低碳、无油大抽速真空抽气机组制造技术

本发明专利技术提供了一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其采用若干立式复合径流分子泵+深冷水汽泵+化学吸附泵抽气机组，获得能与传统扩散泵相当的抽速，具有大幅度节省抽气能耗，缩短抽气时间和消除油蒸汽污染的显著优点。

Low carbon, oil free and large pumping speed vacuum pumping unit

The invention provides a low carbon, no oil pumping speed vacuum pumping units, the number of vertical runoff composite molecular pump + deep cold water vapor pump + chemical adsorption pump pumping unit, can obtain considerable pumping speed and traditional diffusion pump, can greatly save the pumping energy consumption, reduce the pumping time and the elimination of oil vapor pollution advantages.

【技术实现步骤摘要】
低碳、无油大抽速真空抽气机组
本专利技术属于真空
，尤其涉及一种低碳、无油大抽速真空抽气机组。
技术介绍
传统扩散泵具有抽速大、价格低和维护方便等优点，几十年来，一直是大型工业高真空设备的主流泵种，然而，该扩散泵存在如下缺点：1．油蒸汽污染大：扩散泵利用油蒸汽喷射流抽气，油蒸汽污染严重，影响真空产品的质量。2.能耗高：一台几万L/s的扩散泵抽气机组，耗电高达30~50万度/年。上述缺点是当今真空产业亟待解决，但一直未能攻克的难题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于采用一种可显著降低油蒸汽污染和能耗的低碳、无油大抽速真空抽气机组。本专利技术是这样实现的，一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、化学吸附泵机组、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内部上方设有深冷水汽泵，所述真空壳体内部下方设有径流泵机组，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述径流泵机组的排气口通过第三真空阀与前级泵连接，所述真空室和化学吸附泵机组之间设有第四真空阀。具体地，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。具体地，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。本专利技术还提供了另一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内由下向上依次设有径流泵机组、化学吸附泵机组和深冷水汽泵，所述径流泵机组由若干并联抽气的径流泵组成，各所述径流泵共用一台前级泵，所述径流泵机组的排气口与所述前级泵之间设有第三真空阀，所述深冷水汽泵采用单制冷模式。具体地，所述化学吸附泵机组由若干并联的电弧钛泵组成。具体地，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。本专利技术还提供了另一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、化学吸附泵机组、深冷水汽泵、径流泵机组、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和化学吸附泵机组之间设有第二真空阀，所述真空室和深冷水汽泵之间设有第三真空阀，所述真空室和径流泵机组之间设有第四真空阀，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述径流泵机组的排气口通过第五真空阀与前级泵连接。具体地，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。具体地，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。本专利技术的低碳、无油大抽速真空抽气机组利用径流泵机组、深冷水汽泵和化学吸附泵机组抽气能力的互补性将径流泵机组、深冷水汽泵和化学吸附泵机组的抽气能力实现最优化，从而取代传统高能耗、高油蒸汽污染的扩散泵+罗茨泵机组，消除油蒸汽污染，实现消除油蒸汽污染，显著提高真空产品质量，降低抽气能耗约80%的目的。附图说明为了更清楚地说明本专利技术的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例一提供的低碳、无油大抽速真空抽气机组的示意图。图2是本专利技术实施例二提供的低碳、无油大抽速真空抽气机组的示意图。图3是本专利技术实施例三提供的低碳、无油大抽速真空抽气机组的示意图。图4是本专利技术实施例一、二、三提供的低碳、无油大抽速真空抽气机组的泵筒的示意图。图5是沿图4中的A-A方向的剖视图。图6是本专利技术实施例一、二、三提供的低碳、无油大抽速真空抽气机组的剖视图。图7是本专利技术实施例一、二、三提供的低碳、无油大抽速真空抽气机组的静轮的结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。实施例一无油真空泵组装在二个真空壳体内的低碳、无油大抽速真空抽气机组如图1所示，本专利技术实施例一提供的一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，包括真空室11，真空室11分别与粗抽泵机组12、真空壳体13、化学吸附泵机组14、放气阀15和真空规16连接，真空室11和粗抽泵机组12之间设有第一真空阀17，真空室11和真空壳体13之间设有第二真空阀18，真空壳体13内部上方设有深冷水汽泵19，真空壳体13内部下方设有径流泵机组110，径流泵机组110由四台并联抽气的立式复合径流分子泵组成，径流泵机组110的排气口通过第三真空阀112与前级泵111连接，真空室11和化学吸附泵机组14之间设有第四真空阀113，化学吸附泵机组14由六台电弧钛泵并联组成。如图4~图7所示，本实施例一的立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒41，泵筒41的侧壁开设有进气口42和排气口（未示出），泵筒41内设有径流抽气单元，该径流抽气单元包括转子43、静轮44和动密封45，转子43上固设有两平圆盘状的动轮46，两动轮46平行且间隔设置，静轮44设于两动轮46之间，静轮44与两动轮46平行设置，动密封45位于下方的动轮46的下方，静轮44和动密封45均固设于泵筒41的侧壁上；位于上方的动轮46的外侧设有一组涡轮叶列47，涡轮叶列47由上向下抽气；静轮44上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽441，静轮44的中部未设置隔板，由于静轮44的中部未设置隔板，从而提高了气体的抽速。如图4~图7所示，本实施例一的立式复合径流分子泵的工作原理如下：（1）本实施例一的进气口42设在泵筒41的侧壁，泵筒41外侧的气体依次经进气口42和抽气槽441抽至径流抽气单元的下方；（2）同时，由于本实施例一的泵筒41上端为敞口，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、化学吸附泵机组、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内部上方设有深冷水汽泵，所述真空壳体内部下方设有径流泵机组，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述径流泵机组的排气口通过第三真空阀与前级泵连接，所述真空室和化学吸附泵机组之间设有第四真空阀。

【技术特征摘要】
1.一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、化学吸附泵机组、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内部上方设有深冷水汽泵，所述真空壳体内部下方设有径流泵机组，所述径流泵机组由若干并联抽气的立式复合径流分子泵组成，所述径流泵机组的排气口通过第三真空阀与前级泵连接，所述真空室和化学吸附泵机组之间设有第四真空阀。2.根据权利要求1所述的低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，所述化学吸附泵机组由若干电弧钛泵并联组成。3.根据权利要求1所述的低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，所述立式复合径流分子泵包括上端敞口的泵筒，所述泵筒的侧壁开设有进气口和排气口，所述泵筒内设有径流抽气单元，所述径流抽气单元包括转子、静轮和动密封，所述转子上固设有两平圆盘状的动轮，两所述动轮平行且间隔设置，所述静轮设于两所述动轮之间，所述静轮与两所述动轮平行设置，所述动密封位于下方的所述动轮的下方，所述静轮和动密封均固设于所述泵筒的侧壁上；位于上方的所述动轮的外侧设有一组涡轮叶列，所述涡轮叶列由上向下抽气；所述静轮上设有若干由螺旋状叶片构成的抽气槽，所述静轮的中部未设置隔板。4.一种低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，包括真空室，所述真空室分别与粗抽泵机组、真空壳体、放气阀和真空规连接，所述真空室和粗抽泵机组之间设有第一真空阀，所述真空室和真空壳体之间设有第二真空阀，所述真空壳体内由下向上依次设有径流泵机组、化学吸附泵机组和深冷水汽泵，所述径流泵机组由若干并联抽气的径流泵组成，各所述径流泵共用一台前级泵，所述径流泵机组的排气口与所述前级泵之间设有第三真空阀，所述深冷水汽泵采用单制冷模式。5.根据权利要求4所述的低碳、无油大抽速真空抽气机组，其特征在于，所述化学吸附泵机组由若干并联的电弧钛泵组成...

【专利技术属性】
技术研发人员：储昕，
申请(专利权)人：储昕，
类型：发明
国别省市：广东,44