The invention relates to a retaining device, a photolithography device and a manufacturing method of products. A retaining device is configured at the peripheral part of a plurality of optical elements used in the optical element holding holding portion to the base portion, wherein a plurality of holding portion includes a plurality of structure with six degrees of freedom to maintain the first optical element holding part and the structural constraints in the optical axis direction of the six optical the degrees of freedom of the element on the second degrees of freedom and maintain, which is composed of a plurality of second degrees of freedom force for the direction of the optical axis of optical element is greater than the bound for other degrees of freedom force constraints.
【技术实现步骤摘要】
保持装置、光刻设备和制品制造方法
本专利技术涉及保持装置、光刻设备和制品制造方法。
技术介绍
需要一种技术,用于保持用来制造半导体器件等的光刻设备或者保持用于天文望远镜等的光学元件,以使其位置和姿态可以调整并且不会出现意外变形。美国专利6873478的说明书中的透镜支架构造成允许以六个自由度来控制光学元件,同时减小对光学元件的夹持力。
技术实现思路
然而,因为上述透镜支架具有减小的夹持力,所以透镜支架容易受外部振动的影响。如果增强(过度约束)夹持以减小振动的影响,则光学元件会变形,因此当光学元件拆除时位置重现性会减低。本专利技术提供了一种保持装置,该保持装置不容易受例如外部振动的影响。本专利技术的保持装置构造成使用设置在光学元件外周部处的多个保持部将光学元件保持到基座部件上,其中,所述多个保持部包括构造成以六个自由度保持光学元件的多个第一保持部和构造成限制六个自由度之中的光学元件光轴方向自由度的多个第二保持部,和其中,用于通过所述多个第二保持部限制光学元件光轴方向自由度的力大于用于限制其它自由度的力。从以下参照附图对示例性实施例的说明中将清楚本专利技术的其它特征。附图说明图1是与第一实施例相关的保持装置的示意图。图2是显示第一保持部细节的视图。图3是显示第二保持部细节的视图。图4是当从Z方向看时与第一实施例相关的保持装置的视图。图5是显示所保持的光学元件的振动状态的视图。图6是显示与第二实施例相关的第二保持部的视图。图7是显示与第三实施例相关的第二保持部的视图。具体实施方式在下文中,将参照附图等描述用于实施本专利技术的方式。(第一实施例)图1是与本专利技术第一 ...
【技术保护点】
一种保持装置,构造成使用设置在光学元件外周部处的多个保持部将光学元件保持到基座部件上,其中,所述多个保持部包括构造成以六个自由度保持光学元件的多个第一保持部和构造成限制六个自由度之中的光学元件光轴方向自由度的多个第二保持部,和其中,通过所述多个第二保持部用于限制光学元件光轴方向自由度的力大于用于限制其它自由度的力。
【技术特征摘要】
2016.05.23 JP 2016-1022761.一种保持装置,构造成使用设置在光学元件外周部处的多个保持部将光学元件保持到基座部件上,其中,所述多个保持部包括构造成以六个自由度保持光学元件的多个第一保持部和构造成限制六个自由度之中的光学元件光轴方向自由度的多个第二保持部,和其中,通过所述多个第二保持部用于限制光学元件光轴方向自由度的力大于用于限制其它自由度的力。2.根据权利要求1所述的保持装置,其中,所述多个第二保持部通过利用设置在第二保持部中的开口而固定到光学元件上,并且开口在光轴方向上的长度大于在沿着外周部的方向上的长度。3.根据权利要求1所述的保持装置,其中,所述多个第二保持部利用经由开口的螺钉而固定到光学元件上,并且开口在光轴方向上的长度大于螺钉的直径。4.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:桥本明人,崔长植,远藤淳生,
申请(专利权)人:佳能株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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