检查方法及检查装置制造方法及图纸

检查装置具备：测试单元，其对半导体设备施加刺激信号；MO晶体，其与半导体设备相对地配置；光源，其输出光；光扫描器，其将光源所输出的光照射至MO晶体；光检测器，其检测自与半导体设备(D)相对地配置的MO晶体反射的光，并输出检测信号；及计算机，其基于根据刺激信号生成的参照信号与检测信号的相位差，生成包含表示相位差的相位成分的相位图像数据，并根据该相位图像数据，生成表示电流的路径的图像。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查方法及检查装置
本专利技术的一个方面涉及测量对象物的检查方法及检查装置。
技术介绍
作为检查测量对象物的技术，有将自光源出射的光照射至测量对象物，并利用光传感器检测来自测量对象物的测量光(反射光)而获取检测信号的光探测技术。在这样的光探测技术中，已知有如下方法：将磁光(MO：Magneto-Optical)晶体与测量对象物的光照射面相对配置，检测与MO晶体的磁光效应相应的反射光，由此获取检测信号(例如专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特表2013-544352号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题上述专利文献1中，基于表示所检测出的反射光的振幅(反射光的强度)的振幅(强度)像而获取金属表面的电流路径，从而特定金属上的故障部位。此处，反射光的振幅容易因磁光晶体的厚度的不均或磁光晶体的损伤等噪声成分的影响而发生变化。因此，根据振幅像获取电流路径的方法中，存在无法高精度地获取电流路径的情况。因此，本专利技术的一个方面的目的在于，提供一种能够高精度地获取电流路径的检查方法及检查装置。解决问题的技术手段一个方面所涉及的检查方法是通过对测量对象物施加刺激信号而获取测量对象物所产生的电流的路径的方法。该检查方法包括以下步骤：对测量对象物施加刺激信号的步骤；对与测量对象物相对地配置的磁光晶体照射光的步骤；检测对应于所照射的光而自磁光晶体反射的光，并输出检测信号的步骤；基于根据刺激信号生成的参照信号与检测信号的相位差而生成包含表示相位差的相位成分的相位图像数据的步骤；及基于相位图像数据生成表示电流的路径的图像的步骤。另外，一个方面所涉及的检查装置是通过对测量对象物施加刺激信号而获取测量对象物所产生的电流的路径的装置。该检查装置具备：信号施加部，其对测量对象物施加刺激信号；磁光晶体，其与测量对象物相对地配置；光源，其输出光；照射光学系统，其对磁光晶体照射自光源输出的光；光检测器，其检测对应于照射光学系统所照射的光而自磁光晶体反射的光，并输出检测信号；解析部，其基于根据刺激信号生成的参照信号与检测信号的相位差而生成包含表示相位差的相位成分的相位图像数据；及电流路径图像生成部，其基于相位图像数据，生成表示电流的路径的图像。该检查方法及检查装置中，对测量对象物施加刺激信号。另外，基于自与测量对象物相对地配置的磁光晶体反射的光输出检测信号。然后，根据基于根据刺激信号的参照信号与检测信号的相位差的相位图像数据，生成表示电流的路径的图像。例如，若对测量对象物施加刺激信号，则电流在测量对象物内的电流路径流动，且产生与该电流相应的磁场。磁光晶体使反射光的偏振状态根据测量对象物的磁场而变化。因此，测量对象物中的电流路径的反射光的偏振状态与其他部位的反射光的偏振状态不同。因此，电流路径的反射光所涉及的检测信号和其他部位的反射光所涉及的检测信号中，与参照信号的相位差不同。此处，电流路径的反射光所涉及的检测信号与参照信号的相位差成为特定的值。具体而言，该特定的值实质上成为与对应于电流而产生的磁场贯通磁光晶体的方向的正负相应的2个值中的任一值。另一方面，其他部位的反射光所涉及的检测信号与参照信号的相位差成为随机值而非特定的值。因此，在基于相位差的相位图像数据中，包含相位差为特定的2个值中的任一值的部位、及相位差为随机值的部位。因此，在基于该相位图像数据生成的表示电流的路径的图像中，明确地区别显示有表示电流的路径的部位即相位差为特定的2个值中的任一值的部位、及非电流的路径的部位即相位差为随机值的部位，从而高精度地获取电流的路径。再有，这样的相位差的信息与以信号的有无的形式被数字化同等，不易因磁光晶体的厚度的不均及磁光晶体的损伤等噪声成分的影响而发生变化。另外，由于表示电流的路径的部位的相位差成为特定的2个值中的任一值，因而电流路径的特定较为容易，特定精度得以提高。根据以上所述，与根据振幅像获取电流路径的情况相比较，能够高精度地获取电流路径。另外，在一个方面所涉及的检查方法中，也可为生成表示电流的路径的图像的步骤包括基于相位图像数据生成表示相位成分的统计值的统计值图像数据的步骤，并基于统计值图像数据生成表示电流的路径的图像。另外，在一个方面所涉及的检查装置中，也可为电流路径图像生成部基于相位图像数据生成表示相位成分的统计值的统计值图像数据，并基于统计值图像数据生成表示电流的路径的图像。在电流路径部位，相位差成为特定的2个值。即，在电流路径部位，相位差偏向。另一方面，在其他部位，相位差成为随机值。即，在其他部位，相位差散乱。因此，通过进行统计处理，能够使电流路径与其他部位的差异更明确，从而能够高精度地获取电流路径。另外，在一个方面所涉及的检查方法及检查装置中，也可为，统计值为方差、偏度、及峰度中的任一种。由此，能够使电流路径与除此以外的部位的差异更明确，从而能够高精度地获取电流路径。另外，在一个方面所涉及的检查方法中，也可为，生成表示电流的路径的图像的步骤包括基于相位图像数据生成表示正弦成分的正弦图像数据、及表示余弦成分的余弦图像数据的步骤，并基于正弦图像数据及余弦图像数据生成表示电流的路径的图像。另外，在一个方面所涉及的检查装置中，也可为，电流路径图像生成部基于相位图像数据生成表示正弦成分的正弦图像数据、及表示余弦成分的余弦图像数据，并基于正弦图像数据及余弦图像数据生成表示电流的路径的图像。在相位差为-π的情况及为+π的情况下，实际上为相互连续相连的值，但在作为相位成分表示的情况下，亮度值相互成为差异较大的值。关于该点，在表示相位成分的正弦成分或余弦成分的图像数据中，能够使相互连续相连的相位差所涉及的相位成分的亮度值成为相互接近的值。由此，能够基于相位图像数据高精度地获取电流路径。再有，由于生成正弦成分及余弦成分的两者的图像数据，因而与仅任一者的情况相比较，能够增加用于生成表示电流的路径图像的信息量。由此，能够更高精度地获取电流路径。另外，在一个方面所涉及的检查方法中，也可为，生成表示电流的路径的图像的步骤包括对正弦图像数据及余弦图像数据进行相加、相乘、及平方和的平方根的任一种运算的步骤。另外，在一个方面所涉及的检查装置中，也可为，电流路径图像生成部对正弦图像数据及余弦图像数据进行相加、相乘、及平方和的平方根的任一种运算。通过进行这些运算，能够协同地使用正弦图像数据及余弦图像数据的两者的数据，恰当地生成表示电流的路径的图像。另外，在一个方面所涉及的检查方法中，也可为，生成表示电流的路径的图像的步骤包括基于正弦图像数据生成表示正弦成分的统计值的正弦统计值图像数据的步骤、及基于余弦图像数据生成表示余弦成分的统计值的余弦统计值图像数据的步骤，并基于正弦统计值图像数据及余弦统计值图像数据生成表示电流的路径的图像。另外，在一个方面所涉及的检查装置中，也可为，电流路径图像生成部基于正弦图像数据生成表示正弦成分的统计值的正弦统计值图像数据，基于余弦图像数据生成表示余弦成分的统计值的余弦统计值图像数据，并基于正弦统计值图像数据及余弦统计值图像数据生成表示电流的路径的图像。由此，能够高精度地获取电流路径。另外，在一个方面所涉及的检查方法及检查装置中，也可为，参照信号自对测量对象物施加刺激信号的信号施加部输出。由此，能够容易且可靠地输出基于刺激信本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查方法，其特征在于，是通过对测量对象物施加刺激信号而获取所述测量对象物所产生的电流的路径的检查方法，包括：对所述测量对象物施加刺激信号的步骤；对与所述测量对象物相对地配置的磁光晶体照射光的步骤；检测对应于所照射的所述光而自所述磁光晶体反射的光，并输出检测信号的步骤；基于根据所述刺激信号生成的参照信号与所述检测信号的相位差，生成包含表示所述相位差的相位成分的相位图像数据的步骤；及基于所述相位图像数据，生成表示所述电流的路径的图像的步骤。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.10 JP 2015-0245851.一种检查方法，其特征在于，是通过对测量对象物施加刺激信号而获取所述测量对象物所产生的电流的路径的检查方法，包括：对所述测量对象物施加刺激信号的步骤；对与所述测量对象物相对地配置的磁光晶体照射光的步骤；检测对应于所照射的所述光而自所述磁光晶体反射的光，并输出检测信号的步骤；基于根据所述刺激信号生成的参照信号与所述检测信号的相位差，生成包含表示所述相位差的相位成分的相位图像数据的步骤；及基于所述相位图像数据，生成表示所述电流的路径的图像的步骤。2.如权利要求1所述的检查方法，其特征在于，生成表示所述电流的路径的图像的步骤包括基于所述相位图像数据，生成表示所述相位成分的统计值的统计值图像数据的步骤，基于所述统计值图像数据，生成表示所述电流的路径的图像。3.如权利要求1所述的检查方法，其特征在于，生成表示所述电流的路径的图像的步骤包括基于所述相位图像数据，生成表示正弦成分的正弦图像数据、及表示余弦成分的余弦图像数据的步骤，基于所述正弦图像数据及所述余弦图像数据，生成表示所述电流的路径的图像。4.如权利要求3所述的检查方法，其特征在于，生成表示所述电流的路径的图像的步骤包括对所述正弦图像数据及所述余弦图像数据进行相加、相乘、及平方和的平方根的任一种运算的步骤。5.如权利要求3或4所述的检查方法，其特征在于，生成表示所述电流的路径的图像的步骤包括基于所述正弦图像数据而生成表示所述正弦成分的统计值的正弦统计值图像数据的步骤、及基于所述余弦图像数据而生成表示所述余弦成分的统计值的余弦统计值图像数据的步骤，基于所述正弦统计值图像数据及所述余弦统计值图像数据，生成表示所述电流的路径的图像。6.如权利要求2或5所述的检查方法，其特征在于，所述统计值为方差、偏度、及峰度中的任一种。7.如权利要求1至6中任一项所述的检查方法，其特征在于，所述参照信号为相位及周期与所述刺激信号相等的信号。8.一种检查装置，其特征在于，是通过对测量对象物施加刺激信...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村共则，大高章弘，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP