燕尾托板自动化提升装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开的燕尾托板自动化提升装置，包括提升机构、夹持机构以及控制提升机构和夹持机构动作的控制器，夹持机构包括设置于移动工作台下端的相对设置的左侧滚珠丝杠和右侧滚珠丝杠，移动工作台由控制器控制提升机构带动升降，控制器控制左侧滚珠丝杠和右侧滚珠丝杠相向运动夹持放置于脱胶小车上的燕尾托板。本实用新型专利技术的燕尾托板自动化提升装置解决了现有的人工搬运燕尾托板存在的搬运效率低以及容易磕碰工件的问题。本实用新型专利技术的燕尾托板自动化提升装置代替了原来人工抬取搬运托板的工作，变成自动运行，定位精确，运行平顺，提高了搬运效率，通过约束工装移动的轨迹，避免了与硅片的碰撞和擦碰，提高了硅片质量。

Automatic lifting device for dovetail plate

A pallet automation lifting device disclosed by the utility model comprises a lifting mechanism and a clamping mechanism and a controller for controlling the lifting mechanism and the clamping mechanism of action of the clamping mechanism comprises oppositely arranged left and right ball screw arranged on the movable table at the lower end of the ball screw rod, movable table is controlled by a controller drives the lifting lifting mechanism. Control of left and right dovetail plate ball screw ball screw clamp is placed in the forward motion of the car degumming. The utility model of the lifting device automation dovetail plate solves the existing manual handling pallet handling dovetail with low efficiency and easy to bump the workpiece. The utility model of the lifting device automation dovetail plate instead of the original manual lifted handling pallets, into automatic operation, accurate positioning, running smoothly, improve the handling efficiency, moving through the constraints of tooling path, avoid collision and wipe the silicon touch, improves the quality of silicon wafers.

【技术实现步骤摘要】
燕尾托板自动化提升装置
本技术属于自动化设备
，具体涉及一种燕尾托板自动化提升装置。
技术介绍
硅棒加工硅片过程中在脱胶工段，需要搬运工装燕尾托板。传统的搬运燕尾托板，以人工为主，工装的提升和挪动均通过人力来实现。工装的人工作业主要存在两方面的缺陷：一是人工提升工装，由于定位不准易造成硅片的磕碰损伤；二是工装重量大，对人员的体力是一种挑战，搬运效率低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种燕尾托板自动化提升装置，解决了现有的人工搬运燕尾托板存在的搬运效率低以及容易磕碰工件的问题。本技术所采用的技术方案是：燕尾托板自动化提升装置，包括提升机构、夹持机构以及控制提升机构和夹持机构动作的控制器，夹持机构包括设置于移动工作台下端的相对设置的左侧滚珠丝杠和右侧滚珠丝杠，移动工作台由控制器控制提升机构带动升降，控制器控制左侧滚珠丝杠和右侧滚珠丝杠相向运动夹持放置于脱胶小车上的燕尾托板。本技术的特点还在于，提升机构包括连接于移动工作台的齿轮齿条提升结构，齿轮齿条提升结构由提升伺服电动机驱动后带动移动工作台完成升降动作。提升机构还包括设置于齿轮齿条提升机构上的提升距离传感器，控制器通过提升距离传感器确认升降位置。夹持机构的左侧滚珠丝杠和右侧滚珠丝杠分别对应由左侧伺服电动机和右侧伺服电动机驱动相向或相离运动。夹持机构的左侧滚珠丝杠和右侧滚珠丝杠上分别对应设置有左侧夹持传感器和右侧夹持传感器，控制器通过左侧夹持传感器和右侧夹持传感器确定左侧滚珠丝杠和右侧滚珠丝杠相向或相离的距离。脱胶小车上设置有定位工装，定位工装包括小车定位传感器，控制器通过小车定位传感器获取脱胶小车的确切位置。本技术的有益效果是：本技术的燕尾托板自动化提升装置解决了现有的人工搬运燕尾托板存在的搬运效率低以及容易磕碰工件的问题。本技术的燕尾托板自动化提升装置代替了原来人工抬取搬运托板的工作，变成自动运行，定位精确，运行平顺，提高了搬运效率，通过约束工装移动的轨迹，避免了与硅片的碰撞和擦碰，有助于提高硅片生产质量，实用性强，适应性强。附图说明图1是本技术的燕尾托板自动化提升装置的结构示意图。图中，1.提升机构，2.夹持机构，3.燕尾托板，4.定位工装，5.脱胶小车，11.提升距离传感器，12.提升伺服电动机，13.齿轮齿条提升结构，21.左侧滚珠丝杠，22.左侧夹持传感器，23.右侧夹持传感器，24.右侧滚珠丝杠，25.右侧伺服电动机，26.左侧伺服电动机，27.移动工作台。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术进行详细说明。本技术提供的燕尾托板自动化提升装置的结构如图1所示，包括设置于脱胶小车5上的定位工装4，定位工装4上安装有小车定位传感器，提升装置1包含提升距离传感器11、齿轮齿条提升结构13和提升伺服电动机12，燕尾托板夹持机构2包含左侧伺服电动机26、左侧滚珠丝杠21、左侧夹持传感器22、右侧夹持传感器23、右侧滚珠丝杠24、右侧伺服电动机25与移动工作台27相连。移动工作台27与齿轮齿条提升结构13相连。控制器(图未示)和提升伺服电动机12、左侧伺服电动机26、右侧伺服电动机25、提升距离传感器11、左侧夹持传感器22、右侧夹持传感器23、小车定位传感器(图未示)相连。本技术的燕尾托板自动化提升装置工作过程如下：定位工装4上的小车定位传感器获得脱胶小车5的位置感应信号后将其送入控制器，然后控制器传送信号给提升伺服电动机12以驱动齿轮齿条提升结构13带动移动工作台27开始下降，下降到指定位置后，触发提升距离传感器11，感应信号送入控制器，控制器控制伺服电动机12停止转动保持不变，此时提升机构下降过程完成并开始燕尾托板夹持过程。控制器传送开始信号给燕尾托板夹持机构2的左侧伺服电动机26和右侧伺服电动机25，然后电动机分别驱动左侧滚珠丝杠21和右侧滚珠丝杠24相向而行夹持燕尾托板3，直到燕尾托板3分别触发左侧夹持传感器22和右侧夹持传感器23；两个传感器将停止信号传递给控制器，控制器控制左侧伺服电动机26和右侧伺服电动机25停止运转保持不变，此时夹持过程完成并开始提升过程。控制器传送提升信号给提升伺服电动机12以驱动齿轮齿条提升结构13带动移动工作台27上升到指定位置后，触发提升距离传感器11，将感应信号送入控制器，控制器控制伺服电动机12停止转动保持不变，此时提升机构上升过程完成。本文档来自技高网...

【技术保护点】
燕尾托板自动化提升装置，其特征在于，包括提升机构(1)、夹持机构(2)以及控制所述提升机构(1)和夹持机构(2)动作的控制器，所述夹持机构(2)包括设置于移动工作台(27)下端的相对设置的左侧滚珠丝杠(21)和右侧滚珠丝杠(24)，所述移动工作台(27)由所述控制器控制提升机构(1)带动升降，所述控制器控制所述左侧滚珠丝杠(21)和右侧滚珠丝杠(24)相向运动夹持放置于脱胶小车(5)上的燕尾托板(3)。

【技术特征摘要】
1.燕尾托板自动化提升装置，其特征在于，包括提升机构(1)、夹持机构(2)以及控制所述提升机构(1)和夹持机构(2)动作的控制器，所述夹持机构(2)包括设置于移动工作台(27)下端的相对设置的左侧滚珠丝杠(21)和右侧滚珠丝杠(24)，所述移动工作台(27)由所述控制器控制提升机构(1)带动升降，所述控制器控制所述左侧滚珠丝杠(21)和右侧滚珠丝杠(24)相向运动夹持放置于脱胶小车(5)上的燕尾托板(3)。2.如权利要求1所述的燕尾托板自动化提升装置，其特征在于，所述提升机构(1)包括连接于移动工作台(27)的齿轮齿条提升结构(13)，所述齿轮齿条提升结构(13)由提升伺服电动机(12)驱动后带动移动工作台(27)完成升降动作。3.如权利要求2所述的燕尾托板自动化提升装置，其特征在于，所述提升机构(1)还包括设置于齿轮齿条提升结构(13)上的提升距离传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：景涛，吴亚兵，李钊，李小锋，李小锋，贺迪，姚琪，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61