掩膜板载台和蒸镀系统技术方案

本发明专利技术公开了一种掩膜板载台和蒸镀系统，属于蒸镀工艺领域。所述掩膜板载台包括底座和相互间隔设置在所述底座上的至少两个矫正夹具；所述至少两个矫正夹具被配置为将放置在所述底座上蒸镀用金属掩膜板的框架夹紧在所述底座上，所述底座上设有用于供有机材料通过的第一开口。本发明专利技术实施例提供的掩膜板载台包括底座和相互间隔设置在所述底座上的至少两个矫正夹具，底座上设有第一开口，用于供有机材料通过，在进行有机蒸镀镀膜时，掩膜板载台上的至少两个矫正夹具压住金属掩膜板的框架，避免框架发生变形，这样当基板与金属掩膜板的表面压合后，基板与金属掩膜板之间的间隙减小甚至消除，蒸镀得到的图案形状及轮廓清晰，尺寸正常，达到改善混色不良、提高产品良率的目的。

【技术实现步骤摘要】
掩膜板载台和蒸镀系统
本专利技术涉及蒸镀工艺领域，特别涉及一种掩膜板载台和蒸镀系统。
技术介绍
现有的有机发光二极管(英文OrganicLightEmittingDiode，简称OLED)有机蒸镀镀膜的技术，是利用高精度的金属掩膜板作为模具，加热有机材料使其高温挥发后以材料分子状态透过掩膜板的开口蒸镀到基板上。具体地，金属掩膜板包括框架和设置有开口的金属掩膜板，金属掩膜板焊接在框架上，蒸镀时，将框架设置在中空的载台上，将待蒸镀基板贴合放置在金属掩膜板上，在待蒸镀基板的背向金属掩膜板的一面设置磁力装置，将金属掩膜板吸合在待蒸镀基板上，在载台下方加热有机材料，有机材料高温挥发后穿过载台和框架并透过开口蒸镀到基板上。其中，金属掩膜板是通过焊接固定到框架上的，在将金属掩膜板焊接到框架后，框架可能发生变形(例如边缘翘曲)，造成焊接在框架上的金属掩膜板也发生变形。当待蒸镀基板放置在金属掩膜板上时，待蒸镀基板和金属掩膜板之间会存在间隙，由于位于框架中部的金属掩膜板只有两端焊接在框架上，在磁力装置的磁力作用下被吸附贴合在待蒸镀基板上，而位于框架边缘的金属掩膜板整个焊接在框架上，框架变形时，磁力装置的磁力无法将其吸附到待蒸镀基板上，所以位于框架边缘的金属掩膜板和待蒸镀基板间存在较大的间隙。当有机材料从金属掩膜板的开口蒸镀到基板时，会在待蒸镀基板和金属掩膜板之间的间隙扩散，导致靠近框架边缘的蒸镀图形尺寸比正常像素大，厚度比正常厚度薄，最终导致OLED面板发生混色不良，产品良率下降。
技术实现思路
为了解决现有技术中由于框架变形造成有机材料开口蒸镀到基板时，靠近框架边缘的蒸镀图形尺寸比正常像素大，厚度比正常厚度薄的问题，本专利技术实施例提供了一种掩膜板载台和蒸镀系统。所述技术方案如下：第一方面，本专利技术实施例提供了一种掩膜板载台，所述掩膜板载台包括底座和相互间隔设置在所述底座上的至少两个矫正夹具；所述至少两个矫正夹具被配置为将放置在所述底座上蒸镀用金属掩膜板的框架夹紧在所述底座上，所述底座上设有用于供有机材料通过的第一开口。在本专利技术实施例的一种实现方式中，每个所述矫正夹具均包括支撑杆、L型连接杆和用于压紧所述框架的压合盘，所述支撑杆的一端安装在所述底座上，所述支撑杆的另一端连接所述L型连接杆的一端，所述L型连接杆的另一端设置有所述压合盘，所述压合盘用于提供夹紧所述框架的力。在本专利技术实施例的另一种实现方式中，所述底座内部设有容纳腔，所述底座的顶面设置有与所述容纳腔连通的第二开口；所述矫正夹具具有第一状态和第二状态，当所述矫正夹具处于第一状态时，所述矫正夹具容置在所述容纳腔内，当所述矫正夹具处于第二状态时，所述矫正夹具将所述框架夹紧在所述底座上；所述第二开口用于供所述矫正夹具由所述第一状态转换为所述第二状态时穿过。在本专利技术实施例的另一种实现方式中，所述支撑杆的一端可转动安装在所述容纳腔内，且所述支撑杆可绕所述支撑杆的一端在第一位置和第二位置间转动，当所述支撑杆处于所述第二位置时，所述支撑杆的长度方向与所述底座的顶面垂直，当所述支撑杆处于所述第一位置时，所述矫正夹具位于所述容纳腔内。在本专利技术实施例的另一种实现方式中，所述第二开口包括长条槽和连接在所述长条槽一端的端部孔，所述长条槽的长度方向与所述支撑杆的一端转动所绕的转动轴垂直，所述支撑杆在所述底座的顶面的投影位于所述长条槽内，所述端部孔用于供所述L型连接杆和所述压合盘在所述支撑杆转动时穿过。在本专利技术实施例的另一种实现方式中，所述矫正夹具还包括用于带动所述支撑杆转动的动力单元，所述动力单元与所述支撑杆连接。在本专利技术实施例的另一种实现方式中，所述动力单元包括电机，所述电机设置在所述容纳腔内，所述电机的输出轴与所述支撑杆的转动轴同轴连接。在本专利技术实施例的另一种实现方式中，所述动力单元包括伸缩缸和安装座，所述支撑杆的一端所绕的转动轴固定在所述安装座上，所述伸缩缸的一端可转动连接在所述容纳腔的底部上，所述伸缩缸的另一端可转动连接在所述支撑杆的中部，当所述伸缩缸伸长到第一长度时，所述支撑杆处于所述第二位置，当所述伸缩缸缩短到第二长度时，所述支撑杆处于所述第一位置。在本专利技术实施例的另一种实现方式中，所述支撑杆为可伸缩杆。在本专利技术实施例的另一种实现方式中，所述掩膜板载台还包括控制单元，所述控制单元用于在收到第一指令时，控制所述动力单元带动所述支撑杆从所述第一位置转动到所述第二位置，并在所述支撑杆处于所述第二位置时，控制所述支撑杆缩短；在收到第二指令时，控制所述支撑杆伸长，并在所述支撑杆伸长后，控制所述动力单元带动所述支撑杆从所述第二位置转动到所述第一位置。在本专利技术实施例的另一种实现方式中，所述容纳腔内还设置有滑道，所述滑道从所述第二开口的下方延伸到所述底座的中部，所述矫正夹具可滑动的安装在所述滑道上。在本专利技术实施例的另一种实现方式中，所述矫正夹具的支撑杆可转动地设置在所述底座上，所述支撑杆转动时带动所述压合盘在第三位置和第四位置之间变换，当所述压合盘处于第三位置时，所述压合盘压住所述框架，当所述压合盘处于第四位置时，所述支撑杆在所述底座的顶面上的投影，位于所述压合盘在所述底座的顶面上的投影和所述框架在所述底座的顶面上的投影之间。在本专利技术实施例的另一种实现方式中，所述掩膜板载台包括4个矫正夹具，所述4个矫正夹具分别设置在矩形的四边或四顶点，所述矩形的四顶点与所述底座上的框架的四角对应。第二方面，本专利技术实施例还提供了一种蒸镀系统，包括蒸镀腔室、以及设置在所述蒸镀腔室内的掩膜板载台和金属掩膜板，所述金属掩膜板设置在所述掩膜板载台上，所述掩膜板载台为如第一方面任一项所述的掩膜板载台。本专利技术实施例提供的技术方案带来的有益效果是：本专利技术实施例提供的掩膜板载台包括底座和相互间隔设置在所述底座上的至少两个矫正夹具，底座上设有第一开口，用于供有机材料通过，在进行有机蒸镀镀膜时，掩膜板载台上的至少两个矫正夹具压住金属掩膜板的框架，避免框架发生变形，这样当基板与金属掩膜板的表面压合后，基板与金属掩膜板之间的间隙减小甚至消除，蒸镀得到的图案形状及轮廓清晰，尺寸正常，达到改善混色不良、提高产品良率的目的。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是一种蒸镀系统的结构示意图；图2是一种蒸镀系统的结构示意图；图3是一种蒸镀系统的结构示意图；图4是本专利技术实施例提供的一种掩膜板载台的结构示意图；图5是本专利技术实施例提供的另一种掩膜板载台的结构示意图；图6是本专利技术实施例提供的另一种掩膜板载台的结构示意图；图7是本专利技术实施例提供的另一种掩膜板载台的结构示意图；图8是本专利技术实施例提供的另一种掩膜板载台的结构示意图；图9是本专利技术实施例提供的另一种掩膜板载台的结构示意图；图10是本专利技术实施例提供的另一种掩膜板载台的结构示意图；图11是本专利技术实施例提供的另一种掩膜板载台的结构示意图；图12是本专利技术实施例提供的另一种掩膜板载台的结构示意图；图13是本专利技术实施例提供的另一种掩膜板载台的结构示意图；图14是本专利技术实施例提供的一种底座的结构示意图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板载台，其特征在于，所述掩膜板载台包括底座和相互间隔设置在所述底座上的至少两个矫正夹具；所述至少两个矫正夹具被配置为将放置在所述底座上蒸镀用金属掩膜板的框架夹紧在所述底座上，所述底座上设有用于供有机材料通过的第一开口。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板载台，其特征在于，所述掩膜板载台包括底座和相互间隔设置在所述底座上的至少两个矫正夹具；所述至少两个矫正夹具被配置为将放置在所述底座上蒸镀用金属掩膜板的框架夹紧在所述底座上，所述底座上设有用于供有机材料通过的第一开口。2.根据权利要求1所述的掩膜板载台，其特征在于，每个所述矫正夹具均包括支撑杆、L型连接杆和用于压紧所述框架的压合盘，所述支撑杆的一端安装在所述底座上，所述支撑杆的另一端连接所述L型连接杆的一端，所述L型连接杆的另一端设置有所述压合盘，所述压合盘用于提供夹紧所述框架的力。3.根据权利要求2所述的掩膜板载台，其特征在于，所述底座内部设有容纳腔，所述底座的顶面设置有与所述容纳腔连通的第二开口；所述矫正夹具具有第一状态和第二状态，当所述矫正夹具处于第一状态时，所述矫正夹具容置在所述容纳腔内，当所述矫正夹具处于第二状态时，所述矫正夹具将所述框架夹紧在所述底座上；所述第二开口用于供所述矫正夹具由所述第一状态转换为所述第二状态时穿过。4.根据权利要求3所述的掩膜板载台，其特征在于，所述支撑杆的一端可转动安装在所述容纳腔内，且所述支撑杆可绕所述支撑杆的一端在第一位置和第二位置间转动，当所述支撑杆处于所述第二位置时，所述支撑杆的长度方向与所述底座的顶面垂直，当所述支撑杆处于所述第一位置时，所述矫正夹具位于所述容纳腔内。5.根据权利要求4所述的掩膜板载台，其特征在于，所述第二开口包括长条槽和连接在所述长条槽一端的端部孔，所述长条槽的长度方向与所述支撑杆的一端转动所绕的转动轴垂直，所述支撑杆在所述底座的顶面的投影位于所述长条槽内，所述端部孔用于供所述L型连接杆和所述压合盘在所述支撑杆转动时穿过。6.根据权利要求4所述的掩膜板载台，其特征在于，所述矫正夹具还包括用于带动所述支撑杆转动的动力单元，所述动力单元与所述支撑杆连接。7.根据权利要求6所述的掩膜板载台，其特征在于，所述动力单元包括电机，所述电机设置在所述容纳腔内，所述电机的输出轴与所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕守华，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11