The present invention relates to a microelectronic package together with the silver key, particularly relates to a preparation method of a graphene film bonding of silver, mainly includes the following steps: step S6: water solution of graphene oxide into the first elongated sink in the first stage, applying ultrasonic vibration, the bonding of silver was prepared through continuous surface attachment of graphene oxide bonded silver; step S7: configuration of ascorbic acid aqueous solution, into second long strip flume, applying second stage ultrasonic oscillation, the surface has a graphene oxide film bonding silver after continuous aqueous ascorbic acid reduction system is attached to the surface of graphene silver bonding. Compared with the existing technology, preparation method of key with graphene film of the invention can be combined in silver bonding silver surface evenly attached ultra-thin graphene film, improve bonding silver antioxidant properties, cost savings.
【技术实现步骤摘要】
一种具有石墨烯薄膜的键合银丝的制备方法
本专利技术涉及微电子封装用键合银丝,特别涉及一种具有石墨烯薄膜的键合银丝的制备方法。
技术介绍
键合丝作为将半导体元件上的电极与外部端子之间进行接合的电性连接线,主要采用线径为20μm-50μm左右的4N系(纯度>99.99%(重量))黄金及其它微量元素合金化制成的金线,然而由于黄金价格昂贵且近年来价格持续上涨,寻找替代金线的材料一直是电子封装领域的研究热点。银以其优异的热学、电学性能以及较低的价格,被认为是取代金的合适键合丝材料,然而银线相比金线具有一些列的缺点:线材表面易氧化导致键合强度降低,在进行树脂封装时易引起线材表面腐蚀,较高的硬度易造成打线时对基板造成损伤等等。为了解决上述问题,银线的研发思路主要有两种:表面涂层和合金化。表面涂层,目前较多采用的是银线表面镀金。中国专利文献CN104377185A公布了镀金银钯合金单晶键合丝及其制造方法,本专利技术所述镀金银钯合金单晶键合丝是一种具有黄金类键合丝的优点、又具有银基类键合丝的优点、且价格相对低廉的一种新型键合丝。该表面镀钯键合银丝镀钯层表面均匀,致密完整,有利于焊接键合时充分变形,提高拉断力和可靠性。合金化,即通过添加合金元素改善银线性能。中国专利CN101626005B公开了一种键合银丝及其制备方法,由以下组分组成:Cu0.30%-0.80%,Ce0.20%-0.50%,Pd0.05%-0.09%,余量为Ag。本专利技术在高纯银材料的基础上,采取多元掺杂合金,加入其他成分,减少金属化合物的形成,同时阻止了界面氧化物和裂纹的产生,降低了 ...
【技术保护点】
一种具有石墨烯薄膜的键合银丝的制备方法,其特征在于:该方法包括如下步骤:步骤S1:将高纯度银添加微量金属元素进行真空熔炼,连铸成直径为6mm-10mm的银合金棒材;步骤S2:对银合金棒材进行拉拔,得到直径为0.5mm-1.0mm的银合金丝;步骤S3:对步骤S2得到的直径为0.5mm-1.0mm的银合金丝进行中间退火,中间退火的退火温度为400℃~800℃,退火时间为2h-6h,保护气氛为95%N2+5%H2;步骤S4:将中间退火后的银合金丝继续拉拔,得到直径为0.01mm-0.03mm的超细银合金丝;步骤S5:对直径为0.01mm-0.03mm的超细银合金丝进行成品退火,成品退火在管式在线退火炉内进行,退火温度为400℃~600℃,退火时间为0.2S-0.6S,保护气氛为95%N2+5%H2,退火完成后,得到微电子封装用键合银丝;步骤S6:配置1.0mg/mL~10.0mg/mL的氧化石墨烯水溶液,将氧化石墨烯水溶液倒入第一长条形水槽中,施加第一阶段超声波震荡,将键合银丝连续经过氧化石墨烯水溶液制得表面附着有氧化石墨烯的键合银丝,材料干燥,得表面具有氧化石墨烯薄膜的键合银丝;步骤S7: ...
【技术特征摘要】
1.一种具有石墨烯薄膜的键合银丝的制备方法,其特征在于:该方法包括如下步骤:步骤S1:将高纯度银添加微量金属元素进行真空熔炼,连铸成直径为6mm-10mm的银合金棒材;步骤S2:对银合金棒材进行拉拔,得到直径为0.5mm-1.0mm的银合金丝;步骤S3:对步骤S2得到的直径为0.5mm-1.0mm的银合金丝进行中间退火,中间退火的退火温度为400℃~800℃,退火时间为2h-6h,保护气氛为95%N2+5%H2;步骤S4:将中间退火后的银合金丝继续拉拔,得到直径为0.01mm-0.03mm的超细银合金丝;步骤S5:对直径为0.01mm-0.03mm的超细银合金丝进行成品退火,成品退火在管式在线退火炉内进行,退火温度为400℃~600℃,退火时间为0.2S-0.6S,保护气氛为95%N2+5%H2,退火完成后,得到微电子封装用键合银丝;步骤S6:配置1.0mg/mL~10.0mg/mL的氧化石墨烯水溶液,将氧化石墨烯水溶液倒入第一长条形水槽中,施加第一阶段超声波震荡,将键合银丝连续经过氧化石墨烯水溶液制得表面附着有氧化石墨烯的键合银丝,材料干燥,得表面具有氧化石墨烯薄膜的键合银丝;步骤S7:配置抗坏血酸水溶液,放入第二长条形水槽中,施加第二阶段超声波震荡,将表面具有氧化...
【专利技术属性】
技术研发人员:金鹏,卢卓,田首夫,
申请(专利权)人:深圳市远思达成科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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