The utility model relates to a LOW K slotted full automatic laser processing device comprises a bearing bracket, a bearing bracket is installed on the automatic loading and unloading components, automatic loading and unloading component material outlet is provided with a cleaning coating component, the bearing bracket is also provided with a laser, laser light the output end of a light path, installation components, optical material components of the optical output and the cleaning end is provided with a processing component coated component. Depending on the coordination of each component, it can realize automatic feeding and automatic cleaning. And, can be processed at the same time N cutting, which greatly improves the processing efficiency of the LOW K slot, reduces the manufacturing cost and production cycle front.
【技术实现步骤摘要】
用于LOW-K开槽的全自动激光加工装置
本技术涉及一种激光加工装置,尤其涉及一种用于LOW-K开槽的全自动激光加工装置。
技术介绍
近年来半导体产业发展迅猛,中国已成为IGBT,LED等半导体芯片最大消费国,而且每年以30%以上的速度增长,未来5年,中国半导体产业将进入黄金时代,当前各大半导体厂商都在进行产能扩建,以满足日益增长的消费需求。众所周知,半导体设备是半导体产业发展的基础,半导体设备行业的表现与整体半导体业的景气度密不可分,以往的半导体设备基本上是靠国外进口,而基于LOW-K开槽的全自动激光加工装置是半导体芯片制程上尤为重要的一个环节,因此急需研发一款国产全自动LOW-K开槽的激光加工装置,以弥补国家在该领域的空白。同时会极大的降低整个产业链的制造成本,较传统加工效率有50%以上的提升。有鉴于上述的缺陷,本设计人,积极加以研究创新,以期创设一种用于LOW-K开槽的全自动激光加工装置,使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术的目的是提供一种用于LOW-K开槽的全自动激光加工装置。本技术的用于LOW-K开槽的全自动激光加工装置,包括有承载支架,其中:所述承载支架上安装有全自动上下料组件,所述自动上下料组件下料出口处,设置有清洗涂覆组件,所述承载支架上还安装有激光器,所述激光器的光路输出端,安装有光路组件,所述光路组件的光路输出端与清洗涂覆组件的出料端设置有加工组件。进一步地,上述的用于LOW-K开槽的全自动激光加工装置,其中,所述全自动上下料组件包括有料盒轴,所述料盒轴上通过中转轴、夹片轴与上料轴相连,所述上料轴上安装有上料第一 ...
【技术保护点】
用于LOW‑K开槽的全自动激光加工装置,包括有承载支架(1),其特征在于:所述承载支架(1)上安装有全自动上下料组件(2),所述自动上下料组件下料出口处,设置有清洗涂覆组件(3),所述承载支架(1)上还安装有激光器(4),所述激光器(4)的光路输出端,安装有光路组件(5),所述光路组件(5)的光路输出端与清洗涂覆组件(3)的出料端设置有加工组件(6)。
【技术特征摘要】
1.用于LOW-K开槽的全自动激光加工装置,包括有承载支架(1),其特征在于:所述承载支架(1)上安装有全自动上下料组件(2),所述自动上下料组件下料出口处,设置有清洗涂覆组件(3),所述承载支架(1)上还安装有激光器(4),所述激光器(4)的光路输出端,安装有光路组件(5),所述光路组件(5)的光路输出端与清洗涂覆组件(3)的出料端设置有加工组件(6)。2.根据权利要求1所述的用于LOW-K开槽的全自动激光加工装置,其特征在于:所述全自动上下料组件(2)包括有料盒轴(7),所述料盒轴(7)上通过中转轴(8)、夹片轴(9)与上料轴(10)相连,所述上料轴(10)上安装有上料第一吸盘(11),所述夹片轴(9)上还连接有下料轴(12),所述下料轴(12)上安装有下料第二吸盘(13)。3.根据权利要求1所述的用于LOW-K开槽的全自动激光加工装置,其特征在于:所述清洗涂覆组件(3),包括有旋转主轴,所述旋转主轴上分别连接有清洗轴与涂覆轴,所述清洗...
【专利技术属性】
技术研发人员:施心星,邵西河,张文,
申请(专利权)人:苏州镭明激光科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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