一种用于制作太阳能电池片的扩散炉制造技术
A diffusion furnace for making solar cell sheets
The utility model discloses a solar cell for the production of the diffusion furnace, including a furnace body, an inner chamber of the furnace body and the air outlet pipe respectively communicated with an air inlet pipe, the outlet pipe and a vacuum pump is communicated with the material transport of the stove mouth with a vacuum seal the door. By adopting the diffusion furnace of the utility model, the vacuum state of the furnace body is evacuated through the vacuum pump after the process gas is passed in, so that the use amount of process gas and nitrogen is greatly reduced, the production capacity is greatly improved, and the quality of the product is effectively improved.
【技术实现步骤摘要】
一种用于制作太阳能电池片的扩散炉
本技术涉及一种扩散炉，具体的说是太阳能电池片制作流水线上的用于磷扩散进行制备PN结的扩散炉。
技术介绍
扩散制作PN结是制作晶体硅太阳能电池片的核心工序，也是最终电池质量好坏的关键步骤。在扩散过程中，需对常压扩散炉内进行加热至840摄氏度左右的高温，同时把三氯化磷液体通过氮气携带喷入炉体内。在整个晶体硅太阳能电池片制作过程中，扩散工序需耗费大量的电力、三氯化磷液体和氮气，同时，在整个工序过程中，需要补充氮气，调节速度慢，设备之间的相互干扰多，硅片表面的成膜致密性较差，PN结深均匀度差，工艺时间长，产能较低，能耗较高，如果能减少电力、三氯化磷液体和氮气的用量，将使产品更具有竞争力。
技术实现思路
为克服上述缺陷，本技术旨在提供一种通过简单的改造，就能大大减少电力、三氯化磷液体和氮气的消耗，极大的减少制作成本的用于制作太阳能电池片的扩散炉。为达到上述目的，本技术采用的技术方案为：一种用于制作太阳能电池片的扩散炉，包括一个炉体，所述炉体内腔分别与一个进气管和出气管相连通，所述出气管与一台真空泵相连通，所述炉体的运料口具有一个真空密封门。采用了本技术的扩散炉，在通入工艺气体后，再通过真空泵把炉体内部抽成真空状态，从而使得工艺气体和氮气的使用量大大减少，产能大大提高，同时产品质量还得到了有效的提高。附图说明图1是本技术的结构示意图。图中：1-炉体，2-进气管，3-出气管，4-真空泵，5-真空密封门。具体实施方式如图1所示，本技术公开了一种用于制作太阳能电池片的扩散炉，包括一个炉体1，所述炉体1内腔分别与一个进气管2和出气管3相连通，工作时，...
【技术保护点】
一种用于制作太阳能电池片的扩散炉，包括一个炉体(1)，所述炉体(1)内腔分别与一个进气管(2)和出气管(3)相连通，其特征在于所述出气管(3)与一台真空泵(4)相连通，所述炉体(1)的运料口具有一个真空密封门(5)。
【技术特征摘要】
1.一种用于制作太阳能电池片的扩散炉，包括一个炉体(1)，所述炉体(1)内腔分别与一个进气管(2)和出气管(3...
【专利技术属性】
技术研发人员：王文杰，董智勇，方绿萍，徐明川，
申请(专利权)人：浙江龙柏光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。