The invention provides a dry pump exhaust pipe cleaning method and cleaning device, wherein the method comprises the following steps: obtaining the gas pressure inside the pipeline in the dry pump; whether the pressure value is greater than the preset threshold pressure; and when judging the value is greater than the pressure the pressure of a preset threshold value, then start cleaning device is arranged on the exhaust pipe, the through rolling or vibration to clean the exhaust pipe. The method of the invention can control the cleaning device used for cleaning the tail gas pipeline in the dry pump, and automatically start the tail gas pipeline cleaning when the pressure value in the tail gas pipeline exceeds the preset threshold of the pressure, so as to avoid the blockage of the tail gas pipeline.
【技术实现步骤摘要】
对干泵的尾气管道进行清洁的方法及进行清洁的装置
本专利技术涉及一种干泵,特别涉及一种对干泵的尾气管道进行清洁的方法及进行清洁的装置。
技术介绍
干泵(DryPump)作为半导体及相关制造业的一个重要组成设备,尤其是在真空应用设备的需求方面,对保证设备运行的可靠性、稳定性等方面要求极高。以DryEtcher(干法刻蚀设备)为例,伴随着干泵使用的过程也会出现一些问题,最主要的就是尾气管道清洁的处理。设备生产中和生产完成后会产生大量的如Cl元素副产物和F元素等的副产物,这些副产物在干泵抽气时会形成颗粒状,粘附到干泵尾气管道上,从而发生管道堵塞,造成干泵抽气能力下降等一系列问题。现有技术中当管道堵塞时,需要进行设备停产,关闭干泵,然后拆卸干泵的尾气管道,再通知干泵的厂商来进行处理,最后还需要至少一个工程师在现场全程跟线清洁,耗费了大量的人力物力。而且每次清洁所需的时间较长,造成了大量产能的浪费。
技术实现思路
本专利技术所要解决的问题是,设备生产时干泵的尾气管道内会产生大量副产物,这些副产物在干泵进行抽气时会附着到尾气管道上面,从而发生尾气管道堵塞等一系列问题;且在对尾气管道欲进行清洗时整个设备都需要停产配合,干泵也需停泵配合,还要通知厂商来进行处理,浪费了大量财力;另外,由于尾气管道频繁堵塞,导致干泵开泵停泵频繁,这样会减少干泵的使用寿命,使在对尾气管道清理完成后需要开泵时,干泵不能及时启动,只能更换新的干泵,造成经济损失惨重;最后,若恰巧遇到夜间尾气管道堵塞,需要对尾气管道进行清洗时更为棘手,由于还要通知厂商,等待厂商援助,使得浪费了大量的时间,造成产能的严重损耗 ...
【技术保护点】
一种对干泵的尾气管道进行清洁的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:在所述干泵运行时获取其尾气管道内的压力值;判断所述压力值是否大于压力预设阈值;以及当判断所述压力值大于压力预设阈值时,则启动装设在所述尾气管道中的清理器,使其经由滚动或振动来清洁所述尾气管道。
【技术特征摘要】
1.一种对干泵的尾气管道进行清洁的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:在所述干泵运行时获取其尾气管道内的压力值;判断所述压力值是否大于压力预设阈值;以及当判断所述压力值大于压力预设阈值时,则启动装设在所述尾气管道中的清理器,使其经由滚动或振动来清洁所述尾气管道。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述干泵运行时获取其尾气管道内的压力值的步骤包括:通过装设在所述尾气管道内的压力传感器检测所述尾气管道内的压力。3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,启动装设在所述尾气管道中的清理器的步骤包括:由数据采集系统获取所述压力值的信息并传送至可编程控制器(PLC);由所述PLC判断所述压力值是否大于压力预设阈值,如果是,则所述PLC生成启动指令并发送给所述清理器。4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,当所述PLC判断所述压力值大于压力预设阈值时,所述PLC生成报警指令并发送给报警器。5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法在在所述干泵运行时获取其尾气管道内的压力值的同时,将所述压力值发送给显示系统以供实时显示。6.一种对干泵的尾气管道进行清洁的装置,其特征在于,所述装置包括:控制器,所述控制器被配置为:在所述干泵运行时获取其尾气管道内的压力值;判断所述压力值是否大于压力预设阈值;以及当判断所述压力值大于压力预...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭淳,冯忠,孟盼盼,刘建辉,王忠宝,韩勉,李鹤,董康旭,刘祖宏,侯智,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,合肥京东方光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。