一种激光光刻光学结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种激光光刻光学结构，该结构包括光纤激光器、一体式结构的光束整形镜片组、反射镜、DMD芯片、投影镜片组，所述光纤激光器发出的光束依次通过光束整形镜片组、反射镜投射到DMD芯片，所述DMD芯片反射的光束通过投影镜片组投射到外部。本实用新型专利技术将光束整形光路与DMD芯片及投影镜片组一体化，极大的简化了曝光设备的光学引擎结构，不但方便后续的设备维护，也大大提升了设备的利用效率，间接的降低了生产成本，同时封闭的结构能避免激光对人眼的伤害，增加了设备使用过程中的安全性。

Optical structure for laser lithography

The utility model discloses a laser lithography optical structure, including the structure, integrated structure of fiber laser beam shaping lens group, mirror, DMD chip, projection lens group, the light beam emitted by the fiber laser beam shaping lens group, followed by the mirror onto the DMD chip, the DMD chip reflection beam through the projection lens group is projected to the outside. The utility model combines the beam shaping optical path with the DMD chip and the projection lens group integration, greatly simplifies the structure of the optical engine exposure equipment, not only to facilitate the maintenance of equipment, but also greatly enhance the utilization efficiency of the equipment, indirectly reduces the production cost, at the same time the closed structure to avoid laser damage to the human eye, increase the safety of the equipment used in the process of.

【技术实现步骤摘要】
一种激光光刻光学结构
本技术属于直写式
，具体涉及一种激光光刻光学结构。
技术介绍
直写式曝光系统可用于芯片制造、印刷电路板、平板显示器、生物芯片、光学玻璃平板等衬底上印刷构图等场合。但是目前市场上的曝光机的光学引擎大都体积较大，且多为分体式结构，不便于设备维护，同时对激光光源的利用效率也较低。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的主要目的在于提供一种激光光刻光学结构。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：本技术实施例提供一种激光光刻光学结构，该结构包括光纤激光器、以及一体式结构的光束整形镜片组、反射镜、DMD芯片、投影镜片组，所述光纤激光器发出的光束依次通过光束整形镜片组、反射镜投射到DMD芯片，所述DMD芯片反射的光束通过投影镜片组投射到外部。上述方案中，所述光束整形镜片组设置在呈L型的第一壳体内，所述反射镜设置在连接壳体内的一侧，所述投影镜片组垂直设置在第二壳体内；所述连接壳体的左右任意一侧与第一壳体的光束输出面连接，所述连接壳体内的反射镜设置在与第一壳体相反的一侧内，所述连接壳体的上侧设置DMD芯片，所述连接壳体的下侧与第二壳体的上侧连接。上述方案中，所述反射镜倾斜设置在接壳体内用于将光束反射到DMD芯片。上述方案中，所述连接壳体为一金属密封件。上述方案中，所述第二壳体的两侧设置有用于卡夹在支架上的凸起。与现有技术相比，本技术的有益效果：本技术将光束整形光路与DMD芯片及投影镜片组一体化，极大的简化了曝光设备的光学引擎结构，不但方便后续的设备维护，也大大提升了设备激光光源的光学利用效率，间接的降低了生产成本，同时封闭的结构能避免激光对人眼的伤害，增加了设备使用过程中的安全性。附图说明图1为本技术实施例提供一种激光光刻光学结构的结构示意图；图2为本技术实施例提供一种激光光刻光学结构的光路图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。本技术实施例提供一种激光光刻光学结构，如图1所示，该结构包括光纤激光器1、以及一体式结构的光束整形镜片组2、反射镜3、DMD芯片4、投影镜片组5，所述光纤激光器1发出的光束依次通过光束整形镜片组2、反射镜3投射到DMD芯片4，所述DMD芯片4反射的光束通过投影镜片组5投射到外部，这样，将光束整形镜片组2、DMD芯片4及投影镜片组5一体化，极大的增加了光学结构的稳定性以及维护的便利性，通过简化结构提升激光光源的利用效率，同时降低成本。所述光束整形镜片组2设置在呈L型的第一壳体6内，所述反射镜3设置在连接壳体7内的一侧，所述投影镜片组5垂直设置在第二壳体8内；所述连接壳体7的左右任意一侧与第一壳体6的光束输出面连接，所述连接壳体7内的反射镜3设置在与第一壳体6相反的一侧内，所述连接壳体7的上侧设置DMD芯片4，所述连接壳体7的下侧与第二壳体8的上侧连接，这样，将一体化的光束整形镜片组2、DMD芯片4及投影镜片组5封装在一起，进一步地增加了光学结构的稳定性以及维护的便利性，通过简化结构提升激光光源的利用效率。所述反射镜3倾斜设置在接壳体7内用于将光束反射到DMD芯片4。所述连接壳体7为一金属密封件，这样，结合第一壳体6、第二壳体8，封闭的结构能避免激光散射到外部，对人眼造成伤害，提升了设在备使用过程中的安全性。所述第二壳体8的两侧设置有用于卡夹在支架上的凸起。如图1、2所示，本技术的工作过程为：所述光纤激光器1发出的准直光束通过光束整形镜片组2反射到反射镜3，所述反射镜3再次反射到DMD芯片4，所述DMD芯片4反射的光束通过投影镜片组5投射到外部。以上所述，仅为本技术的较佳实施例而已，并非用于限定本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光光刻光学结构，其特征在于，该结构包括光纤激光器、以及一体式结构的光束整形镜片组、反射镜、DMD芯片、投影镜片组，所述光纤激光器发出的光束依次通过光束整形镜片组、反射镜投射到DMD芯片，所述DMD芯片反射的光束通过投影镜片组投射到外部。

【技术特征摘要】
1.一种激光光刻光学结构，其特征在于，该结构包括光纤激光器、以及一体式结构的光束整形镜片组、反射镜、DMD芯片、投影镜片组，所述光纤激光器发出的光束依次通过光束整形镜片组、反射镜投射到DMD芯片，所述DMD芯片反射的光束通过投影镜片组投射到外部。2.根据权利要求1所述的激光光刻光学结构，其特征在于：所述光束整形镜片组设置在呈L型的第一壳体内，所述反射镜设置在连接壳体内的一侧，所述投影镜片组垂直设置在第二壳体内；所述连接壳体的左右任意一侧与第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡志国，龚田，李小明，
申请(专利权)人：深圳凯世光研股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44