母压电元件及层叠型压电元件以及层叠型压电元件的制造方法技术

获得能够在母压电体阶段进行极化处理且能提高层叠型压电元件的生产率的母压电元件。母压电元件(1)，在母压电体内，具有设置在至少1个第1面(2g)的多个第1内部电极(3)、和设置在至少1个第2面(2h)的多个第2内部电极(4)，各第1内部电极(3)被引出至母压电体(2)的第1～第4侧面(2c～2f)中的任一个，各所述第2内部电极(4)被引出至母压电体的第1～第4侧面(2c～2f)中的任一个，在第1面(2g)中，多个第1内部电极(3)被电连接，在第2面(2h)中，多个第2内部电极(4)被电连接，母压电体内的所有第1内部电极(3)彼此及第2内部电极(4)彼此被电连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】母压电元件及层叠型压电元件以及层叠型压电元件的制造方法
本专利技术涉及用于获得层叠型压电元件的母压电元件、该层叠型压电元件及其制造方法。
技术介绍
现有技术中，提出各种利用了层叠型压电陶瓷的压电元件。例如，下述的专利文献1所述的压电元件具有长方体状的压电体。该压电体内，隔着压电体层而层叠有多个第1内部电极和多个第2内部电极。第1内部电极与第2内部电极之间的压电体层在层叠方向上极化。该压电元件中，第1内部电极的一对侧缘及第2内部电极的一对侧缘与压电体的侧面隔开间隙地配置。由于第1及第2内部电极未露出于压电体的侧面，故能够抑制绝缘电阻的下降。在先技术文献专利文献专利文献1：JP特开2010-186902号公报
技术实现思路
-专利技术所要解决的技术问题-在上述压电元件的制造之际，需要将压电体极化。层叠型电子部件中，为了提高生产率，在准备了母元件后，广泛应用进行单片化的方法。专利文献1所述的压电元件中，第1及第2内部电极未露出于压电体的侧面。因而，在母元件的阶段无法进行极化处理。进行了单片化后，需要按每个压电体进行极化处理。因此，制造工序繁杂。本专利技术的目的在于，提供一种能够在母压电体阶段进行极化处理且能提高层叠型压电元件的生产率的母压电元件。本专利技术的其他目的在于，提供一种通过在母压电体阶段进行极化处理而能获得、因此制造容易的层叠型压电元件及该层叠型压电元件的制造方法。-用于解决技术问题的手段-本专利技术涉及的母压电元件是在具有层叠型压电体的层叠型压电元件的制造中所采用的母压电元件，在该层叠型压电体中，第1内部电极与第2内部电极隔着压电体层而对置，其中，所述母压电元件具备：母压电体，具有在所述压电体层的层叠方向上彼此对置的第1主面及第2主面、和将所述第1主面及所述第2主面连结的第1～第4侧面；多个第1内部电极，在所述母压电体内，被设置在与所述第1主面平行的至少1个第1面；多个第2内部电极，在所述母压电体内，被设置在与所述第1主面平行的至少1个第2面；第1连接电极，被设置在所述母压电体的所述第1～第4侧面之中的至少1个侧面；和第2连接电极，被设置在所述母压电体的所述第1～第4侧面之中的至少1个侧面，各所述第1内部电极具有被引出至所述第1～第4侧面之中的至少1个侧面的第1引出部，以便与所述第1连接电极电连接，各所述第2内部电极具有被引出至所述第1～第4侧面之中的至少1个侧面的第2引出部，以便与所述第2连接电极电连接，在所述第1面中，多个所述第1内部电极被电连接。本专利技术涉及的母压电元件的某一特定的方面中，在所述第2面中，多个所述第2内部电极被电连接。该情况下，在母压电元件阶段能够更加容易地进行极化处理。本专利技术涉及的母压电元件的其他特定的方面中，在所述第1面中，设置有将多个所述第1内部电极彼此电连接的第1电连接部，在所述第2面中，设置有将多个所述第2内部电极彼此电连接的第2电连接部，所述第1电连接部和所述第2电连接部被设置于所述层叠方向上不重叠的位置处。本专利技术涉及的母压电元件的另一特定的方面中，所述第1内部电极及所述第2内部电极的至少一方，在所述第1面或所述第2面中，在所述第1引出部、所述第2引出部、所述第1电连接部、或所述第2电连接部以外，抵达比所述第1内部电极与所述第2内部电极对置的对置区域更靠外侧的区域。该情况下，也能够利用对置区域外侧的区域中的压电效应。本专利技术涉及的母压电元件的另一特定的方面中，在所述第2面中独立地设置多个所述第2内部电极。该情况下，将多个第1内部电极用作为公共端子、并将端子连接于各内部电极，由此在母压电元件中能够测定各个压电元件的特性。本专利技术涉及的母压电元件的其他特定的方面中，所述第1内部电极和所述第2内部电极之间的所述压电体层被极化。本专利技术涉及的母压电元件的其他特定的方面中，还具备多个主面电极，设置在所述第1主面及所述第2主面的至少一方，且在所述层叠方向上与多个所述第1内部电极或多个所述第2内部电极分别对置。本专利技术涉及的层叠型压电元件通过对本专利技术涉及的母压电元件进行单片化而得到。因此，能够实现制造工序的简化。根据本专利技术涉及的层叠型压电元件的另一广泛的方面，提供一种层叠型压电元件，其中，具备压电体，多个压电体层被层叠而成，且具有在层叠方向上彼此对置的第1主面及第2主面、和连结所述第1及第2主面的第1～第4侧面；多个第1内部电极，与所述压电体的所述第1主面平行地延伸、且被设置在所述压电体内；多个第2内部电极，与所述压电体的所述第1主面平行地延伸、且被设置在所述压电体内；第1连接电极，被设置在所述压电体的所述第1～第4侧面之中的至少1个侧面，且将多个所述第1内部电极彼此电连接；和第2连接电极，被设置在所述压电体的所述第1～第4侧面之中的至少1个侧面，且将多个所述第2内部电极电连接，所述第1及第2内部电极分别具有被引出至所述压电体的所述第1～第4侧面之中的至少1个侧面的第1及第2引出部，所述第1引出部电连接至所述第1连接电极，所述第2引出部电连接至所述第2连接电极，所述第1引出部和所述第2引出部被设置于层叠方向上不重叠的位置处。本专利技术涉及的层叠型压电元件的制造方法具备：准备依据于本专利技术而构成的母压电元件的工序；向所述第1连接电极与所述第2连接电极之间施加直流电压而对所述母压电体进行极化的工序；和将所述母压电元件单片化而获得所述层叠型压电元件的工序。-专利技术效果-本专利技术涉及的母压电元件中，在第1面中多个第1内部电极彼此被电连接，因此能够在母压电元件阶段中容易地进行极化处理。由此，通过在极化后进行单片化，从而能够容易地制造层叠型压电元件。根据本专利技术涉及的母层叠型压电元件及其制造方法，因为能够在母压电元件阶段进行极化，所以制造容易且能够有效地提高生产率。附图说明图1是表示本专利技术的第1实施方式中形成第1及第2连接电极前的母压电元件的立体图。图2(a)及图2(b)是表示母压电元件内的第1面及第2面上的电极构造的各示意性立体图。图3是表示本专利技术的第1实施方式涉及的母压电元件的立体图。图4是表示通过本专利技术的第1实施方式而得到的层叠型压电元件的立体图。图5(a)及图5(b)是用于说明第1实施方式中的第1内部电极及第2内部电极的各示意性立体图。图6是本专利技术的第2实施方式涉及的层叠型压电元件的立体图。图7(a)及图7(b)是用于说明第2实施方式中的第1内部电极及第2内部电极的形状的各示意性立体图。图8是表示本专利技术的第3实施方式涉及的层叠型压电元件的立体图。图9是表示本专利技术的第4实施方式中形成第1及第2连接电极前的母压电元件的立体图。图10(a)及图10(b)是第4实施方式中表示母压电体内的第1面及第2面上的电极构造的各示意性立体图。图11是表示第4实施方式涉及的母压电元件的立体图。图12是表示通过第4实施方式而得到的层叠型压电元件的立体图。具体实施方式以下参照附图对本专利技术的具体实施方式进行说明，由此使本专利技术清楚明了。其中，本说明书所述的各实施方式是例示性的内容，指出在不同的实施方式间能够实现构成的局部的置换或组合。参照图1～图5来说明本专利技术的第1实施方式涉及的层叠型压电元件的制造方法。首先，准备图1所示的母压电元件。其中，在图1中尚未形成后述的第1及第2连接电极。如图1所示，母压电元件1具有母压电体2。母压电体2利用压电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种母压电元件，是在具有层叠型压电体的层叠型压电元件的制造中所采用的母压电元件，在该层叠型压电体中，第1内部电极与第2内部电极隔着压电体层而对置，其中，所述母压电元件具备：母压电体，具有在所述压电体层的层叠方向上彼此对置的第1主面及第2主面、和将所述第1主面及所述第2主面连结的第1侧面～第4侧面；多个第1内部电极，在所述母压电体内，被设置在与所述第1主面平行的至少1个第1面；多个第2内部电极，在所述母压电体内，被设置在与所述第1主面平行的至少1个第2面；第1连接电极，被设置在所述母压电体的所述第1侧面～所述第4侧面之中的至少1个侧面；和第2连接电极，被设置在所述母压电体的所述第1侧面～所述第4侧面之中的至少1个侧面，各所述第1内部电极具有被引出至所述第1侧面～所述第4侧面之中的至少1个侧面的第1引出部，以便与所述第1连接电极电连接，各所述第2内部电极具有被引出至所述第1侧面～所述第4侧面之中的至少1个侧面的第2引出部，以便与所述第2连接电极电连接，在所述第1面中，多个所述第1内部电极被电连接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.30 JP 2015-0693841.一种母压电元件，是在具有层叠型压电体的层叠型压电元件的制造中所采用的母压电元件，在该层叠型压电体中，第1内部电极与第2内部电极隔着压电体层而对置，其中，所述母压电元件具备：母压电体，具有在所述压电体层的层叠方向上彼此对置的第1主面及第2主面、和将所述第1主面及所述第2主面连结的第1侧面～第4侧面；多个第1内部电极，在所述母压电体内，被设置在与所述第1主面平行的至少1个第1面；多个第2内部电极，在所述母压电体内，被设置在与所述第1主面平行的至少1个第2面；第1连接电极，被设置在所述母压电体的所述第1侧面～所述第4侧面之中的至少1个侧面；和第2连接电极，被设置在所述母压电体的所述第1侧面～所述第4侧面之中的至少1个侧面，各所述第1内部电极具有被引出至所述第1侧面～所述第4侧面之中的至少1个侧面的第1引出部，以便与所述第1连接电极电连接，各所述第2内部电极具有被引出至所述第1侧面～所述第4侧面之中的至少1个侧面的第2引出部，以便与所述第2连接电极电连接，在所述第1面中，多个所述第1内部电极被电连接。2.根据权利要求1所述的母压电元件，其中，在所述第2面中，多个所述第2内部电极被电连接。3.根据权利要求2所述的母压电元件，其中，在所述第1面中，设置有将多个所述第1内部电极彼此电连接的第1电连接部，在所述第2面中，设置有将多个所述第2内部电极彼此电连接的第2电连接部，所述第1电连接部和所述第2电连接部被设置于所述层叠方向上不重叠的位置处。4.根据权利要求3所述的母压电元件，其中，所述第1内部电极及所述第2内部电极的至少一方，在所述第1面或所述第2面中，在所述第1引出部、所述第2引出部、所述第1电连接部、或所述第2电连接部以外，抵达比所述第1内部电极与所述第2内部电极对...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村仁宗，中岛寿信，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP