The invention discloses a device and a copper plating process by using the external tank dissolved electrolytic copper, by using the plating tank insoluble anode, can completely avoid the anode to produce phosphorus powder, copper powder and insoluble impurities, achieve the electroplating solution with high purity, improve the corrosion resistance of coating and plating quality; metal copper supplement from the external bath, no anode slime, copper, phosphor production, can effectively improve the utilization rate of copper, copper and copper prices than cheaper and active copper oxide powder; at the same time, copper ion concentration control, avoid the increase of copper sulfate content, but also can reduce the amount of sulfuric acid; low voltage anode loss, at the same time because of the whole insoluble anode is very uniform, can narrow the distance between the anode and cathode to great extent, can effectively reduce the voltage of the plating bath, energy consumption will The cathode and anode will not produce the current, the efficiency will be poor, the copper sulfate will not rise, sulfuric acid consumption problems, simple maintenance, more friendly to the environment.
【技术实现步骤摘要】
一种采用外置槽溶解电解铜的镀铜装置及其镀铜工艺
本专利技术涉及电镀
,具体涉及一种通过电解铜补充阴极消耗的铜离子的镀铜装置及其镀铜工艺。
技术介绍
在电镀铜行业,硫酸盐镀铜(简称酸铜)是最要的电镀工艺之一,普遍采用磷铜阳极。由于电解铜在溶解时会产生铜粉,造成利用率降低,故普遍采用阳极中含有磷元素(0.6-0.8%)的阳极,但阳极在溶解过程中会产生少量的磷化亚铜黑色不溶物,仍然会污染镀液,因此阳极钛篮必须套装阳极袋,以提高镀液的纯净度,但这种方式仍然治标不治本,镀层依然会因镀液不纯而产生毛刺点、麻点等缺陷。目前也有技术提出使用不溶性阳极镀铜,铜离子的补充采用往溶液中加活性氧化铜粉的方式,但是活性氧化铜的含铜量只有同质量电解铜的80%,且活性氧化铜粉的单价并不比电解铜便宜,故生产成本相对磷铜阳极要高。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷,提供一种结构简单、设计合理、可保持镀液高纯净度、金属铜利用率高、更为节能环保、电镀产品质量更好的采用外置槽溶解电解铜的镀铜装置及其镀铜工艺。为解决上述技术问题,本专利技术采用如下技术方案:一种采用外置槽溶解电解铜的镀铜装置,包括有镀槽,镀槽内设有镀液喷嘴、铜排和不溶性阳极,镀槽连接储液槽形成镀液循环结构,其特征在于:还包括有溶铜槽,溶铜槽内设置有若干用于放置电解铜(铜角或铜球)的钛篮,溶铜槽的进液端与连接镀槽和储液槽的回流管连通,而溶铜槽的出液端直接与储液槽连接形成对储液槽的铜离子补充机构;储液槽上设有铜离子浓度监测器。进一步地,所述溶铜槽的内壁上设有钛篮支撑板,而钛篮的上部开口处设有向外延伸的挡板 ...
【技术保护点】
一种采用外置槽溶解电解铜的镀铜装置,包括有镀槽,镀槽内设有镀液喷嘴、铜排和不溶性阳极,镀槽连接储液槽形成镀液循环结构,其特征在于:还包括有溶铜槽,溶铜槽内设置有若干用于放置电解铜的钛篮,溶铜槽的进液端与连接镀槽和储液槽的回流管连通,而溶铜槽的出液端直接与储液槽连接形成对储液槽的铜离子补充机构;储液槽上设有铜离子浓度监测器。
【技术特征摘要】
1.一种采用外置槽溶解电解铜的镀铜装置,包括有镀槽,镀槽内设有镀液喷嘴、铜排和不溶性阳极,镀槽连接储液槽形成镀液循环结构,其特征在于:还包括有溶铜槽,溶铜槽内设置有若干用于放置电解铜的钛篮,溶铜槽的进液端与连接镀槽和储液槽的回流管连通,而溶铜槽的出液端直接与储液槽连接形成对储液槽的铜离子补充机构;储液槽上设有铜离子浓度监测器。2.根据权利要求1所述的采用外置槽溶解电解铜的镀铜装置,其特征在于:所述溶铜槽的内壁上设有钛篮支撑板,而钛篮的上部开口处设有向外延伸的挡板,钛篮通过向外延伸的挡板挂于钛篮支撑板上形成固定结构;在溶铜槽内的钛篮支撑板之间设有若干横向的隔板,隔板将溶铜槽内部隔出2-6个钛篮位和一个溶铜槽溢流室;溶铜槽溢流室位于溶铜槽的出液端一侧,其上设有溶铜槽排液管,溶铜槽通过该溶铜槽排液管连接储液槽;溶铜槽的进液端设有溶铜槽进液管,溶铜槽进液管与连接镀槽和储液槽的回流管相连。3.根据权利要求2所述的采用外置槽溶解电解铜的镀铜装置,其特征在于:所述溶铜槽进液管上设有由PLC控制的伺服阀门,储液槽的铜离子浓度监测器亦连接该PLC。4.根据权利要求3所述的采用外置槽溶解电解铜的镀铜装置,其特征在于:所述储液槽还设有加热棒、冷却钛盘管及温度探头,铜离子浓度检测器监测镀液中铜离子的浓度,温度探头、加热棒和冷却钛盘管实现镀液的温度控制。5.根据权利要求4所述的采用外置槽溶解电解铜的镀铜装置,其特征在于:连接储液槽与镀槽之间上液管设有过滤器和上液泵,上液泵靠近储液槽设置,过滤器靠近镀槽设置。6.根据权利要求5所述的采用外置槽溶解电解铜的镀铜装置,其特征在于:镀槽采用两侧分布不溶性阳极和铜排、中间设置工件的结构,铜排和不溶性阳极的外侧分别采用液位调节板隔离出溢流室;镀液喷嘴为设置在镀槽底部的文丘里喷嘴,其形成能够将新鲜镀液喷射到工件两侧的结构。7.根据权利要求6所述的采用外置槽溶解电解铜的镀铜装置,其特征在于:所述不溶性阳极为钛基钌铱阳极。8.根据权利要求7所述的采用外置槽溶解电解铜的镀铜装置,其特征在于:钛篮的两边设有提手,而其底...
【专利技术属性】
技术研发人员:王庆浩,樊雄,
申请(专利权)人:东莞市同欣表面处理科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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