一种石英二次加料器制造技术

技术编号:16864728 阅读:69 留言:0更新日期:2017-12-23 05:48
本实用新型专利技术提供了一种石英二次加料器,包括石英料筒,该石英套筒的内部设置有石英套管,所述石英套管从石英套筒上部设置的石英盖板装入并由石英盖板的中心孔进行定位,所述石英套管的内部设置有钼提拉杆,在所述石英料筒的底部设置有石英底锥,该石英底锥顶住石英套管并将钼提拉杆固定;所述石英套管的顶部设置有夹头连接杆。本实用新型专利技术与硅料接触的料筒,底锥,盖板均为高纯石英材料,提拉杆为钼材料,为使提拉杆与硅料之间在使用过程中不产生摩擦,在钼质提拉杆外部安装了石英套管,使要加装的硅料接触材料均为石英材质,从而避免了污染。

A quartz two feeder

The utility model provides a quartz two feeder, which comprises a quartz cylinder, the internal sleeve is provided with quartz quartz tube, quartz plate into the quartz tube from the quartz sleeve is arranged on the upper part and positioned through the center hole of quartz cover, the inside of the casing is provided with a quartz rod in the extraction of molybdenum. The quartz cylinder is arranged at the bottom end of the quartz quartz cone, cone quartz sleeve and pulling off the molybdenum rod is fixed; the top of the quartz sleeve is provided with a connecting rod chuck. The barrel of the utility model and the silicon material contact the bottom cone and the cover plate are made of high purity quartz material, lifting rod molybdenum materials, as between the lifting rod and the silicon material in the process of using friction, a quartz sleeve mounted on molybdenum lifting rod outside, the silicon material contact materials are added to as the quartz material, so as to avoid the pollution.

【技术实现步骤摘要】
一种石英二次加料器
本技术涉及一种二次加料器技术,具体地涉及一种单晶炉用石英二次加料器。
技术介绍
国内优质石英砂供应紧张,而石英埚是单晶硅行业的高耗产品,充分利用石英埚的空间无疑对产量会产生极大的提升,生产成本会有明显的下降。石英埚都需要匹配设置二次加料器,当前使用的类似二次加料器,内部与硅料接触的活动部件均含有金属部件,在加料过程中,硅料与金属部件相摩擦,会对硅料造成污染,严重时导致单晶硅棒电阻率不合格或拉制不成功。
技术实现思路
有鉴于此,本技术的主要目的是提供一种石英二次加料器。本技术采用的技术方案是:一种石英二次加料器,包括石英料筒,该石英料筒的内部设置有石英套管,所述石英套管从石英料筒上部设置的石英盖板装入并由石英盖板的中心孔进行定位,所述石英套管的内部设置有钼提拉杆,在所述石英料筒的底部设置有石英底锥,该石英底锥顶住石英套管并将钼提拉杆固定;所述石英套管的顶部设置有夹头连接杆。进一步地,所述石英料筒的上端部分周向设置有固定端A,在固定端A的上部近石英盖板的部分设置有固定环。进一步地,所述钼提拉杆与石英底锥通过钼螺钉固定。进一步地,所述钼提拉杆外部设置有石英套管。进一步地,所述石英料筒和石英套管之间形成空隙,且石英料筒和石英套管同心设置。本技术与硅料接触的料筒,底锥,盖板均为高纯石英材料,提拉杆为钼材料,为使提拉杆与硅料之间在使用过程中不产生摩擦,在钼质提拉杆外部安装了石英套管,使要加装的硅料接触材料均为石英材质,从而避免了污染。又因其全部使用石英材质和钼材质,外加磁场不会对其造成影响,特别适用于使用磁场长晶的单晶炉设备使用。附图说明图1为本技术的结构示意图;其中,各个部件的标记及名称如下:石英料筒1;石英底锥2;石英套管3;石英盖板4;钼提拉杆5;钼螺钉6;固定环7;夹头连接杆8;硅料9。具体实施方式下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本技术,在此本技术的示意性实施例以及说明用来解释本技术,但并不作为对本技术的限定。参照图1,本技术公开了一种石英二次加料器,包括石英料筒1,该石英料筒1的内部设置有石英套管3,所述石英套管3从石英料筒1上部设置的石英盖板4装入并由石英盖板4的中心孔进行定位,所述石英套管3的内部设置有钼提拉杆5,在所述石英料筒1的底部设置有石英底锥2,该石英底锥2顶住石英套管3并将钼提拉杆5固定;其中,所述钼提拉杆5与石英底锥2通过钼螺钉6固定。所述石英套管3的顶部设置有夹头连接杆8。所述石英料筒1的上端部分周向设置有固定端A,在固定端A的上部近石英盖板4的部分设置有固定环7。其原理为:把硅料9装进二次加料器内,把副室旋开至合适位置,把籽晶夹头和夹头连接杆8连接,经快升把二次加料器升入副室内部,副室旋入至合炉位置,待副室内真空达到要求后,打开翻板阀,以一定速度下降二次加料器,当二次加料器的固定端A和炉体接触时,石英料筒1不能下降,此时继续下降二次加料器,因重力作用,夹头连接杆8、钼提拉杆5、石英套管3、石英底锥2继续向下移动,使石英底锥2和石英料筒1之间打开一个合适的间隙,硅料9通过此间隙流入石英坩埚内。固定环7保证了石英盖板4和石英料筒1保持同心,石英套管3通过石英盖板4的中心孔进行定位,保证了整体上下运动时的同心。为了避免污染,本技术中的料筒,底锥,盖板均为高纯石英材料,提拉杆为钼材料,为使提拉杆与硅料之间在使用过程中不产生摩擦,在钼质提拉杆外部安装了石英套管3,使要加装的硅料接触材料均为石英材质,从而避免了污染。又因其全部使用石英材质和钼材质,外加磁场不会对其造成影响,特别适用于使用磁场长晶的单晶炉设备使用。以上对本技术实施例所公开的技术方案进行了详细介绍,本文中应用了具体实施例对本技术实施例的原理以及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只适用于帮助理解本技术实施例的原理;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本技术实施例,在具体实施方式以及应用范围上均会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本技术的限制。本文档来自技高网...
一种石英二次加料器

【技术保护点】
一种石英二次加料器,包括石英料筒(1),该石英料筒(1)的内部设置有石英套管(3),其特征在于,所述石英套管(3)从石英料筒(1)上部设置的石英盖板(4)装入并由石英盖板(4)的中心孔进行定位,所述石英套管(3)的内部设置有钼提拉杆(5),在所述石英料筒(1)的底部设置有石英底锥(2),该石英底锥(2)顶住石英套管(3)并将钼提拉杆(5)固定;所述石英套管(3)的顶部设置有夹头连接杆(8)。

【技术特征摘要】
1.一种石英二次加料器,包括石英料筒(1),该石英料筒(1)的内部设置有石英套管(3),其特征在于,所述石英套管(3)从石英料筒(1)上部设置的石英盖板(4)装入并由石英盖板(4)的中心孔进行定位,所述石英套管(3)的内部设置有钼提拉杆(5),在所述石英料筒(1)的底部设置有石英底锥(2),该石英底锥(2)顶住石英套管(3)并将钼提拉杆(5)固定;所述石英套管(3)的顶部设置有夹头连接杆(8)。2.根据权利要求1所述的石英二次加料器,其特征在于,所述石英料筒(1)的上端部分...

【专利技术属性】
技术研发人员:时刚刘统青武海军
申请(专利权)人:西安创联新能源设备有限公司
类型:新型
国别省市:陕西,61

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1