划片设备制造技术

提供根据本发明专利技术的示例性实施例的一种划片设备，用以减少运送基板和调整基板的位置所需的时间和空间，该划片设备可以包括：基板支撑单元，其支撑由基板供应单元供应的基板；装载台，其设置在基板支撑单元之下；划片单元，其设置在装载台的一侧并在基板上形成划片线；以及基板运送单元，其将放置在装载台上的基板运送到划片单元；以及基板传递单元，其将基板从基板支撑单元传递到装载台，其中基板支撑单元形成供基板穿过的开口，以便基板传递单元通过该开口将基板传递到装载台，且基板传递单元包括位置调整单元，该位置调整单元在基板传递单元将基板传递到装载台的同时调整基板的位置，使得基板的位置与基板将被定位在装载台上的准确位置一致。

Dicing equipment

Provide a scribing device according to exemplary embodiments of the present invention, to reduce the need for transporting substrate and adjustment of the position of the substrate in time and space, the scribing device may include a substrate supporting unit, which is supported by the substrate supply unit supplies; loading station, which is arranged in the substrate supporting unit; scribing the unit is arranged on one side of the loading station and formed on a substrate scribing line; and substrate transport unit, which will be placed in the loading stage substrate transported to the scribing unit; and a substrate transfer unit, the substrate from the substrate supporting unit is transferred to the loading platform, wherein the substrate support unit for forming an opening through the substrate. In order to substrate transfer unit through the substrate transfer opening to the loading platform, and the substrate transfer unit includes a position adjusting unit, the position adjusting unit in substrate transfer The unit transfers the substrate to the loading table and adjusts the position of the substrate, so that the position of the substrate is consistent with the accurate position of the substrate to be positioned on the loading platform.

【技术实现步骤摘要】
划片设备
本专利技术涉及一种在基板上形成划片线以便切割基板的划片设备。
技术介绍
一般而言，用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光面板、无机电致发光面板、透射投影基板、反射投影基板等是通过使用单元玻璃面板(下文中，称为“单元基板”)制造，单元玻璃面板是通过将脆性母体玻璃面板(下文中，称为“基板”)切割成预定尺寸而制成。切割基板的处理(工艺)包括：划片处理，通过用预定按压力将由诸如金刚石的硬质材料制成的划片轮压在基板上，并沿着预定切割线(基板将沿着该预定切割线进行切割)移动该划片轮来形成划片线；以及裂片处理，通过沿着该划片线按压基板来切割基板以便获得单元基板。在相关技术中的划片设备的情况下，用于供应基板的装置、用于对齐供应的基板的装置、用于将对齐的基板运送到划片处理的装置、以及用于执行划片处理的装置水平地布置成一行，其结果是，存在需要较大空间来安装这些装置，以及因此执行划片处理所需的成本增加的问题。此外，如图1中所示，在相关技术中的划片设备的情况下，基板S被放置在工作台200上，多个按压构件300物理推压基板S的横向侧，从而对准基板S。其结果是存在这样的问题，当基板被按压构件300推压和移动(和/或旋转)时，会对基板S的与工作台200接触的表面引起诸如刮擦的损坏。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种划片设备，其能够防止在对准基板的处理中对基板的损坏。本专利技术还旨在提供一种划片设备，其能够减少运送和对准基板所需的时间和空间。本专利技术的示例性实施例提供了一种划片设备，包括：基板支撑单元，其支撑由基板供应单元供应的基板；装载台，其设置在基板支撑单元之下；划片单元，其设置在装载台的一侧并在基板上形成划片线；基板运送单元，其将放置在装载台上的基板运送到划片单元；以及基板传递单元，其将基板从基板支撑单元传递到装载台，其中基板支撑单元形成供基板穿过的开口，以便基板传递单元通过该开口将基板传递到装载台，且基板传递单元包括位置调整单元，该位置调整单元在基板传递单元将基板传递到装载台的同时调整基板的位置，使得基板的位置与基板将被定位在装载台上的准确位置一致。根据本专利技术的示例性实施例的划片设备，在基板被基板保持构件保持的状态下，基板传递单元的基板保持构件被位置调整单元旋转或沿X轴方向或Y轴方向移动，其结果是，基板S的位置可被调整。因此，基板的位置可被调整而无需物理地按压基板的一部分来定位基板，其结果是，在定位和对准基板的过程期间能够防止基板被损坏。根据本专利技术的示例性实施例的划片设备，基板支撑单元和装载台被设置在相同的竖直线上，且基板传递单元可将基板直接传递到装载台，同时位置调整单元调整基板的位置，其结果是，能够减少运送基板和调整基板的位置所需的时间，并提高划片设备的空间利用率。附图说明图1是示意性示出相关技术中的用于对准基板的设备的侧视图。图2是示意性示出根据本专利技术的示例性实施例的划片设备的侧视图。图3是示意性示出图2中所示的划片设备的俯视图。图4和图5是示意性示出图2中所示的划片设备的基板支撑单元的俯视图。图6和图7是示意性示出位置调整单元的视图，该位置调整单元被设置在图2中所示的划片设备的基板传递单元中。图8到图10是用于说明图6和图7中所示的位置调整单元的操作的示意图。图11到图14是用于说明图2中所示的划片设备的操作的示意图。具体实施方式在下文中，将参照附图描述根据本专利技术的示例性实施例的划片设备。如图2和图3所示，根据本专利技术的示例性实施例的划片设备包括：基板供应单元10，其从外部供应基板S；基板支撑单元20，由基板供应单元10供应的基板S被支撑在基板支撑单元20上；装载台30，其设置在基板支撑单元20之下；划片单元50，其设置在装载台30的一侧并在基板S上形成划片线；基板运送单元60，其将放置在装载台30上的基板S运送到划片单元50；以及基板传递单元70，其将基板S从基板支撑单元20传递到装载台30。作为示例，如图2中所示，基板供应单元10可包括多个运送带或运送辊，使得基板S通过带或辊的旋转被供应到基板支撑单元20。作为另一示例，基板供应单元10可被构造成，通过夹持或真空抽吸来保持基板S，且随后将基板S供应到基板支撑单元20。作为示例，如图2到图5所示，基板支撑单元20可包括多条运送带22。作为另一示例，基板支撑单元20可包括多个辊，或者包括向基板S喷射空气以便浮起基板S的多个气动工作台(airtable，空气台)。基板支撑单元20可形成供基板S穿过的开口21，使得基板传递单元70可通过开口21将基板S传递到装载台30。为此，如图5所示，基板支撑单元20的多条带22可构造成沿着轴23、在垂直于基板S被运送的方向(X轴方向)的方向(Y轴方向)上移动。为了沿Y轴方向移动所述多条带22，线性运动机构24(比如通过气压或液压操作的致动器、通过电磁相互作用操作的线性电机、或滚珠丝杠机构)可通过轴23连接到所述多条带22。装载台30和基板支撑单元20可被设置在相同的竖直线上。因此，基板传递单元70可通过从基板支撑单元20向下移动来将基板S直接地传递到装载台30。装载台30提供一个区域，基板S在该区域被装载到划片单元50。同时，卸载台40可被设置在装载台30的基于划片单元50的相对侧，该卸载台40提供一个区域，具有由划片单元50形成的划片线的基板S在该区域从划片单元50被卸载。装载台30和卸载台40可分别包括多条带32、42。所述多条带32、42可沿Y轴方向被彼此隔开。每条带32或42均由多个辊33或43支撑，且所述多个辊33或43中的至少一个辊可以是驱动辊，该驱动辊提供驱动力以使每条带32或42旋转。划片单元50可包括：框架51，其沿Y轴方向延伸；以及划片头52，其安装在框架51上从而能够沿Y轴方向移动。多个划片头52可沿Y轴方向以预定间隔设置在框架51上。这些划片头52可被设置在基板S的上方和下方从而彼此面对。然而，本专利技术并不局限于此，划片头52可被设置在基板S的上方或下方。每个划片头52均设有用于在基板S的表面上形成划片线的划片轮53。举例来说，一对划片头52可被设置在基板S的上方和下方从而彼此面对，由此一对划片轮53可被设置在基板S的上方和下方从而彼此面对。因此，在这对划片轮53被压靠在基板S的上表面和下表面上的状态下，通过基板S相对于划片头52的相对运动和/或划片头52相对于基板S的相对运动，多条划片线可被分别地形成在基板S的上表面和下表面上。基板运送单元60可包括：保持基板S的保持构件61；以及沿X轴方向延伸的导轨62。线性运动机构(比如通过气压或液压操作的致动器、通过电磁相互作用操作的线性电机、或滚珠丝杠机构)可被设置在保持构件61与导轨62之间。因此，在保持构件61保持基板S的状态下，随着保持构件61通过线性运动机构沿X轴方向移动，基板S可沿X轴方向被运送。在这种情况下，带32配合着保持构件61的移动而旋转，因此可稳定地支撑基板S的下表面。保持构件61可以是物理地按压并且保持基板S的后缘的夹具。然而，本专利技术并不局限于此，保持构件61可设有与真空源连接的至少一个真空孔，且可构造成通过抽吸来保持基板S的后缘。导轨62可被设置在多条带32之间。导轨62用于引导保持构件61沿X轴方向的移动。基板传递单元70可包括：基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种划片设备，包括：基板支撑单元，其支撑由基板供应单元供应的基板；装载台，其设置在所述基板支撑单元之下；划片单元，其设置在所述装载台的一侧并在所述基板上形成划片线；基板运送单元，其将放置在所述装载台上的所述基板运送到所述划片单元；以及基板传递单元，其将所述基板从所述基板支撑单元传递到所述装载台，其中，所述基板支撑单元形成供所述基板穿过的开口，以便所述基板传递单元通过所述开口将所述基板传递到所述装载台，且所述基板传递单元包括位置调整单元，所述位置调整单元在所述基板传递单元将所述基板传递到所述装载台的同时调整所述基板的位置，使得所述基板的位置与所述基板将被定位在所述装载台上的准确位置一致。

【技术特征摘要】
2016.04.07 KR 10-2016-00427491.一种划片设备，包括：基板支撑单元，其支撑由基板供应单元供应的基板；装载台，其设置在所述基板支撑单元之下；划片单元，其设置在所述装载台的一侧并在所述基板上形成划片线；基板运送单元，其将放置在所述装载台上的所述基板运送到所述划片单元；以及基板传递单元，其将所述基板从所述基板支撑单元传递到所述装载台，其中，所述基板支撑单元形成供所述基板穿过的开口，以便所述基板传递单元通过所述开口将所述基板传递到所述装载台，且所述基板传递单元包括位置调整单元，所述位置调整单元在所述基板传递单元将所述基板传递到所述装载台的同时调整所述基板的位置，使得所述基板的位置与所述基板将被定位在所述装载台上的准确位置一致。2.根据权利要求1所述的划片设备，其中，所述基板传递单元被置于所述基板支撑单元的上方，且通过从所述基板支撑单元向下移动穿过所述开口将所述基板直接传递到所述装载台。3.根据权利要求1所述的划片设备，还包括：位置检测单元，其检测由所述基板传递单元保持的所述基板的至少一部分的位置。4.根据权利要求3所述的划片设备，其中，所述位置检测单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉铉，河完龙，金学成，金孝珍，马硕贤，金欣，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR