目标处理单元制造技术

本发明专利技术涉及一种目标处理单元(10)，包括：用于容纳待处理目标的真空腔室(30)；在所述真空腔室(30)内的投影列(46)，用于生成射束并将所述射束朝向所述目标(31)投影；在所述真空腔室(30)内的设备；管线(26、37、60)，用于将投影列连接至在所述真空腔室(30)外部的相应设备(22)；和与所述管线(26、37、60)不同的另外的管线(110)，用于将所述设备连接至在所述真空腔室(30)外部的相应设备(22)，其中所述管线(26、37、60)延伸穿过所述真空腔室的上侧，并且其中所述另外的管线(110)延伸穿过所述真空腔室的下侧。

【技术实现步骤摘要】
目标处理单元本申请是申请人于2014年9月8日提交的专利技术名称为“目标处理单元”的第201480061165.8号(PCT/EP2014/069116)专利申请的分案申请。
本专利技术通常涉及一种目标处理单元。进一步，本专利技术涉及一种用在目标处理单元中的投影透镜组件。另一方面涉及一种中间管线组件，涉及目标处理单元的真空腔室，以及包括中间管线组件的目标处理单元。
技术介绍
在电子元件的领域中，众所周知的是将多个电子设备部件分组成集成功能模块能够帮助减少更换有缺陷的部件所需的时间，导致用来修理这种模块化设备的停机时间更短。对于生产线中使用的电子设备，模块化部件设计是特别有利的，因为维护时间减少导致了生产率提高。在带电粒子束处理设备和类似设备中，无法直接实施模块化原则。其主要原因是各种粒子束生成和操作级(例如，束源、准直仪、束分离器、束阻断器、束制动器、束偏转器和透镜元件)合作形成并控制遍历每个级的粒子束。计算机设计者主要解决关于模块之间数据/信号交换、功率需求、电磁兼容性和热管理的问题。在束处理设备中应用模块化原理实质上更加复杂，因为除了上述问题，还需要考虑到束对准问题、场校准和模块之间的机械耦合(解耦和)。此外，由于所有部件一起工作来操纵同一个粒子束，无法直接识别为了获得射束对准高准确率(分离成较少模块)和维护高效率(较多模块)之间的最优平衡而应当形成模块的部件的优选组。国际专利申请WO2013/037486讨论了射束曝光系统中的载物架中的各种投影模块的定位和平面对准，以从竖直堆叠的模块形成热稳定对准的投影列。然而，WO2013/037486没有公开投影模块的具体配置，并且没有提供用于向这种投影模块(例如，投影透镜布置)提供信号和流体以及从这种投影模块释放信号和流体的各种管线的连接的解决方案。
技术实现思路
需要提供一种用于处理目标的投影透镜装置和光刻单元或者检验单元，其允许高效的模块化构造和投影列的维护，同时优化各种管线的连接。因此，根据第一方面，提供了一种用于使投影射束指向目标的投影透镜组件，该投影组件包括：-扁平透镜支撑体，用于容纳透镜元件，其中，该透镜支撑体跨过一个平面并且包括连接区域和侧边，并且其中，该透镜支撑体被布置成用于沿着平行于该平面的插入方向插入到目标处理单元的载物架中；-从连接区域发出并且方向平行于上述平面的多个管线；-管线导向体，布置成用于容纳管线；其中，管线导向体包括：-第一导向部，其被布置成用于将所述管线从所述连接区域平行于所述平面并且平行于与插入方向垂直的非零方向分量地引导到超过所述侧边的外侧区域，并且其中所述导向体包括：-第二导向部，用于将所述管线从所述外侧区域以垂直所述平面的非零方向分量地引导朝向所述管线导向体的倾斜边。本文中的术语“投影束”或“射束”是指辐射射束，其可以由带电粒子(例如，电子或离子)流和/或光辐射(例如，X射线或UV辐射)的射束形成。术语“射束”和“小射束”可以互换使用，尽管术语“小射束”可能暗含得到的射束是从较大的主射束(例如，使用具有多个比较小的孔径的掩模板从较大电子射束中提取多个小射束)中提取出来的意思。本文中使用的术语“管线”具有较宽的含义，并且覆盖具有相对于它们的长度比较小的截面的各种各样的细长管状结构，并且被布置成用于在源设备和目的设备之间传递物质和/或能量。示例性的管线由布线(例如，单线)和电缆(例如，股线，同轴)形成，包括导电材料，用于传递电力和/或控制和/或测量信号，光纤(例如，用于传递光控制和/或测量信号)，以及流体传输管(例如，用于传递冷却流体)。第一导向部将管线向侧面且平行于平面地引导远离透镜支撑体，朝向位于超过透镜支撑体侧边的外侧区域。第一导向部确保位于透镜支撑体正上方和/或下方的空间保持通畅并且可用于其它投影模块，其它投影模块也可以沿着插入方向线性插入到目标处理单元的载物架中。应注意，第二导向部可以具有允许管线的横向路径从平面指向上述平面上方或下方的倾斜边的各种形状中的任意一个，只要得到的形状沿着插入方向具有线性对称就可以。这涉及倾斜和/或弯曲的形状(图示为垂直于插入方向的平面中的突起)。通过将管线从外侧区域以垂直于平面的非零方向分量朝向管线导向体的倾斜边引导，管线的(优选地，有弹性的)远端可以随后在平行于插入方向的方向弯回。即使管线远端既在横向方向又在竖直方向上均与管线近端(即，位于透镜支撑体处)有一定位移，整个投影透镜组件可以根据连接管线的需要，经由沿着插入方向的同一线性运动被插入到载物架中。换言之，管线端可以沿着向载物架插入/从载物架移除投影透镜组件的同一方向连接到载物架内的连接区域或者从其上拆除。同样，第二导向部使得在将管线沿着投影列以主要垂直的方向(例如，竖直方向)引导远离所述平面时所述管线占据最小的宽度，减少了(用于投影列和管线的)所需的总宽度。作为以上的结果，操作者或者维修技工可以用一只手容易地定位/移除透镜支撑体，同时使用另一只手来将管线远端安装到其连接点或从其连接点移除。要求保护的导向布置有利于模块化构造和投影列的维护(结果得到最短的关机时间)，同时允许投影列横向尺寸以及投影列部件(因此还有竖直尺寸)之间的竖直距离保持最小。此外，应注意，最小化投影列的竖直尺寸是在光刻或者其他目标处理应用中是特别需要的，在这种情况下，对处理的真空要求是严格的，并且对应于处理单元所覆盖的区域的制造车间空间是非常昂贵的。典型地，在目标处理单元的处理真空腔室中，竖直空间比水平空间更容易变得可用。这样，提出的带有电缆导向布置的投影透镜组件，电缆导向布置使得各种管线能够经由沿着插入方向的运动被(断开)连接到沿着投影列竖直布置的板连接器，有利于维护以及减少与生产车间的空间有关的生产成本。根据一个实施例，管线被容纳在管线导向体内部，并且管线导向体的外部基本上沿着插入方向线性对称。导向体主要沿着插入方向线性对称，使得透镜支撑体和管线导向体二者都能够线性滑进互补的线性对称开孔或者配合(可能)设置在载物架上/内。保持管线一起处于这种线性对称配置将会极大地减少在插入和移除投影透镜组件过程中生成的机械摩擦。术语“线性对称”这里用作广义的含义。导向体的线性对称应该被理解为还涵盖导向部的歪斜或不规则形状，假设垂直于插入方向的导向部的横截面始终配合到载物架中的线性对称的开孔内，和/或在载物架和投影列的其他模块之间所限定的空间中。根据一个实施例，管线以局部平行布置被容纳在导向体内。短语“局部平行布置”这里用来指示相邻管线的局部切向量(即，方向向量)指向相同方向。以这种方式，管线将永远不会在导向体内彼此相交，这使得最小高度的导向体最大化了投影透镜组件以上和/或以下的可用于插入其他投影模块的空间。根据一个实施例，透镜支撑体、第一导向部和被透镜支撑体和第一导向部容纳或容纳在它们之中的管线部分整个被以垂直方向限定在平行于上述平面的第一平面与第二平面之间。以这种方式，透镜支撑体和第一导向部(其容纳管线)的高度被最小化到仅对应于管线的典型直径的必须的厚度以及当管线限定在平面配置时支撑体承载组合重量所需的厚度。优选地，连接区域形成透镜支撑体后缘。根据一个实施例，透镜支撑体包括主要为多边形的刚性的支撑板，设置有两个相对的侧边，该两个相对的侧边均平行于插入方向，并且其中后缘本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种目标处理单元(10)，包括：‑用于容纳待处理目标的真空腔室(30)；‑在所述真空腔室(30)内的投影列(46)，用于生成射束并将所述射束朝向所述目标(31)投影；‑在所述真空腔室(30)内的设备；‑管线(26、37、60)，用于将投影列连接至在所述真空腔室(30)外部的相应设备(22)；和‑与所述管线(26、37、60)不同的另外的管线(110)，用于将所述设备连接至在所述真空腔室(30)外部的相应设备(22)，其中所述管线(26、37、60)延伸穿过所述真空腔室的上侧，并且其中所述另外的管线(110)延伸穿过所述真空腔室的下侧。

【技术特征摘要】
2013.09.07 US 61/875,0161.一种目标处理单元(10)，包括：-用于容纳待处理目标的真空腔室(30)；-在所述真空腔室(30)内的投影列(46)，用于生成射束并将所述射束朝向所述目标(31)投影；-在所述真空腔室(30)内的设备；-管线(26、37、60)，用于将投影列连接至在所述真空腔室(30)外部的相应设备(22)；和-与所述管线(26、37、60)不同的另外的管线(110)，用于将所述设备连接至在所述真空腔室(30)外部的相应设备(22)，其中所述管线(26、37、60)延伸穿过所述真空腔室的上侧，并且其中所述另外的管线(110)延伸穿过所述真空腔室的下侧。2.如权利要求1所述的目标处理单元，其中所述真空腔室内的所述设备包括用于支撑所述目标的定位系统(114)，其中所述定位系统相对于所述投影列可移动地布置，并且其中所述定位系统和所述投影列在空间上占据所述真空腔室的不同部分。3.如权利要求1所述的目标处理单元，其中所述真空腔室(30)包括真空壳体(39)，所述真空壳体(39)限定第一壁、和与所述第一壁相对的第二壁，其中所述第一壁和第二壁共同界定前腔室侧，所述前腔室侧带有用于将所述投影列(46)插入到所述真空腔室中和从其中移除的开口，其中所述第一壁形成所述真空腔室的所述上侧，且其中所述第二壁形成所述真空腔室的所述下侧。4.如权利要求1所述的目标处理单元，其中所述另外的管线(110)沿着所述真空腔室的侧壁被引导至所述真空腔室的下侧。5.如权利要求4所述的目标处理单元，其中第二管线导向组件(140)沿着真空腔室的侧壁(144)设置，从所述上侧延伸到真空腔室的下侧，用于引导所述另外的管线(110)。6.如权利要求1所述的目标处理单元，其中所述管线被引导到至少部分地位于所述真空腔室的外部的接入端口(36)，用于可拆卸地连接所述相应设备(22)。7.如权利要求1所述的目标处理单元，其中所述管线被引导到位于所述真空腔室内的连接器板(48)，用于可拆卸地连接所述所述投影列(46)的一个或多个部分(50、90、96、100)。8.如权利要求6或权利要求7所述的目标处理单元，其中所述接入端口(36)和所述连接器板(48)经由一个或多个中间管线(37)振动/运动解耦合连接，所述管线包括所述一个或多个中间管线(37)。9.如权利要求8所述的目标处理单元，其中所述中间管线(37)被配置成在操作过程中提供在所述接入端口(36)与所述连接器板(48)之间的电和/或光信号连接，并且其中所述中间管线设置有弯曲的有弹性的中间管线部分(37a,37b)，该中间管线部分配置成提供在所述接入端口(36)与所述连接器板(48)之间的振动/运动解耦合。10.如权利要求8所述的目标处理单元，其中所述真空腔室(30)包括：-真空壳体(39)，其被布置成用于在真空腔室(30)内提供真空环境，-在所述真空壳体(39)内的支持壳体(40)，其被布置成用于支撑载物壳体，和-在所述支持壳体(40)内的所述载物壳体(41)，其被布置成用于支撑所述投影列(46)，其中所述连接器板(48)附接到所述载物壳体(41)的内侧，其中第二附接构件(34b)连接到所述载物壳体(41)的外侧，所述一个或...

【专利技术属性】
技术研发人员：JJ科宁，DJ范登伯根，
申请(专利权)人：迈普尔平版印刷IP有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰,NL