The invention proposes a current detection system and test method for CDM model in ESD electrostatic protection, so as to complete the grasp of ESD current waveform of CDM model, and facilitate data support for ESD electrostatic protection based on CDM model. The system includes: the structure for testing machine support, bearing test device of DUT machine base (Device Under Test), the machine frame, a detection module for fixing system. The detection module includes the structure of pogo (spring single stilt) probe, test plate and so on. The test machine using Aluminum Alloy material, with a spiral lifting regulation function, at the same time with a fixing device, can test plate fixed equipment, test board for the double FR plate 4. The Pogo probe is a special probe for mobile antenna, which can satisfy the signal testing under the 18GHz and the following conditions. Characteristic impedance of coaxial cable is 50 ohms. The calibration module (i.e. calibration capacitor) FR 4 material, the capacitance value of 4pF.
【技术实现步骤摘要】
静电放电电流波形检测系统及测试方法
本专利技术涉及集成电路领域,尤其涉及CDM模型静电放电电流波形的检测及测试方法。
技术介绍
由于工艺水平的不断提高,互补金属氧化物半导体(CMOS,ComplementaryMetal-Oxide-Semiconductor)器件的尺寸一直处于缩小的趋势,目前已经达到深亚微米甚至更小。这种发展趋势在提升了器件性能和工作速度的同时,也带来了一个致命的弱点,即输入阻抗很大,很容易被静电放电(ESD,Electro-StaticDischarge)击穿。在实际使用过程中,处处都存在着电容效应。我们知道,静电电荷可以存储在几乎所有的物体中,这使得静电放电现象出现于各个地方。目前,对于集成电路而言,ESD防护测试根据器件带电途径不同一般可分为HBM(HumanBodyModel)、MM(Machine)、CDM(ChargedDeviceModel)等几种,根据其带电途径的不同,相关的测试设备和测试方法也会有一定程度的差别。在这三种模型中,HBM模型和MM模型,由于被提出的时间较早,因此很多人已经熟知,并且电子工程师们也已经有针对性地采取了各种各样的静电保护结构或者措施来提升此二类器件的稳定性和静电防护水平。然而,随着工艺水平以及器件功能复杂度的提升,CDM模型已经逐渐成为一个突出的问题,原因在于:第一,随着芯片工艺的进步,工作速度加快了,但芯片也变得脆弱了。集成度的提高使得器件尺寸越来越小,器件之间的连线宽度越来越窄,钝化层越来越薄,这些因素都会时芯片对静电放电的敏感性也越大。一个不太高的电压就能将晶体管击穿,一个微小的ESD电 ...
【技术保护点】
静电放电电流波形检测系统,其特征在于,包括:可以调节升降的测试机台,机台上半部分为可以调节松紧的用于固定悬挂装置的支架,所述支架可以固定法兰盘;所述测试板含有容纳螺丝通过的通孔,螺丝通过该通孔以及法兰盘的通孔将测试板与法兰盘连为一体;测试板侧面含有插头,用于连接一端含有配套插座的同轴电缆;测试板底部垂直焊接有pogo( 弹簧单高跷)探针,即探针垂直于测试板平面,用于接触带电器件,获取所需波形;测试机台底座上水平放置校准模块。
【技术特征摘要】
1.静电放电电流波形检测系统,其特征在于,包括:可以调节升降的测试机台,机台上半部分为可以调节松紧的用于固定悬挂装置的支架,所述支架可以固定法兰盘;所述测试板含有容纳螺丝通过的通孔,螺丝通过该通孔以及法兰盘的通孔将测试板与法兰盘连为一体;测试板侧面含有插头,用于连接一端含有配套插座的同轴电缆;测试板底部垂直焊接有pogo(弹簧单高跷)探针,即探针垂直于测试板平面,用于接触带电器件,获取所需波形;测试机台底座上水平放置校准模块。2.如权利要求1所述的静电放电电流波形检测系统,其特征在于,所述固定悬挂装置的支架,用于固定的部分为环形,内径略大于用于连接测试板的圆柱法兰盘直径。3.如权利要求1所述的静电放电电流波形检测系统,其特征在于,所述测试板含有两个可以通过螺丝的通孔,用于将测试板与法兰盘结合在一起,固定在测试机台上,所述通孔距离测试板中心距离相等;所述测试板在与法兰盘相连的对侧焊接有pogo探针。4.如权利要求1所述的静电放电电流波形检测系统,其特征在于,测试板所焊接的pogo探针,其所能工作的频率范围至少为1GHz。5.如权利要求1所述的静电放电电流波形检测系统,其特征在于,测试板所焊接的...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈昭,程玉华,
申请(专利权)人:上海北京大学微电子研究院,
类型:发明
国别省市:上海,31
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