting pipe connecting pipe two phase is communicated with a circulating pipe, the circulating pipe is communicated with the mixing tank, circulation the tube is provided with a liquid pump and a valve two, a connecting pipe two is provided with a valve two, the finished collecting box is communicated with the liquid outlet pipe. The utility model has the advantages of capable of stirring, crushing and recycling in the process of making semiconductor polishing liquid.

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体抛光液制作的成套设备
本技术属于抛光
，涉及一种抛光液制作，特别是一种用于半导体抛光液制作的成套设备。
技术介绍
在信息
中，以半导体材料为基础制作的各种器件，广泛应用于信息的传输、存储、控制、探测，如热敏电阻、磁悬浮、LED显示屏等。而半导体超精密加工工程，需要研磨抛光，其中对抛光液有很高的要求。但是，如今制作的抛光液由于粒子大小不均，存在分散性不均，颗粒研磨抛光时分散持续时间不够长，划伤和加工速率低等问题。导致工件表面粗糙无法满足半导体后工程制造所需的要求。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种用于半导体抛光液制作的成套设备，本用于半导体抛光液制作的成套设备在半导体抛光液制作过程中能够进行搅拌、粉碎和循环处理。本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种用于半导体抛光液制作的成套设备，包括搅拌箱、超声波粉碎仪和成品收集箱，其特征在于，所述的搅拌箱具有空腔，搅拌箱开设有加液口和加料口，加液口上螺纹连接有盖体一，加料口上螺纹连接有盖体二，搅拌箱外顶壁上固定有搅拌电机，搅拌电机的输出轴竖直向下，搅拌电机输出轴的另一端穿设在搅拌箱空腔内，搅拌电机输出轴与搅拌箱顶板之间设有轴承，搅拌电机输出轴通过联轴器连接有搅拌轴，搅拌轴上固定有安装环一和安装环二，安装环一位于安装环二的正上方，安装环一上固定有搅拌组件一，安装环二上固定有搅拌组件二；搅拌箱下端连接有与搅拌箱空腔相连通的连接管一，连接管一的另一端与超声波粉碎仪相连通，所述的连接管一上设置有液泵一，超声波粉碎仪和成品收集箱通过连接管二相连通，所述的连接管二上连通有循环管，循环管的另一端连接在搅拌箱的上端，且循环管与搅拌箱空腔相连通，循环管上设置有液泵二和阀门一，阀门一位于液泵二与搅拌箱之间，所述的连接管二上设置有阀门二，阀门二位于成品收集箱与循环管之间，成品收集箱上连通有出液管。首先，通过进液管液加入混合液，搅拌电机通过搅拌轴带动搅拌组件一和搅拌组件二先低速搅拌均匀，从加料口缓慢加入粉末，待加入完毕，拧上盖体一和盖体二，搅拌电机加速搅拌。其次，打开液泵一，混合液进入到超声波粉碎仪，超声波粉碎仪开始工作，通过超声波对搅拌后的大颗粒进行打散形成大小均一的微粒，减少团聚效应，使粒子分散均匀，其中超声波粉碎仪为市面上能够买到的现有产品。再次，关闭阀门二，开启液泵二和阀门一，混合液再次回到搅拌箱，循环多次。最后，关闭阀门一，开启液泵二和阀门二，使搅拌制作好的半导体抛光进入到成品收集箱。在上述用于半导体抛光液制作的成套设备中，所述的安装环一上水平固定有安装轴一和安装轴二，安装轴一和安装轴二相互平行，搅拌组件一包括搅拌叶片一、搅拌叶片二、搅拌叶片三和搅拌叶片四，搅拌叶片一和搅拌叶片二固定在安装轴一的两端，搅拌叶片三和搅拌叶片四固定在安装轴二的两端。在上述用于半导体抛光液制作的成套设备中，所述的搅拌轴位于搅拌叶片一和搅拌叶片二之间，搅拌叶片一和搅拌叶片二相垂直，搅拌轴位于搅拌叶片三和搅拌叶片四之间，搅拌叶片三和搅拌叶片四相垂直，且搅拌叶片一和搅拌叶片三相互平行，搅拌叶片二和搅拌叶片四相互平行。实现搅拌叶片一、搅拌叶片二、搅拌叶片三和搅拌叶片四双轴交叉搅拌。在上述用于半导体抛光液制作的成套设备中，所述的搅拌组件二包括通过螺钉水平固定在安装环二上的搅拌叶片五和搅拌叶片六。搅拌叶片一、搅拌叶片二、搅拌叶片三、搅拌叶片四、搅拌叶片五和搅拌叶片六采用这样的设置，能够保证搅拌箱内混合液体得到充分的循环搅拌。在上述用于半导体抛光液制作的成套设备中，所述的搅拌箱顶板连接有与搅拌箱空腔相连通的抽气管，抽气管上设置有真空泵。真空泵对搅拌箱进行抽真空，防止粉粒沉淀，使搅拌更加均匀，还可以加快搅拌速率，提高工作效率。在上述用于半导体抛光液制作的成套设备中，所述的出液管的另一端连接有出液龙头。在上述用于半导体抛光液制作的成套设备中，所述的搅拌箱上设置有开关，所述的声波粉碎仪、搅拌电机、液泵和真空泵均通过线路与开关相连接，搅拌箱上设置有控制箱，控制箱通过线路与开关相连接。与现有技术相比，本用于半导体抛光液制作的成套设备具有以下优点：依靠搅拌叶片一、搅拌叶片二、搅拌叶片三和搅拌叶片四实现双轴交叉搅拌，再结合真空泵、搅拌叶片五和搅拌叶片六来减少搅拌过程中重力对固体颗粒的影响，超声波对大颗粒进行打散形成大小均一的微粒，减少团聚效应。然后，利用循环系统，将打散的颗粒和液体泵回搅拌系统，达到充分搅拌的目的，本用于半导体抛光液制作的成套设备操作便捷，能有效的对半导体抛光液进行搅拌、粉碎、循环和贮存。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是本技术中搅拌箱的结构示意图。图中，1、搅拌箱；2、超声波粉碎仪；3、成品收集箱；4、盖体一；5、盖体二；6、搅拌轴；7、安装环一；8、安装轴一；9、安装轴二；10、搅拌叶片一；11、搅拌叶片二；12、搅拌叶片三；13、搅拌叶片四；14、安装环二；15、搅拌叶片五；16、搅拌叶片六；17、连接管一；18、液泵一；19、连接管二；20、循环管；21、液泵二；22、阀门一；23、阀门二；24、出液管；25、出液龙头；26、抽气管；27、真空泵；28、开关；29、控制箱；30、搅拌电机。具体实施方式以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。如图1所示，一种用于半导体抛光液制作的成套设备，包括搅拌箱1、超声波粉碎仪2和成品收集箱3，搅拌箱1具有空腔，搅拌箱1开设有加液口和加料口，加液口上螺纹连接有盖体一4，加料口上螺纹连接有盖体二5，搅拌箱1下端连接有与搅拌箱1空腔相连通的连接管一17，连接管一17的另一端与超声波粉碎仪2相连通，所述的连接管一17上设置有液泵一18，超声波粉碎仪2和成品收集箱3通过连接管二19相连通，所述的连接管二19上连通有循环管20，循环管20的另一端连接在搅拌箱1的上端，且循环管20与搅拌箱1空腔相连通，循环管20上设置有液泵二21和阀门一22，阀门一22位于液泵二21与搅拌箱1之间，所述的连接管二19上设置有阀门二23，阀门二23位于成品收集箱3与循环管20之间，成品收集箱3上连通有出液管24，出液管24的另一端连接有出液龙头25。如图2所示，搅拌箱1外顶壁上固定有搅拌电机30，搅拌电机30的输出轴竖直向下，搅拌电机30输出轴穿设在搅拌箱1空腔内，搅拌电机30输出轴与搅拌箱1顶板之间设有轴承，搅拌电机30输出轴通过联轴器连接有搅拌轴6，搅拌轴6上固定有安装环一7和安装环二14，安装环一7位于安装环二14的正上方，安装环一7上固定有搅拌组件一，安装环二14上固定有搅拌组件二。安装环一7上水平固定有安装轴一8和安装轴二9，安装环一7上水平固定有安装轴一8和安装轴二9，安装轴一8和安装轴二9相互平行，搅拌组件一包括搅拌叶片一10、搅拌叶片二11、搅拌叶片三12和搅拌叶片四13，搅拌叶片一10和搅拌叶片二11固定在安装轴一8的两端，搅拌叶片三12和搅拌叶片四13固定在安装轴二9的两端。搅拌轴6位于搅拌叶片一10和搅拌叶片二11之间，搅拌叶片一10和搅拌叶片二11相垂直，搅拌轴6位于搅拌叶片三12和搅拌叶片四13之间，搅拌叶片本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于半导体抛光液制作的成套设备，包括搅拌箱、超声波粉碎仪和成品收集箱，其特征在于，所述的搅拌箱具有空腔，搅拌箱开设有加液口和加料口，加液口上螺纹连接有盖体一，加料口上螺纹连接有盖体二，搅拌箱外顶壁上固定有搅拌电机，搅拌电机的输出轴竖直向下，搅拌电机输出轴穿设在搅拌箱空腔内，搅拌电机输出轴与搅拌箱顶板之间设有轴承，搅拌电机输出轴通过联轴器连接有搅拌轴，搅拌轴上固定有安装环一和安装环二，安装环一位于安装环二的正上方，安装环一上固定有搅拌组件一，安装环二上固定有搅拌组件二；搅拌箱下端连接有与搅拌箱空腔相连通的连接管一，连接管一的另一端与超声波粉碎仪相连通，所述的连接管一上设置有液泵一，超声波粉碎仪和成品收集箱通过连接管二相连通，所述的连接管二上连通有循环管，循环管的另一端连接在搅拌箱的上端，且循环管与搅拌箱空腔相连通，循环管上设置有液泵二和阀门一，阀门一位于液泵二与搅拌箱之间，所述的连接管二上设置有阀门二，阀门二位于成品收集箱与循环管之间，成品收集箱上连通有出液管。

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体抛光液制作的成套设备，包括搅拌箱、超声波粉碎仪和成品收集箱，其特征在于，所述的搅拌箱具有空腔，搅拌箱开设有加液口和加料口，加液口上螺纹连接有盖体一，加料口上螺纹连接有盖体二，搅拌箱外顶壁上固定有搅拌电机，搅拌电机的输出轴竖直向下，搅拌电机输出轴穿设在搅拌箱空腔内，搅拌电机输出轴与搅拌箱顶板之间设有轴承，搅拌电机输出轴通过联轴器连接有搅拌轴，搅拌轴上固定有安装环一和安装环二，安装环一位于安装环二的正上方，安装环一上固定有搅拌组件一，安装环二上固定有搅拌组件二；搅拌箱下端连接有与搅拌箱空腔相连通的连接管一，连接管一的另一端与超声波粉碎仪相连通，所述的连接管一上设置有液泵一，超声波粉碎仪和成品收集箱通过连接管二相连通，所述的连接管二上连通有循环管，循环管的另一端连接在搅拌箱的上端，且循环管与搅拌箱空腔相连通，循环管上设置有液泵二和阀门一，阀门一位于液泵二与搅拌箱之间，所述的连接管二上设置有阀门二，阀门二位于成品收集箱与循环管之间，成品收集箱上连通有出液管。2.根据权利要求1所述的用于半导体抛光液制作的成套设备，其特征在于，所述的安装环一上水平固定有安装轴一和安装轴二，安装轴一和安装轴二相互平行...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹涛，胡泽浩，王俊，殷志成，王培有，
申请(专利权)人：衢州学院，
类型：新型
国别省市：浙江,33