一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构制造技术

本发明专利技术公开了一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构，其特征在于，包括圆靶、圆靶转向夹持机构、法兰、焊接波纹管组件、支撑管、密封结构、挡板；挡板调节机构；挡板设置在圆靶的上方，在圆靶的下方设置圆靶转向夹持机构；圆靶转向夹持机构的中间连接一焊接波纹管组件；焊接波纹管组件的下端连接支撑管；支撑管伸入设置在法兰上的密封结构；圆靶转向夹持机构的右侧夹持挡板调节机构；挡板调节机构随圆靶、圆靶转向夹持机构一起角度和高度同步调节；实现了在圆靶挡板结构中的挡板结构在高度和角度可以同步进行调节，进一步提升了圆靶镀膜的工艺连续性。

A circular target baffle structure with manual adjustment of height and angle

The invention discloses a manual can adjust the height and angle of the circle target baffle structure, which is characterized in that the circular target, including circular target steering clamping mechanism, flange, welding bellows components, supporting tube, sealing structure, baffle baffle; adjusting mechanism; the baffle plate is arranged above the circle target, at the bottom of the circle the target setting of circle target steering clamping mechanism; circular target steering middle clamping mechanism is connected with a welded bellows assembly; welding end of bellows is connected with the supporting tube; the support tube extends into the sealing structure set on the flange; turning circle target clamping mechanism on the right side of the clamping plate adjusting mechanism; adjusting mechanism with baffle round round target, target steering angle and the height of the clamping mechanism with synchronous adjustment; the baffle structure in a circular target baffle structure can be simultaneously adjusted in height and angle, to further enhance the circle Process continuity of target coating.

【技术实现步骤摘要】
一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构
本专利技术涉及一种调节结构，尤其涉及一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构。
技术介绍
在现有的镀膜设备中，如果圆靶安装有挡板机构，往往无法在调节圆靶的过程中，也实现对挡板的调节，需要高频次的拆卸挡板机构才能达到调节的效果，大大降低了镀膜的效率，也增加了员工的工作负担。
技术实现思路
本专利技术的目的是根据上述现有技术的不足之处，本专利技术目的实现一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构，其特征在于，包括圆靶、圆靶转向夹持机构、法兰、焊接波纹管组件、支撑管、密封结构、挡板；挡板调节机构；所述的挡板设置在圆靶的上方，在圆靶的下方设置所述的圆靶转向夹持机构；所述的圆靶转向夹持机构的中间连接一焊接波纹管组件；所述的焊接波纹管组件的下端连接支撑管；所述的支撑管伸入设置在法兰上的密封结构；所述的圆靶转向夹持机构的右侧夹持挡板调节机构；所述的挡板调节机构随圆靶、圆靶转向夹持机构一起在角度和高度上同步调节。进一步，所述的挡板调节机构，还包括连接杆、万向节、升降杆、定位销、槽型套管、驱动轴；所述的挡板连接一连接杆，所述的连接杆穿过圆靶转向夹持机构的上端；连接一万向节的一端；万向节的另一端连接一升降杆；升降杆伸入一槽型套管中，在槽型套管上对称开设对称腰形槽；在腰形槽中插入一定位销；与升降杆固定连接，定位销在腰形槽中随升降杆的上、下滑动，槽型套管的下端固定连接一驱动轴；驱动轴穿过法兰与设置在法兰下方的电机装置相连接进一步，所述的电机装置还包括支撑柱、联轴器、电机；支撑板；支撑柱与法兰螺纹连接；所述的驱动轴设置在支撑柱的中间；支撑柱上设置一支撑板；所述的驱动轴穿过支撑板与联轴器连接；联轴器同样设置在支撑柱之间；在支撑柱的下端设置螺纹，穿入电机上的盖板，与电机螺纹连接。进一步，所述的电机为伺服电机、调速电机、同步电动机、异步电动机中的任意一种。进一步，所述的密封结构，包括上密封套，上密封套固定在法兰的上方，与法兰为螺纹连接；下密封套固定在法兰的下方，下密封套的中间设置密封胶圈，在下密封套的下方设置一端盖；所述的支撑管依次穿过密封套、法兰、下密封套以及端盖。在本专利技术的技术效果在于，是实现了在圆靶挡板结构中的挡板结构在高度和角度可以同步进行调节，进一步提升了圆靶镀膜工艺的连续性，节省了时间。附图说明图1是本专利技术的主视图。图2是本专利技术的右视图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。结合附图1、附图2所示，本实施了公开了一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构，包括圆靶1、圆靶转向夹持机构2、焊接波纹管组件3、法兰4、支撑管6、密封结构5、挡板7；挡板调节机构30；挡板2设置在圆靶1的上方，在圆靶1的下方设置圆靶转向夹持机构2；圆靶转向夹持机构2的中间连接一焊接波纹管组件3；焊接波纹管组件3的下端连接支撑管6；支撑管6伸入设置在法兰4上的密封结构5；圆靶转向夹持机构2的右侧夹持挡板调节机构30；挡板调节机构30随圆靶1、圆靶转向夹持机构2一起在角度和高度上同步调节。这样的结构，解决了在圆靶挡板结构中的挡板结构在高度和角度可以进行调节，解决了在圆靶镀膜工艺中的挡板结构不能随圆靶1、圆靶转向夹持机构2在高度和角度上同步调节的问题。结合附图1、附图2所示，挡板调节机30，还包括连接杆8、万向节9、升降杆10、定位销11、槽型套管12、驱动轴13；挡板7连接一连接杆8，连接杆8穿过圆靶转向夹持机构2的上端；连接一万向节9的一端；万向节9的另一端连接一升降杆10；升降杆10伸入一槽型套管12中，在槽型套管12上对称开设对称腰形槽121；在腰形槽121中插入一定位销11；与升降杆10固定连接，定位销11在腰形槽121中随升降杆10的上、下滑动，槽型套管12的下端固定连接一驱动轴13；驱动轴13穿过法兰4与设置在法兰4下方的电机装置40相连接；在采用升降杆10以及与定位销11在腰形槽121中随升降杆10的上、下滑动的结构解决了圆靶1、圆靶转向夹持机构2在高度上同步调节的问题；同时，在挡板调节机30中采用了万向节9，使得圆靶1、圆靶转向夹持机构2在角度上也能同步调节；从而解决了在圆靶镀膜工艺中的挡板结构不能随圆靶1、圆靶转向夹持机构2在高度和角度上同步调节的问题。结合附图1、附图2所示，电机装置40还包括支撑柱15、联轴器16、电机14；支撑板18；支撑柱15与法兰4螺纹连接；驱动轴13设置在支撑柱15的中间；支撑柱15上设置一支撑板18；驱动轴13穿过支撑板18与联轴器16连接；联轴器16同样设置在支撑柱15之间；在支撑柱15的下端设置螺纹，穿入电机14上的盖板141，与电机14螺纹连接。上述结构完成了电机装置40在手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构中驱动挡板7转动的结构，从而形成了挡板7进行控制其转速，可以控制圆靶1的镀膜工艺过程，为了实现进一步的控制，在本专利技术中，采用的电机14为伺服电机、调速电机、同步电动机、异步电动机中的任意一种，可以根据不同的控制精度进行选择。为了实现手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构，在圆靶1、圆靶转向夹持机构2的结构侧；在所述的密封结构5中，将密封结构5包括上密封套51，上密封套52固定在法兰4的上方，与法兰4为螺纹连接；下密封套52固定在法兰4的下方，下密封套52的中间设置密封胶圈54，在下密封套52的下方设置一端盖53；支撑管6依次穿过上密封套52、法兰4、下密封套2以及端盖53。这样形成了支撑管6的密封结构的同时，也可以实现圆靶1、圆靶转向夹持机构2的结构侧的上、下同步调节。作为本专利技术的优选的实施例，对于本领域技术人员而言，显然本专利技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本专利技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本专利技术，也是本专利技术的保护范围。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本专利技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本专利技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构，其特征在于，包括圆靶、圆靶转向夹持机构、法兰、焊接波纹管组件、支撑管、密封结构、挡板；挡板调节机构；所述的挡板设置在圆靶的上方，在圆靶的下方设置所述的圆靶转向夹持机构；所述的圆靶转向夹持机构的中间连接一焊接波纹管组件；所述的焊接波纹管组件的下端连接支撑管；所述的支撑管伸入设置在法兰上的密封结构；所述的圆靶转向夹持机构的右侧夹持挡板调节机构；所述的挡板调节机构随圆靶、圆靶转向夹持机构一起在角度和高度上同步调节。

【技术特征摘要】
1.一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构，其特征在于，包括圆靶、圆靶转向夹持机构、法兰、焊接波纹管组件、支撑管、密封结构、挡板；挡板调节机构；所述的挡板设置在圆靶的上方，在圆靶的下方设置所述的圆靶转向夹持机构；所述的圆靶转向夹持机构的中间连接一焊接波纹管组件；所述的焊接波纹管组件的下端连接支撑管；所述的支撑管伸入设置在法兰上的密封结构；所述的圆靶转向夹持机构的右侧夹持挡板调节机构；所述的挡板调节机构随圆靶、圆靶转向夹持机构一起在角度和高度上同步调节。2.如权利要求1所述的一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构，其特征在于所述的挡板调节机构，还包括连接杆、万向节、升降杆、定位销、槽型套管、驱动轴；所述的挡板连接一连接杆，所述的连接杆穿过圆靶转向夹持机构的上端；连接一万向节的一端；万向节的另一端连接一升降杆；升降杆伸入一槽型套管中，在槽型套管上对称开设对称腰形槽；在腰形槽中插入一定位销；与升降杆固定连接，定位销在腰形槽中随升降杆的上...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨元才，朱振东，熊凯，钱鹏亮，褚景豫，
申请(专利权)人：上海福宜真空设备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31