一种稀土永磁真空烧结热处理方法及真空热处理设备技术

本发明专利技术提供一种稀土永磁真空烧结热处理方法及真空热处理设备，该设备设置有真空炉体、真空隔热室、加热器、真空气体冷却系统；真空隔热室的两个侧面上设置有隔热挡气阀，真空气体冷却系统设置有换热器和真空风机；换热器的出气口与真空风机的吸气口相连，换热器的进气口通过真空炉体一侧面上的接管与真空隔热室同一侧的冷却气体通道相通；真空风机的排气口通过真空炉体另一侧面上的接管与真空隔热室另一侧的冷却气体通道相通。该真空烧结热处理方法包括：将稀土永磁坯料放入真空热处理设备中，抽真空后加热；在冷却时充入氩气，打开真空隔热室两侧的隔热挡气阀，交替启动两个冷却风机，然后交替或同时开闭两侧的隔热挡气阀。

Rare earth permanent magnet vacuum sintering heat treatment method and vacuum heat treatment equipment

The present invention provides a rare earth permanent magnet vacuum sintering heat treatment and vacuum heat treatment equipment, the equipment is provided with a vacuum furnace, vacuum insulation heater, vacuum chamber, gas cooling system; a heat retaining valve is provided with two side vacuum insulation chamber, vacuum gas cooling system is provided with a heat exchanger and a vacuum wind machine; the heat exchanger and the air outlet of the vacuum suction fan is connected to a cooling gas channel with the side of the heat exchanger inlet and vacuum insulation chamber by taking over one side of the vacuum furnace body is communicated with the exhaust fan; vacuum port connected by cooling the gas passage over the other side and the other side chamber vacuum insulation the vacuum furnace. Including the vacuum sintering heat treatment method: rare earth permanent magnet material is put in a vacuum heat treatment equipment, vacuum heating; when cooling argon enters the room, opened on both sides of the vacuum insulation insulation block valve, start the two alternate cooling fan, then open and close alternately or simultaneously on both sides of the heat insulation block valve.

【技术实现步骤摘要】
一种稀土永磁真空烧结热处理方法及真空热处理设备
本专利技术涉及一种稀土永磁真空烧结热处理方法及其使用的真空热处理设备，属于稀土永磁制造
该真空热处理设备除用于稀土永磁材料烧结或时效外，还可用于其他金属材料的真空烧结、热处理、钎焊等。
技术介绍
钕铁硼稀土永磁材料是1983年发现的新型稀土永磁材料，以其优良的磁性能得到越来越多的应用，被广泛用于医疗的核磁共振成像，计算机硬盘驱动器，手机的振动电机，电声器材、混合动力汽车电机，风力发电机等。目前在国内广泛用于钕铁硼真空烧结和热处理的真空炉在加热器的布置上多采用沿均温区长度方向上的前、中、后三区加热。采用这种加热器布置方式的真空热处理设备，在真空条件下加热的时候，炉内温度均匀性尚可，但当根据热处理工艺的需要向真空炉内充入工艺气体或保护性气氛的时候，由于气体会产生对流，热的气体向上流动，会使炉内上部的温度升高，使均温区内的温度均匀性变差。另一方面，对于采用气体冷却的真空热处理设备来说，冷却均匀性是决定热处理产品品质的关键。在现有的气冷式真空热处理设备中，一般采用风管阵列式气体冷却方式，在工艺过程中很难保证工件的冷却均匀性，难以满足高品质热处理产品的工艺需求。
技术实现思路
本专利技术提供一种稀土永磁真空热处理设备，主要包括：真空炉门、真空炉体、真空隔热室、真空隔热门、带隔热层的后盖、加热器、真空气体冷却系统和真空机组；所述的真空炉门上设置有观察窗；真空炉体为卧式双层水冷壁结构，前端设置有前法兰，后端焊接有封头；真空炉门与真空炉体的前法兰相接触；所述的带隔热层的后盖、真空隔热室和真空隔热门设置在所述的真空炉体和真空炉门构成的密闭真空容器内；真空隔热室为卧式箱形结构，前端与真空隔热门接触，后端连接有带隔热层的后盖；真空隔热室设置有框架和保温层；保温层设置在框架的内侧；在真空隔热室的两个侧面上分别设置有1个以上的隔热挡气阀，在框架的两个侧面上分别设置有冷却气体通道，所述的隔热挡气阀封闭在冷却气体通道内；在一种优选的实施方式中，所述的隔热挡气阀在真空隔热室的每个侧面上分别设置有2个；所述的加热器设置在真空隔热室的内壁上；所述的真空气体冷却系统设置有换热器和真空风机；换热器的出气口与真空风机的吸气口相连，换热器的进气口与真空炉体一侧面上的接管相连，接管穿过真空炉体与真空隔热室同一侧的冷却气体通道相通；真空风机的排气口与真空炉体另一侧面上的接管相连，接管穿过真空炉体与真空隔热室另一侧的冷却气体通道相通；所述的真空机组通过抽真空接口与真空炉体相连。所述的真空炉门上还设置有用于真空炉门开关的铰链和用于真空炉门锁紧的齿圈，在所述的真空炉门和真空炉体的前法兰之间还设置有密封圈；真空隔热门与真空炉门相连，与真空炉门一起开关。所述的真空气体冷却系统在换热器的进气口和真空炉体一侧面上的接管之间还设置有另一个真空风机，另一个真空风机的排气口与真空炉体一侧面上的接管相连，接管穿过真空炉体与真空隔热室同一侧的冷却气体通道相通。所述的真空炉门上还设置有用于真空炉门开关的铰链和用于真空炉门锁紧的齿圈，在齿圈和真空炉体之间设置有驱动齿圈旋转的气缸，在真空炉门和真空炉体之间也设置有驱动真空炉门转动的气缸，在所述的真空炉门和真空炉体的前法兰之间还设置有密封圈；真空隔热门与真空炉门相连，与真空炉门一起开关。所述的真空炉体上还设置有测温热电偶和加热器电源引入电极，所述的测温热电偶有3个以上；所述的加热器电源引入电极内通有冷却水。所述的真空隔热室为卧式对称的八边形箱体，上、下和两个侧面的边长大于4个斜边的边长；真空隔热室的框架外侧焊接有筋板，筋板的高度小于200mm。所述的真空隔热室的框架的内侧设置有保温层，保温层的内侧设置有钼片，通过钼杆将框架、保温层和钼片连接在一起；所述的保温层的材质为陶瓷纤维和碳纤维一种以上。所述的真空隔热室的框架的内侧设置有保温层；所述的保温层的材质为硬质碳毡。所述的加热器由前加热器、后加热器、上加热器、下加热器和2个侧加热器组成，前加热器和后加热器都为环形结构，分别设置在真空隔热室的前端和后端，上加热器、下加热器和2个侧加热器分别设置在真空隔热室的上侧、下侧和两个侧面；所述的加热器材质为钼或石墨。所述的真空隔热室的下面内侧设置有炉床，炉床的下面连接有立柱，立柱穿过保温层支撑在真空炉体的内壁上；炉床的上部为均温区，均温区位于由上加热器、下加热器和2个侧加热器构成的空间内；被烧结或热处理的工件放置在炉床上，置于均温区内；所述的均温区的宽度在400-1200mm范围内，高度在400-1200mm范围内，长度在800-3500mm范围内；所述的均温区的最高温度在500-1400℃范围内。所述的真空机组包含油扩散真空泵、罗茨真空泵和机械真空泵；极限真空度高于5×10-1Pa。一种稀土永磁真空烧结热处理方法，其特征在于：所述的稀土永磁真空烧结热处理方法首先打开稀土永磁真空热处理设备的真空炉门，将稀土永磁坯料送到真空隔热室中的炉床上，关闭真空炉门后抽真空至真空度5×10-1Pa以上，继续抽真空并开始加热，加热时间1-30小时，最高加热温度在450-1100℃范围内，之后停止加热，关闭抽真空阀门，充入氩气，当气体压力超过4000KPa后分别打开真空隔热室两侧的隔热挡气阀和交替启动两个冷却风机，之后交替或同时打开或关闭两侧的隔热挡气阀；之后停冷却风机。进一步的，所述的加热时间1-30小时，最高加热温度在450-1100℃范围内，首先在1-9小时内将坯料加热至400-600℃并保温，接着在1-9小时内将坯料从400-600℃加热至800-900℃并保温，接着在1-5小时内将坯料从800-900℃加热至1010-1090℃并保温，接着停止加热，充入氩气后启动一个冷却风机和交替打开真空隔热室两侧的隔热挡气阀，之后3-15分钟两个冷却风机交替开关一次。在另一种实施方式中，所述的加热时间1-30小时，最高加热温度在450-1100℃范围内，首先在1-19小时内将坯料加热至1010-1090℃并保温；接着停止加热将温度降至800℃以下，之后再将坯料加热至800-950℃并保温；接着停止加热，充入氩气后启动一个冷却风机和交替打开真空隔热室两侧的隔热挡气阀，之后3-15分钟两个冷却风机交替开关一次，直到将温度冷却到400℃以下关冷却风机停止冷却，接着抽真空后继续加热，在1-9小时内将坯料加热至460-640℃并保温，之后再停止加热，充入氩气后启动一个冷却风机和交替打开真空隔热室两侧的隔热挡气阀，之后3-15分钟两个冷却风机交替开关一次，直到将温度冷却到100℃以下关冷却风机停止冷却。在又一种实施方式中，所述的加热时间1-30小时，最高加热温度在450-1100℃范围内，首先在1-9小时内将坯料加热至300-600℃并保温，接着在1-20小时内将坯料从300-600℃加热至1010-1090℃并保温；接着停止加热将温度降至800℃以下，之后再将坯料加热至800-950℃并保温；接着停止加热，充入氩气后启动一个冷却风机和交替打开真空隔热室两侧的隔热挡气阀，之后3-15分钟两个冷却风机交替开关一次，直到将温度冷却到400℃以下关冷却风机停止冷却，接着抽真空后继续加热，在1-9小时内将坯料加热至460-640℃本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空热处理设备，包括：真空炉门、真空炉体、真空隔热室、真空隔热门、带隔热层的后盖、加热器、真空气体冷却系统和真空机组；所述的真空炉门上设置有观察窗；真空炉体为卧式双层水冷壁结构，前端设置有前法兰，后端焊接有封头；真空炉门与真空炉体的前法兰相接触；所述的带隔热层的后盖、真空隔热室和真空隔热门设置在所述的真空炉体和真空炉门构成的密闭真空容器内；真空隔热室为卧式箱形结构，前端与真空隔热门接触，后端连接有带隔热层的后盖；真空隔热室设置有框架和保温层；保温层设置在框架的内侧；在真空隔热室的两个侧面上分别设置有1个以上的隔热挡气阀，在框架的两个侧面上分别设置有冷却气体通道，所述的隔热挡气阀封闭在冷却气体通道内；所述的加热器设置在真空隔热室的内壁上；所述的真空气体冷却系统设置有换热器和真空风机；换热器的出气口与真空风机的吸气口相连，换热器的进气口与真空炉体一侧面上的接管相连，接管穿过真空炉体与真空隔热室同一侧的冷却气体通道相通；真空风机的排气口与真空炉体另一侧面上的接管相连，接管穿过真空炉体与真空隔热室另一侧的冷却气体通道相通；所述的真空机组通过抽真空接口与真空炉体相连。

【技术特征摘要】
1.一种真空热处理设备，包括：真空炉门、真空炉体、真空隔热室、真空隔热门、带隔热层的后盖、加热器、真空气体冷却系统和真空机组；所述的真空炉门上设置有观察窗；真空炉体为卧式双层水冷壁结构，前端设置有前法兰，后端焊接有封头；真空炉门与真空炉体的前法兰相接触；所述的带隔热层的后盖、真空隔热室和真空隔热门设置在所述的真空炉体和真空炉门构成的密闭真空容器内；真空隔热室为卧式箱形结构，前端与真空隔热门接触，后端连接有带隔热层的后盖；真空隔热室设置有框架和保温层；保温层设置在框架的内侧；在真空隔热室的两个侧面上分别设置有1个以上的隔热挡气阀，在框架的两个侧面上分别设置有冷却气体通道，所述的隔热挡气阀封闭在冷却气体通道内；所述的加热器设置在真空隔热室的内壁上；所述的真空气体冷却系统设置有换热器和真空风机；换热器的出气口与真空风机的吸气口相连，换热器的进气口与真空炉体一侧面上的接管相连，接管穿过真空炉体与真空隔热室同一侧的冷却气体通道相通；真空风机的排气口与真空炉体另一侧面上的接管相连，接管穿过真空炉体与真空隔热室另一侧的冷却气体通道相通；所述的真空机组通过抽真空接口与真空炉体相连。2.根据权利要求1所述的一种真空热处理设备，其特征在于：所述的真空炉门上还设置有用于真空炉门开关的铰链和用于真空炉门锁紧的齿圈，在所述的真空炉门和真空炉体的前法兰之间还设置有密封圈；真空隔热门与真空炉门相连，与真空炉门一起开关。3.根据权利要求1所述的一种真空热处理设备，其特征在于：所述的隔热挡气阀在真空隔热室的每个侧面上分别设置有2个。4.根据权利要求1所述的一种真空热处理设备，其特征在于：所述的真空气体冷却系统在换热器的进气口和真空炉体一侧面上的接管之间还设置有另一个真空风机，另一个真空风机的排气口与真空炉体一侧面上的接管相连，接管穿过真空炉体与真空隔热室同一侧的冷却气体通道相通。5.根据权利要求1所述的一种真空热处理设备，其特征在于：所述的真空炉体上还设置有测温热电偶和加热器电源引入电极，所述的测温热电偶有3个以上；所述的加热器电源引入电极内通有冷却水。6.根据权利要求1所述的一种真空热处理设备，其特征在于：所述的真空隔热室为卧式对称的八边形箱体，上、下和两个侧面的边长大于4个斜边的边长；真空隔热室的框架外侧焊接有筋板，筋板的高度小于200mm。7.根据权利要求1所述的一种真空热处理设备，其特征在于：所述的真空隔热室的框架的内侧设置有保温层，保温层的内侧设置有钼片，通过钼杆将框架、保温层和钼片连接在一起；所述的保温层的材质为陶瓷纤维和碳纤维一种以上。8.根据权利要求1所述的一种真空热处理设备，其特征在于：所述的真空隔热室的框架的内侧设置有保温层；所述的保温层的材质为硬质碳毡。9.根据权利要求1所述的一种真空热处理设备，其特征在于：所述的加热器由前加热器、后加热器、上加热器、下加热器和2个侧加热器组成，前加热器和后加热器都为环形结构，分别设置在真空隔热室的前端和后端，上加热器、下加热器和2个侧加热器分别设置在真空隔热室的上侧、下侧和两个侧面；所述的加热器材质为钼或石墨。10.根据权利要求1所述的一种真空热处理设备，其特征在于：所述的真空隔热室的下面内侧设置有炉床，炉床的下面连接有立柱；炉床的上部为均温区，均温区位于由上加热器、下加热器和2个侧加热器构成的空间内；被烧结或热处理的工件放置在炉床上，置于均温区内；所述的均温区的宽度在400-1200mm范围内，高度在400-1200mm范围内，长度在800-3500...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙宝玉，段永利，
申请(专利权)人：沈阳中北通磁科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21