新型的薄片队列微电极制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种新型的薄片队列微电极，包括电极本体和薄片电极；电极本体为条形；薄片电极设有多个，多个薄片电极成队列的固定连接电极本体的一侧边；薄片电极为条形薄片，其一端固定连接电极本体，相对的另一端为自由端；自由端的端面为加工端面；薄片电极厚度方向设有贯穿薄片电极的随形孔。本实用新型专利技术新型的薄片队列微电极不但设有随形孔，可以将微细电火花加工的过程中产生的电蚀产物及时排出，进而有效的减小新型的薄片队列微电极损耗的递减效应；而且还设有阻反应凹槽，可以减小新型的薄片队列微电极微细电火花加工结果的边缘锥度问题，提高加工微型腔有侧壁为直壁的情况下的加工精度。

A new type of thin chip microelectrode

The utility model discloses a new sheet queue microelectrode, including electrode body and electrode sheet; electrode bar; thin electrode is provided with a plurality of electrodes into a plurality of slices, the queue is fixedly connected with one side edge of the electrode body; sheet electrode strip sheet, one end of which is fixedly connected with the electrode body and the other end opposite is a free end; the free end of the end to end processing; sheet electrode thickness direction with through the thin slice electrode with hole. The utility model relates not only with a microelectrode queue sheet shaped hole, can produce electrical corrosion products of micro EDM in timely discharge, and effectively reduce the diminishing effect of the loss of a new cohort of microelectrode slices; and also has a resistance reaction groove edge taper problem can reduce the new queue microelectrode micro electrical sheet spark machining results, a machining accuracy for side wall straight wall under the condition of improving machining micro cavity.

【技术实现步骤摘要】
新型的薄片队列微电极
本技术涉及到电火花加工电极领域，特别是涉及到一种新型的薄片队列微电极。
技术介绍
现今通过薄片队列微电极微电火花加工可获得三维微结构。但是在实施的过程中存在以下问题：①在微细电火花加工的过程中，第一个片电极的加工介质更新和电蚀产物的排出最差，因此第一个片电极的损耗最大，随后的薄片微电极的损耗则会逐渐减小。薄片微电极损耗递减的现象会对微电电火花加工结果的形状精度和尺寸精度产生不利影响；②薄片队列微电极微细电火花加工微型腔时，微型腔的直壁特征会又有一定的锥度，该锥度会对微型腔的直壁特征产生不利影响。综上所述，为了提高薄片队列微电极微细电火花加工的精度，需要减小薄片队列微电极损耗的递减效应和薄片队列微电极微细电火花加工结果的边缘锥度。
技术实现思路
本技术的主要目的为提供一种可以减小微细电火花加工的过程中新型的薄片队列微电极损耗的递减效应的新型的薄片队列微电极。本技术提出一种新型的薄片队列微电极，包括电极本体和薄片电极；电极本体为条形；薄片电极设有多个，多个薄片电极成队列的固定连接电极本体的一侧边；薄片电极为条形薄片，其一端固定连接电极本体，相对的另一端为自由端；自由端的端面为加工端面；薄片电极厚度方向设有贯穿薄片电极的随形孔。进一步地，加工端面设有内凹的微结构加工槽或外凸的微结构加工凸起。进一步地，当加工端面设有内凹的微结构加工槽时，微结构加工槽底部与随形孔侧壁相重叠部分的形状相同，使微结构加工槽底部与随形孔侧壁相重叠的部分间的距离相等；当加工端面设有外凸的微结构加工凸起时，微结构加工凸起与随形孔侧壁相重叠部分的形状相同，使微结构加工凸起与随形孔侧壁相重叠的部分间的距离相等。进一步地，加工端面为平面或斜面。进一步地，新型的薄片队列微电极为一体构件。进一步地，薄片电极的两个侧壁分别设有阻反应凹槽；阻反应凹槽为开口边大于凹槽底部的梯形槽；阻反应凹槽的深度距离大于放电间隙。进一步地，薄片电极的两个侧壁上的两个阻反应凹槽相互对称。本技术新型的薄片队列微电极不但设有随形孔，可以将微细电火花加工的过程中产生的电蚀产物及时排出，进而有效的减小新型的薄片队列微电极损耗的递减效应；而且还设有阻反应凹槽，可以减小新型的薄片队列微电极微细电火花加工结果的边缘锥度问题，提高加工微型腔有侧壁为直壁的情况下的加工精度。附图说明图1为本技术新型的薄片队列微电极一实施例的结构示意图；图2为图1中圆圈A中的结构放大示意图；图3为图1中薄片电极另一实施例的结构放大示意图；图4为图1中薄片电极第三实施例的结构放大示意图。本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。参照图1-2，一种新型的薄片队列微电极，包括电极本体11和薄片电极12；电极本体11为条形；薄片电极12设有多个，多个薄片电极12成队列的固定连接电极本体11的一侧边；薄片电极12为条形薄片，其一端固定连接电极本体11，相对的另一端为自由端；自由端的端面为加工端面122；薄片电极12厚度方向设有贯穿薄片电极12的随形孔121。新型的薄片队列微电极设有随形孔121，可以有效改善加工介质的更新，还可以将微细电火花加工的过程中产生的电蚀产物及时排出，进而有效的减小新型的薄片队列微电极损耗的递减效应。参照图2-3，加工端面122设有内凹的微结构加工槽123或外凸的微结构加工凸起125。参照图2，当加工端面122设有内凹的微结构加工槽123时，微结构加工槽123底部与随形孔121侧壁相重叠部分的形状相同，使微结构加工槽123底部与随形孔121侧壁相重叠的部分间的距离相等；参照图3，当加工端面122设有外凸的微结构加工凸起125时，微结构加工凸起125与随形孔121侧壁相重叠部分的形状相同，使微结构加工凸起125与随形孔121侧壁相重叠的部分间的距离相等。该重叠部分的形状均匀，可以使电腐蚀的效果均匀，保证加工的微结构外部形状的加工精度。参照图2，在本实施例中，加工端面122设有内凹的微结构加工槽123；微结构加工槽123为弧形可以加工表面具有弧形凸起的微结构。参照图4，在一些实施例中，加工端面122为平面或斜面。可以相应的加工微细的平面结构和斜面。参照图1，在本实施例中，新型的薄片队列微电极为一体构件。电极本体11和薄片电极12为一体构件，薄片电极12与电极本体11间连接稳固，工作效果更稳定，不易出现薄片电极12错位导致的加工精度下降的情况，而且新型的薄片队列微电极的加工个更加方便。参照图2，在本实施例中，薄片电极12的两个侧壁分别设有阻反应凹槽124；阻反应凹槽124为开口边大于凹槽底部的梯形槽；阻反应凹槽124的深度距离大于放电间隙。由于阻反应凹槽124的深度距离大于放电间隙，在微细电火花加工的过程中，加工腔侧壁不会被放电腐蚀，避免出项加工腔侧壁由锥度的情况。在本实施例中，薄片电极12的两个侧壁上的两个阻反应凹槽124相互对称。对称的设计可以保证微细电火花加工的效果更对称，也更符合现今的对称审美。在另一些实施例中，两个侧壁上的两个阻反应凹槽124可以不对称。本技术新型的薄片队列微电极不但设有随形孔121，可以将微细电火花加工的过程中产生的电蚀产物及时排出，进而有效的减小新型的薄片队列微电极损耗的递减效应；而且还设有阻反应凹槽124，可以减小新型的薄片队列微电极微细电火花加工结果的边缘锥度问题，提高加工微型腔有侧壁为直壁的情况下的加工精度。以上所述仅为本技术的优选实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型的薄片队列微电极，其特征在于，包括电极本体和薄片电极；所述电极本体为条形；所述薄片电极设有多个，多个所述薄片电极成队列的固定连接所述电极本体的一侧边；所述薄片电极为条形薄片，其一端固定连接所述电极本体，相对的另一端为自由端；所述自由端的端面为加工端面；所述薄片电极厚度方向设有贯穿所述薄片电极的随形孔。

【技术特征摘要】
1.一种新型的薄片队列微电极，其特征在于，包括电极本体和薄片电极；所述电极本体为条形；所述薄片电极设有多个，多个所述薄片电极成队列的固定连接所述电极本体的一侧边；所述薄片电极为条形薄片，其一端固定连接所述电极本体，相对的另一端为自由端；所述自由端的端面为加工端面；所述薄片电极厚度方向设有贯穿所述薄片电极的随形孔。2.根据权利要求1所述的新型的薄片队列微电极，其特征在于，所述加工端面设有内凹的微结构加工槽或外凸的微结构加工凸起。3.根据权利要求2所述的新型的薄片队列微电极，其特征在于，当所述加工端面设有内凹的微结构加工槽时，所述微结构加工槽底部与所述随形孔侧壁相重叠部分的形状相同，使所述微结构加工槽底部与所述随形孔侧壁相重叠的部分间的...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐斌，伍晓宇，雷建国，梁雄，赵航，程蓉，郭登极，阮双琛，
申请(专利权)人：深圳大学，
类型：新型
国别省市：广东,44