本发明专利技术提供紫外线处理装置以及用于该紫外线处理装置的遮光部件。在由与灯保护管(21)的外周密接地配置密封构件(O型环23)的结构构成的紫外线处理装置中，为了防止该密封构件的紫外线劣化而使用遮光板(30)。由紫外线遮蔽原料构成的弹性板状的遮光板(30)包括至少具有与灯保护管(21)的内表面的圆周长度(C)相应的长度的主遮光部(31)、以及在该主遮光部(31)的所述长度方向的两端呈非平行的收敛形状延伸的第1以及第2重叠部(32a、32b)。将遮光板(30)在沿所述长度方向卷绕的状态下以与灯保护管(21)的内周密接的方式配置在该灯保护管(21)内，且位于与密封构件(23)对置的位置。借助重叠部的非平行的收敛形状，能够使相对于遮光板的端部处的弯曲的斥力分散，能够抑制端部附近的浮起。由此，遮光板(30)不会妨碍收纳在保护管内的紫外线灯的出入。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】紫外线处理装置以及用于该紫外线处理装置的遮光部件
本专利技术涉及紫外线处理装置，尤其涉及对用于防止密封容器用的O型环等密封构件因紫外线而劣化的遮光机构进行改良，且涉及用于该遮光机构的遮光部件。
技术介绍
在半导体、FPD(平板显示器)的工厂中，在产品的制造工序中使用超纯水。在该超纯水的水质项目中存在活菌数以及TOC(总有机碳)浓度。作为用于灭活微生物的设备使用紫外线杀菌装置，作为用于降低TOC浓度的设备之一使用压力UV氧化装置。这些装置在圆筒形的反应容器内填充有一个或者多个发出254nm光或者185nm光的紫外线的低压水银灯。将该灯一个一个地插入填充到石英制的灯保护管内以免与容器内的被处理水直接接触。被处理水在暴露于紫外线的同时在该灯保护管的外侧与反应容器的内侧之间压送。处理水中的微生物暴露于254nm光的紫外线而被灭活。该灭活一般也表现为杀菌。此外，从暴露于185nm光的紫外线的处理水生成OH自由基，OH自由基成为氧化剂而对TOC进行氧化分解。同时，借助从低压水银灯发出的185nm光与254nm光，将有机物直接分解。只要是发出波长300nm以下的光源(紫外线灯)，便并不限定于低压水银灯，在中压水银灯、高压水银灯、准分子灯等也引起同样的反应。作为灯保护管的原料，使用石英、蓝宝石、氟树脂等。灯保护管的至少一端由容器的壁面支承并朝该容器的外部露出，能够从朝该外部露出的一端插拔灯保护管内部的灯。并且，在该容器中的保护该灯保护管的部位设置有为了与该灯保护管的外周密接来密封该容器内而富有弹性的密封构件。典型来说，密封构件由橡胶制的O型环构成。但是，不仅朝被处理水照射紫外线，而且也朝该密封构件(O型环)照射不少紫外线，其蓄积会导致O型环的紫外线劣化，有时成为漏水这样的不良情况的产生原因。尤其是低压水银灯的输出升高而使用254nm光或者185nm光的透射率高的灯和用于灯保护管的石英，因此，存在O型环在更短时间内发生紫外线劣化的趋势。然而，作为通过对与光源成为一体的装置或者光源的一部分实施遮光来防止周边部件的劣化的现有技术，已知有下述专利文献所记载的技术。专利文献1以及2公开了为了不产生从放射紫外线的电弧管的电源连接端部侧泄漏的紫外线使合成树脂制绝缘插头劣化的情况而设置环状的UV遮光构件。专利文献3公开了在由从并排配置的多个紫外线灯朝空间中放射紫外线并朝处理对象物照射的结构构成的紫外线处理装置中，为了减少从邻接的灯放射的紫外线的影响而在各灯的邻接侧面设置UV遮光膜。专利文献4公开了在准分子激光器用窗口中，为了防止用于密封激光介质气体的O型环因激光而劣化，在该窗口与O型环的密接面蒸镀不透射紫外线的膜，在该膜上覆盖氧化保护膜。专利文献5公开了在固体激光振荡器中，为了避免液密地密封过滤器筒的端部的O型环因激励光而劣化，设置用于遮挡从激励灯的端部泄漏的光的遮光环。专利文献6公开了为了防止用于保持等离子体处理室的气密性的O型环劣化，在形成于相比供O型环嵌入的环状槽靠处理室侧的其他环状槽内嵌入等离子体遮挡机构，该等离子体遮挡机构由将金属的薄的带状钢板卷绕成螺旋状的构件、或者将导线卷绕成螺线管线圈状的构件或者编织成筒状的构件构成。但是，任一个专利文献所记载的都不适用于与前述的灯保护管的外周密接地配置O型环的结构。在这样的结构中，需要在灯保护管内配置UV遮光机构。根据上述专利文献的见解，考虑在灯保护管内配置圆筒环状的UV遮光机构，但在使用圆筒状的遮光环的情况下，一般通过使用比灯保护管的内径稍小的外径的遮光环而使得向灯保护管内的插入容易的结构。但是，这样一来，该遮光环在灯保护管内成为稍微松动的状态，当更换收纳在灯保护管内的紫外线灯时，遮光环勾挂于该灯的灯口，由此产生遮光环容易移动而需要进行麻烦的位置修正的问题，此外，也妨碍灯的出入。因此，不优选在灯保护管内配置由固定径构成的圆筒环状的UV遮光机构。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-270010号专利文献2：日本特开2003-123630号专利文献3：日本特开2014-159029号专利文献4：日本实开平6-29160号专利文献5：日本特开平11-274612号专利文献6：日本特开2005-63986号
技术实现思路
与此相对，考虑通过将具有弹性的金属制板材卷绕后配置在灯保护管内，来构成环状的UV遮光机构。由此，借助板材本身的弹性，该卷绕的环状的板材容易紧贴于灯保护管的内周，应该不用担心在灯保护管内松动地移动。但是，根据专利技术人们的分析可知，在使用图5的(a)所示的长方形的UV遮光板材1的情况下，当将该遮光板材1在沿长度方向卷绕的状态下以与灯保护管2的内周密接的方式配置在该灯保护管2内时，如同图的(b)的剖视图所示，产生成为卷绕的外侧的一端部1a与灯保护管2的内周密接，但成为卷绕的内侧的另一端部1b的附近稍微浮起的现象。这样一来，与由所述固定径构成的圆筒环状的UV遮光机构的情况相同，当更换收纳在灯保护管内的紫外线灯时，所述另一端部1b的附近的浮起部分1c勾挂于该灯的灯口，由此产生遮光环容易移动而需要进行麻烦的位置修正的问题，此外，也妨碍灯的出入。专利技术概要本专利技术是鉴于上述的点而完成的，其目的在于在由与灯保护管的外周密接地配置密封构件的结构构成的紫外线处理装置中，提供由不会妨碍收纳在灯保护管内的紫外线灯的出入的结构构成的、用于防止该密封构件的紫外线劣化的遮光机构(遮光部件)。为了解决上述课题，本专利技术所涉及的紫外线处理装置具备：紫外线灯；灯保护管，其供所述紫外线灯内插；容器，其以所述灯保护管的至少一端朝外部露出的方式保持并收纳该灯保护管，且收纳处理对象物；以及密封构件，其在所述容器中的保持所述灯保护管的部位处与该灯保护管的外周密接来对所述容器进行密封，所述紫外线处理装置的特征在于，所述紫外线处理装置具备弹性的遮光板，该遮光板由紫外线遮蔽原料构成，且包括至少具有与所述灯保护管的内表面的圆周长度相应的长度的主遮光部、以及在该主遮光部的所述长度方向的两端呈非平行的收敛形状延伸的第1重叠部以及第2重叠部，将所述遮光板在沿所述长度方向卷绕的状态下以与所述灯保护管的内周密接的方式配置在该灯保护管内，且位于与所述密封构件对置的位置。此外，为了解决上述课题，本专利技术所涉及的遮光部件在紫外线处理装置中使用，所述紫外线处理装置具备：紫外线灯；灯保护管，其供所述紫外线灯内插；容器，其以所述灯保护管的至少一端朝外部露出的方式保持并收纳该灯保护管，且收纳处理对象物；以及密封构件，其在所述容器中的保持所述灯保护管的部位处与该灯保护管的外周密接来对所述容器进行密封，所述遮光部件的特征在于，所述遮光部件由弹性的遮光板构成，该遮光板由紫外线遮蔽原料构成，且包括至少具有与所述灯保护管的内表面的圆周长度相应的长度的主遮光部、以及在该主遮光部的所述长度方向的两端呈非平行的收敛形状延伸的第1重叠部以及第2重叠部，在使用时，将所述遮光板在沿所述长度方向卷绕的状态下以与所述灯保护管的内周密接的方式配置在该灯保护管内，且位于与所述密封构件对置的位置。根据本专利技术，遮光部件由弹性的遮光板构成，该遮光板包括所述主遮光部、所述第1重叠部以及第2重叠部，在将该遮光板卷绕后配置在灯保护管内的状态下，该第1重叠部以及第2重叠部在与该主遮本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种紫外线处理装置，具备：紫外线灯；灯保护管，其供所述紫外线灯内插；容器，其以所述灯保护管的至少一端朝外部露出的方式保持并收纳该灯保护管，且收纳处理对象物；以及密封构件，其在所述容器中的保持所述灯保护管的部位处与该灯保护管的外周密接来对所述容器进行密封，所述紫外线处理装置的特征在于，所述紫外线处理装置具备弹性的遮光板，该遮光板由紫外线遮蔽原料构成，且包括至少具有与所述灯保护管的内表面的圆周长度相应的长度的主遮光部、以及在该主遮光部的所述长度方向的两端呈非平行的收敛形状延伸的第1重叠部以及第2重叠部，将所述遮光板在沿所述长度方向卷绕的状态下以与所述灯保护管的内周密接的方式配置在该灯保护管内，且位于与所述密封构件对置的位置。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.11 JP 2015-0486281.一种紫外线处理装置，具备：紫外线灯；灯保护管，其供所述紫外线灯内插；容器，其以所述灯保护管的至少一端朝外部露出的方式保持并收纳该灯保护管，且收纳处理对象物；以及密封构件，其在所述容器中的保持所述灯保护管的部位处与该灯保护管的外周密接来对所述容器进行密封，所述紫外线处理装置的特征在于，所述紫外线处理装置具备弹性的遮光板，该遮光板由紫外线遮蔽原料构成，且包括至少具有与所述灯保护管的内表面的圆周长度相应的长度的主遮光部、以及在该主遮光部的所述长度方向的两端呈非平行的收敛形状延伸的第1重叠部以及第2重叠部，将所述遮光板在沿所述长度方向卷绕的状态下以与所述灯保护管的内周密接的方式配置在该灯保护管内，且位于与所述密封构件对置的位置。2.根据权利要求1所述的紫外线处理装置，其中，所述主遮光部具有大致平行的两边，各所述重叠部由具有不超过所述主遮光部的两边间的宽度的横向宽度的至少一个非平行的收敛形状构成。3.根据权利要求1或2所述的紫外线处理装置，其中，各所述重叠部形成为将与所述主遮光部相接的部位作为底边的大致等腰三角形状。4.根据权利要求1至3中任一项所述的紫外线处理装置，其中，将所述遮光板的各角形成为圆角。5.根据权利要求1至4中任一项所述的紫外线处理装置，其中，所述遮光板的板厚为0.005mm至1mm的范围。6.根据权利要求1至5中任一项所述的紫外线处理装置，其中，所述遮光板的材质由不锈钢系、铜系、镍系、铁、铝、铝合金、金、银、钼、钛、非晶体、可伐合金、硅中的任一者构成。7.根据权利要求1至5中任一项所述的紫外线处理装置，其中，所述遮光板的材质由不锈钢系、铜系、镍系、铁、铝、铝合金、银、钼、钛、非晶体、可伐合金、硅中的任一者构成，且在表面上实施有镀金。8.根据权利要求1至7中任一项所述的紫外线处理装...
【专利技术属性】
技术研发人员：秋山昇，山越裕司，
申请(专利权)人：株式会社日本光电科技，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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