The utility model is improved for the first place an ultrapure water production apparatus, including the body, including the security filter is positioned in the body inside, the security filter connected with the water inlet pretreatment module, the reverse osmosis device comprises one or a plurality of reverse osmosis membrane components from the filter; the security filter in the water into the reverse osmosis device through the high-pressure pump; electrodeionization module, water outlet inlet is connected with the reverse osmosis device; resistivity detection device is connected with the electrodeionization module. The ultrapure water production equipment provided by the utility model uses the pretreatment module to pre treat the raw water, and the water enters the security filter. The ultrapure water production device provided by the utility model has the advantages of less detection times, small size and water quality reaching the standard of the ultra pure water production device.
【技术实现步骤摘要】
一种超纯水生产装置
本技术涉及一种水处理设备领域,具体涉及一种超纯水生产设备。
技术介绍
超纯水,是电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化或者一些化工制备过程中的水汽源等。车用尿素是柴油车尾气处理装置中一个必不可少的试剂,在车用尿素的混配和制备过程中,必须要用超纯水,因为一般的水中含有大量的金属离子和氯化物,会影响尾气处理装置的感应器探头的灵敏度甚至导致设备的损坏。现有技术中制备超纯水通常都会将原水进行多道过滤,并检测每道过滤后的水中离子浓度、电阻率、电导率等参数,造成装置包括的零部件和机构过多,体积过于庞大,不利于产品的小型化。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提供一种检测项目少,小型化且水质达标的超纯水生产装置。为解决以上技术问题,本技术的技术方案为采用一种超纯水生产装置,包括机构本体,还包括位于所述机构本体内部的保安过滤器,所述保安过滤器的入水口连接预处理模块,所述反渗透装置,包括一个或多个反渗透膜组件;从所述保安过滤器中过滤的水通过高压泵进入所述反渗透装置;电去离子模块,入水口连接所述反渗透装置的出水口;电阻率检测装置,连接所述电去离子模块的出水口。优选的,还包括电导率检测装置,用于检测所述反渗透装置出水口水的电导率。优选的,所述预处理模块包括通过管路依次连接的第一过滤机构、第二过滤机构和第三过滤机构;所述第一过滤机构、第二过滤机构和第三过滤机构中一个或多个过滤机构的上部均设置有反冲洗装置。优选的,还包括原水泵,所述原水泵的出水口与所述第一过滤机构的入水口连接;同时还连接所述反 ...
【技术保护点】
一种超纯水生产装置,包括机构本体,其特征在于,还包括位于所述机构本体内部的保安过滤器,所述保安过滤器的入水口连接预处理模块,反渗透装置,包括一个或多个反渗透膜组件;从所述保安过滤器中过滤的水通过高压泵进入所述反渗透装置;电去离子模块,入水口连接所述反渗透装置的出水口;电阻率检测装置,连接所述电去离子模块的出水口。
【技术特征摘要】
1.一种超纯水生产装置,包括机构本体,其特征在于,还包括位于所述机构本体内部的保安过滤器,所述保安过滤器的入水口连接预处理模块,反渗透装置,包括一个或多个反渗透膜组件;从所述保安过滤器中过滤的水通过高压泵进入所述反渗透装置;电去离子模块,入水口连接所述反渗透装置的出水口;电阻率检测装置,连接所述电去离子模块的出水口。2.根据权利要求1所述的超纯水生产装置,其特征在于,还包括电导率检测装置,用于检测所述反渗透装置出水口水的电导率。3.根据权利要求1所述的超纯水生产装置,其特征在于,所述预处理模块包括通过管路依次连接的第一过滤机构、第二过滤机构和第三过滤机构;所述第一过滤机构、第二过滤机构和第三过滤机构中一个或多个过滤机构的上部均设置有反冲洗装置。4.根据权利要求3所述的超纯水生产装置,其特征在于,还包括原水泵,所述原水泵的出水口与所述第一过滤机构的入水口连接;同时还连接所述反冲洗装置。5.根据权利要求3所述的超纯水生产...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭春江,伍欣,沈勇,胡明,张海涛,
申请(专利权)人:成都乾威科技有限公司,
类型:新型
国别省市:四川,51
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