基板边部检测设备制造技术

本公开涉及一种基板边部检测设备，所述基板边部检测设备包括：拍摄单元，布置在靠近基板边缘的第一侧表面的位置以能够拍摄到基板边缘的第一侧表面的图像；照明单元，用于对基板边缘照射光；第一反光单元，布置在靠近基板边缘的第二侧表面的位置，拍摄单元通过第一反光单元能够拍摄到基板边缘的第二侧表面的图像。在通过照明单元向基板边缘照射光的状态下，拍摄单元直接拍摄到基板边缘的第一侧表面的图像，利用第一反光单元将基板边缘的第二侧表面的光反射至拍摄单元而拍摄到基板边缘的第二侧表面的图像，从而能够实现检测基板边部是否存在缺陷。同时，基板边部检测设备的安装位置并不会受到基板传送装置等其他结构的限制而具有安装方便的效果。

【技术实现步骤摘要】
基板边部检测设备
本公开涉及基板边部检测
，具体地，涉及一种基板边部检测设备。
技术介绍
在基板生产过程中需要对基板边部研磨、倒角和抛光处理，而在此过程中可能因各种工艺参数不合理或受到冲击等其他因素造成边部烧边、欠磨、裂纹等缺陷。由此为了能够保证生产质量，普遍通过采用检测设备对基板边部进行检测是否存在各类缺陷。而在现有技术中，这种检测设备的布置位置可能受制于生产线中的基板传送装置的限制，具有安装不方便的问题。
技术实现思路
本公开解决的问题是提供一种便于安装的基板边部检测设备。为了实现上述目的，本公开提供一种基板边部检测设备，所述基板边部检测设备包括：拍摄单元，该拍摄单元布置在靠近基板边缘的第一侧表面的位置以能够拍摄到基板边缘的所述第一侧表面的图像；照明单元，该照明单元用于对基板边缘照射光；第一反光单元，该第一反光单元布置在靠近基板边缘的第二侧表面的位置，所述拍摄单元通过所述第一反光单元能够拍摄到基板边缘的所述第二侧表面的图像。可选地，所述第一反光单元能够对基板边缘的所述第二侧表面的光线反射180°后射入所述拍摄单元。可选地，所述第一反光单元包括位于基板边缘的所述第二侧表面的正上方的第一直角棱镜、以及位于基板边缘的所述第二侧表面的斜上方的第二直角棱镜，所述第一直角棱镜和所述第二直角棱镜的倾斜表面均背对于所述第二侧表面。可选地，所述基板边部检测设备包括用于调整所述第一反光单元的位置和角度的位置调整装置，所述第一反光单元设置在该位置调整装置上。可选地，所述基板边部检测设备还包括布置在基板边缘的顶端面外侧的第二反光单元，所述拍摄单元通过所述第二反光单元能够拍摄到基板边缘的顶端面的图像。可选地，所述第二反光单元为第三直角棱镜且该第三直角棱镜的倾斜表面背对于基板边缘的所述顶端面。可选地，所述照明单元包括基板边缘的顶端延伸线为基准对称布置在基板边缘外侧的第一照明部和第二照明部。可选地，所述照明单元为LED灯光源或卤素灯光源。可选地，所述拍摄单元为线阵CCD相机或面阵CCD相机。可选地，所述基板边部检测设备包括壳体，所述拍摄单元、所述第一反光单元和所述照明单元集成在所述壳体中，所述壳体对应于基板边缘的表面上形成有用于容纳基板边缘的开口槽，所述第一反光单元和所述拍摄单元位于所述开口槽的两侧且分别与所述开口槽对应布置。通过上述技术方案，即，在通过照明单元向基板边缘照射光的状态下，由于拍摄单元布置在靠近基板边缘的第一侧表面的位置而能够直接拍摄到基板边缘的所述第一侧表面的图像，并且利用第一反光单元将基板边缘的第二侧表面的光反射至拍摄单元，使得拍摄单元通过该第一反光单元拍摄到基板边缘的所述第二侧表面的图像，从而能够实现检测基板边部是否存在缺陷。由此，通过如上所述的布置结构能够有效实现检测基板边部的缺陷的同时，基板边部检测设备的安装位置并不会受到基板传送装置等其他结构的限制而具有安装方便的效果。本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。附图说明附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：图1为根据本公开具体实施方式的基板边部检测设备的结构示意图。附图标记说明1基板2拍摄单元3第一反光单元4照明单元5第一直角棱镜6第二直角棱镜7第三直角棱镜8第一照明部9第二照明部10壳体11第一侧表面12第二侧表面13开口槽具体实施方式以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。如图1所示，本公开提供一种基板边部检测设备，所述基板边部检测设备包括：拍摄单元2，该拍摄单元2布置在靠近基板1边缘的第一侧表面11的位置以能够拍摄到基板1边缘的所述第一侧表面11的图像；照明单元4，该照明单元4用于对基板1边缘照射光；第一反光单元3，该第一反光单元3布置在靠近基板1边缘的第二侧表面12的位置，所述拍摄单元2通过所述第一反光单元3能够拍摄到基板1边缘的所述第二侧表面12的图像。在通过照明单元4向基板1边缘照射光的状态下，由于拍摄单元2布置在靠近基板1边缘的第一侧表面11的位置而能够直接拍摄到基板1边缘的所述第一侧表面11的图像，并且利用第一反光单元3将基板1边缘的第二侧表面12的光反射至拍摄单元2，使得拍摄单元2通过该第一反光单元3拍摄到基板1边缘的所述第二侧表面12的图像，从而能够实现检测基板1边部是否存在缺陷。由此，通过如上所述的布置结构能够有效实现检测基板1边部的缺陷的同时，基板边部检测设备的安装位置并不会受到基板传送装置等其他结构的限制而具有安装方便的效果。在此，以基板边部检测设备在使用状态时的布置方向作为参考，所述基板1边缘的第一侧表面11可以为基板1边缘的下表面，所述基板1边缘的第二侧表面12可以为基板1边缘的上表面，拍摄单元2可以布置在基板1边缘的下表面的下方位置，第一反光单元3可以布置在基板1边缘的上表面的上方位置。但本公开并不限定于此。所述基板1边缘的第一侧表面11也可以为基板1边缘的上表面，且所述基板1边缘的第二侧表面12也可以为基板1边缘的下表面。可选地，所述第一反光单元3能够对基板1边缘的所述第二侧表面12的光线反射180°后射入所述拍摄单元2。由此拍摄单元2能够获得清晰的基板1边缘的所述第二侧表面12的图像。在此，第一反光单元3可以采用多种合理的布置结构，只要能够实现拍摄单元2获得基板1边缘的所述第二侧表面12的图像即可。可选地，所述第一反光单元3包括位于基板1边缘的所述第二侧表面12的正上方的第一直角棱镜5、以及位于基板1边缘的所述第二侧表面12的斜上方的第二直角棱镜6，所述第一直角棱镜5和所述第二直角棱镜6的倾斜表面均背对于所述第二侧表面12。由此，在照明单元4对基板1边缘照射光的情况下，如图1所示地，基板1边缘的第二侧表面12的光线依次通过第一直角棱镜5和第二直角棱镜6分别反射90°后射入拍摄单元2。由此，拍摄单元2能够拍摄到清晰的基板1边缘的第二侧表面12的图像。但本公开并不限定于此，所述第一反光单元3还可以为其他结构，例如，第一反光单元3为布置在基板1边缘的所述第二侧表面12的上方位置的一个直角棱镜，该直角棱镜的倾斜表面平行于基板1的第二侧表面12且从第二侧表面12的正上方延伸至斜上方的位置，从而照明单元4对基板1边缘照射光的情况下，基板1边缘的第二侧表面12的光线通过如上所述的直角棱镜直接反射180°后射入至拍摄单元2。另外，在本实施方式中反光单元虽然采用了直角棱镜，但本公开并不限定于此，也可以采用其他能够反射光的结构，例如，可以采用两个间隔布置的平面反光镜来实现将基板1边缘的第二侧表面12的光线反射至拍摄单元2。另外，对于拍摄单元2和第一反光单元3的位置关系可以相互对应，即，当拍摄单元2位于第一侧表面11上方位置时，所述第一反光单元3位于第二侧表面12的下方位置，当拍摄单元2位于第二侧表面12的下方位置时，所述第一反光单元3位于第一侧表面11的上方位置。这种摄单元2和第一反光单元3的位置对应关系均适用于下述具体实施方式中。可选地，所述基板边部检测设备包括用于调整所述第一反光单元3的位置和角度的位置调整装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板边部检测设备，其特征在于，所述基板边部检测设备包括：拍摄单元(2)，该拍摄单元(2)布置在靠近基板(1)边缘的第一侧表面(11)的位置以能够拍摄到基板(1)边缘的所述第一侧表面(11)的图像；照明单元(4)，该照明单元(4)用于对基板(1)边缘照射光；第一反光单元(3)，该第一反光单元(3)布置在靠近基板(1)边缘的第二侧表面(12)的位置，所述拍摄单元(2)通过所述第一反光单元(3)能够拍摄到基板(1)边缘的所述第二侧表面(12)的图像。

【技术特征摘要】
1.一种基板边部检测设备，其特征在于，所述基板边部检测设备包括：拍摄单元(2)，该拍摄单元(2)布置在靠近基板(1)边缘的第一侧表面(11)的位置以能够拍摄到基板(1)边缘的所述第一侧表面(11)的图像；照明单元(4)，该照明单元(4)用于对基板(1)边缘照射光；第一反光单元(3)，该第一反光单元(3)布置在靠近基板(1)边缘的第二侧表面(12)的位置，所述拍摄单元(2)通过所述第一反光单元(3)能够拍摄到基板(1)边缘的所述第二侧表面(12)的图像。2.根据权利要求1所述的基板边部检测设备，其特征在于，所述第一反光单元(3)布置为能够对基板(1)边缘的所述第二侧表面(12)的光线反射180°后射入所述拍摄单元(2)。3.根据权利要求2所述的基板边部检测设备，其特征在于，所述第一反光单元(3)包括位于基板(1)边缘的所述第二侧表面(12)的正上方的第一直角棱镜(5)、以及位于基板(1)边缘的所述第二侧表面(12)的斜上方的第二直角棱镜(6)，所述第一直角棱镜(5)和所述第二直角棱镜(6)的倾斜表面均背对于所述第二侧表面(12)。4.根据权利要求1-3中任一项所述的基板边部检测设备，其特征在于，所述基板边部检测设备包括用于调整所述第一反光单元(3)的位置和角度的位置调整装置，所述第一反光单元(3)设置在该位置调整...

【专利技术属性】
技术研发人员：周波，李青，王丽红，郑权，
申请(专利权)人：东旭科技集团有限公司，东旭集团有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11