加工喷嘴及激光加工装置制造方法及图纸

加工喷嘴(2)具有形成有流路(4)的外侧喷嘴(3)和嵌入至外侧喷嘴(3)的流路(4)的内侧喷嘴(5)，在该加工喷嘴(2)中，在内侧喷嘴(5)，形成对与外侧喷嘴(3)之间进行封闭的凸缘(11)，在凸缘(11)，形成使流路(4)的相对于凸缘(11)的上游侧和下游侧连通的通路(13)，在流路(4)的相对于凸缘(11)的下游还具有间隙形成部(9)，该间隙形成部(9)在与内侧喷嘴(5)之间形成间隙。

Processing nozzle and laser processing device

The processing nozzle (2) with a flow path (4) of the outer nozzle (3) and embedded into the outer nozzle (3) flow path (4) inside the nozzle (5), in the processing nozzle (2), on the inside of the nozzle (5), on the formation and the outer nozzle (3) between the sealing flange (11), (11) formed in the flange, so that the flow path (4) relative to the flange (11) pathway of the upstream and downstream communication (13), in the flow path (4) relative to the flange (11) downstream also has a gap forming part (9). The gap forming part (9) and in the inner nozzle (5) is formed between the gap.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】加工喷嘴及激光加工装置
本专利技术涉及在激光加工中使用的加工喷嘴及激光加工装置。
技术介绍
在使用从加工喷嘴射出的激光束进行激光加工的激光加工装置中，存在从加工喷嘴的前端喷出辅助气体的激光加工装置。从加工喷嘴喷出的辅助气体被吹送至被加工物的加工部位。作为激光加工装置的加工喷嘴，如专利文献1所示，存在将内侧喷嘴嵌入至外侧喷嘴的内侧的二重喷嘴式的加工喷嘴。在二重喷嘴式的加工喷嘴中，使辅助气体经过在内侧喷嘴的内侧形成的内侧流路、和在内侧喷嘴与外侧喷嘴之间形成的外侧流路的两者，从加工喷嘴的前端汇流而进行喷出。专利文献1：日本特开平11-90672号公报
技术实现思路
在二重喷嘴式的加工喷嘴中，通过对经过内侧流路的辅助气体的流量与经过外侧流路的辅助气体的流量的比率进行调整，由此实现向通过激光加工在被加工物形成的槽的内部和被加工物的表面供给充分且适量的辅助气体。通过向槽的内部及被加工物的表面供给充分且适量的辅助气体，由此实现激光加工的加工品质的提高。具体地说，通过对经过外侧流路的辅助气体的流量进行抑制，由此实现加工品质的提高。在这里，辅助气体穿过在内侧喷嘴形成的孔而供给至外侧流路。因此，通过使在内侧喷嘴形成的孔的大小变小，由此实现经过外侧流路的辅助气体的流量的抑制。然而，如果为了对流向外侧流路的辅助气体的流量进行抑制，将孔形成得较小，则会发生由于孔的加工精度的降低而造成的流量的波动、或者为了确保孔的加工精度所需的加工费用的增大。本专利技术就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于得到一种能够抑制制造成本、实现经过外侧流路的辅助气体的流量的抑制、实现激光加工的加工品质的提高的加工喷嘴。为了解决上述课题、实现目的，本专利技术涉及一种加工喷嘴，其具有形成有流路的外侧喷嘴和嵌入至外侧喷嘴的流路的内侧喷嘴，该加工喷嘴的特征在于，在内侧喷嘴，形成对与外侧喷嘴之间进行封闭的凸缘，在凸缘，形成使流路的相对于凸缘的上游侧和下游侧连通的通路，在流路的相对于凸缘的下游还具有间隙形成部，该间隙形成部在与外侧喷嘴之间、或者与内侧喷嘴之间形成间隙。专利技术的效果本专利技术涉及的加工喷嘴取得下述效果，即，能够抑制制造成本、实现经过外侧流路的辅助气体的流量的抑制、实现激光加工的加工品质的提高。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式1涉及的激光加工装置的概略结构的图。图2是实施方式1涉及的激光加工装置所具有的加工喷嘴的剖视图。图3是对实施方式1涉及的激光加工装置所具有的外侧喷嘴从激光束的入射侧进行观察的俯视图。图4是实施方式1涉及的激光加工装置所具有的外侧喷嘴的剖视图，且为沿图3所示的A-A线的矢向剖视图。图5是图4所示的外侧喷嘴的剖面斜视图。图6是对实施方式1涉及的激光加工装置所具有的内侧喷嘴从激光束的入射侧进行观察的俯视图。图7是实施方式1涉及的激光加工装置所具有的内侧喷嘴的剖视图，且为沿图6所示的B-B线的矢向剖视图。图8是表示实施方式1涉及的激光加工装置所具有的加工喷嘴的变形例的剖视图。图9是表示图8所示的加工喷嘴所具有的外侧喷嘴的变形例的剖面斜视图。图10是本专利技术的实施方式2涉及的加工喷嘴的剖视图。图11是本专利技术的实施方式3涉及的加工喷嘴的剖视图。图12是本专利技术的实施方式3涉及的加工喷嘴所具有的环状部件的俯视图。图13是本专利技术的实施方式3涉及的加工喷嘴所具有的环状部件的剖面斜视图。图14是表示实施方式3涉及的加工喷嘴的变形例的剖视图。图15是本专利技术的实施方式4涉及的加工喷嘴的剖视图。图16是对实施方式4涉及的加工喷嘴的孔从激光束的入射侧进行观察的俯视图。图17是表示内侧喷嘴的凸缘的形状的变形例的图。图18是表示内侧喷嘴的凸缘的形状的变形例的图。具体实施方式下面，基于附图对本专利技术的实施方式涉及的加工喷嘴及激光加工装置进行详细说明。此外，本专利技术并不限定于这些实施方式。实施方式1.图1是表示本专利技术的实施方式1涉及的激光加工装置的概略结构的图。激光加工装置100是对在保持台103所保持的被加工物101照射激光束102而进行激光加工的装置。激光加工装置100具有激光振荡器104、反射镜105、加工头1、以及辅助气体供给源106。激光振荡器104输出激光束102。反射镜105将从激光振荡器104输出的激光束102向加工头1侧进行反射。加工头1在内部具有加工透镜6。另外，加工头1在激光束102的射出侧具有加工喷嘴2。被反射镜105反射而射入至加工头1的激光束102由加工透镜6进行聚光。由加工透镜6聚光后的激光束102从加工喷嘴2射出而照射至被加工物101。辅助气体供给源106储存有向加工头1进行输送的加工气体即辅助气体，将辅助气体输送至气体通路107。辅助气体例如为氧气。气体通路107与在加工头1形成的供给口7连接。从辅助气体供给源106输送来的辅助气体穿过供给口7而供给至加工头1的内部。供给至加工头1的内部的辅助气体从加工喷嘴2喷出，吹送至被加工物101的被激光束102照射的位置。通过加工头1的移动或者保持台103的移动，使激光束102向被加工物101的照射位置进行变更，由此进行被加工物101的切断加工。下面，对进行激光束102的射出及辅助气体的喷射的加工喷嘴2进行详细说明。图2是实施方式1涉及的激光加工装置100所具有的加工喷嘴2的剖视图。加工喷嘴2具有：外侧喷嘴3，其呈筒状形状；以及内侧喷嘴5，其呈筒状形状，嵌入于外侧喷嘴3的内侧。图3是对实施方式1涉及的激光加工装置100所具有的外侧喷嘴3从激光束102的入射侧进行观察的俯视图。图4是实施方式1涉及的激光加工装置100所具有的外侧喷嘴3的剖视图，且为沿图3所示的A-A线的矢向剖视图。图5是图4所示的外侧喷嘴3的剖面斜视图。呈筒状形状的外侧喷嘴3的内侧成为辅助气体经过的流路4。外侧喷嘴3的内侧的形状为随着朝向将辅助气体喷出的喷出口21而变细。在外侧喷嘴3的内侧，形成将后面叙述的内侧喷嘴5的凸缘部进行嵌入的凸缘嵌入部8。在外侧喷嘴3的内侧，形成有向在凸缘嵌入部8中嵌入的凸缘凸出的环状凸出部9。环状凸出部9呈与外侧喷嘴3所呈的筒状形状的中心轴为同轴的圆环形状。此外，在下面的说明中，将外侧喷嘴3所呈的筒状形状的中心轴称为加工喷嘴2的中心轴。在环状凸出部9的前端，形成与内侧喷嘴5的凸缘进行抵接的抵接面9a。在环状凸出部9的抵接面9a，等间隔地形成有多个槽9b。槽9b是将环状凸出部9的外侧面和内侧面之间贯穿而形成的。图6是对实施方式1涉及的激光加工装置100所具有的内侧喷嘴5从激光束102的入射侧进行观察的俯视图。图7是实施方式1涉及的激光加工装置100所具有的内侧喷嘴5的剖视图，且为沿图6所示的B-B线的矢向剖视图。在内侧喷嘴5，形成对与外侧喷嘴3之间进行封闭的凸缘11。凸缘11的外侧面与外侧喷嘴3的内侧面抵接。在内侧喷嘴5中，从凸缘11向外侧喷嘴3的喷出口21凸出形成有呈筒状形状的筒状部12。筒状部12的内侧成为辅助气体经过的内侧流路10。筒状部12的前端即喷出口22与外侧喷嘴3的喷出口21相比位于流路4的内侧。内侧流路10随着朝向喷出口22而变细。如图2所示，通过将凸缘11嵌入至外侧喷嘴3的凸缘嵌入部8，即，将内侧喷嘴5嵌入至外侧喷嘴3的流路4，由此在筒状部12的外侧，流路4被凸缘11分为辅助气体的经过方向上的上游侧和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加工喷嘴，其具有形成有流路的外侧喷嘴和嵌入至所述外侧喷嘴的流路中的内侧喷嘴，该加工喷嘴的特征在于，在所述内侧喷嘴处，形成对与所述外侧喷嘴之间进行封闭的凸缘，在所述凸缘处，形成使所述流路的相对于所述凸缘的上游侧和下游侧连通的通路，在所述流路的相对于所述凸缘的下游还具有间隙形成部，该间隙形成部在与所述外侧喷嘴之间、或者与所述内侧喷嘴之间形成间隙。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种加工喷嘴，其具有形成有流路的外侧喷嘴和嵌入至所述外侧喷嘴的流路中的内侧喷嘴，该加工喷嘴的特征在于，在所述内侧喷嘴处，形成对与所述外侧喷嘴之间进行封闭的凸缘，在所述凸缘处，形成使所述流路的相对于所述凸缘的上游侧和下游侧连通的通路，在所述流路的相对于所述凸缘的下游还具有间隙形成部，该间隙形成部在与所述外侧喷嘴之间、或者与所述内侧喷嘴之间形成间隙。2.根据权利要求1所述的加工喷嘴，其特征在于，所述间隙形成部与所述外侧喷嘴形成为一体，在与所述内侧喷嘴之间形成所述间隙。3.根据权利要求2所述的加工喷嘴，其特征在于，所述间隙形成部具有与所述内侧喷嘴抵接的抵接面，在所述抵接面形成槽，由所述槽部分形成所述间隙。4.根据权利要求1所述的加工喷嘴，其特征在于，所述间隙形成部与所述内侧喷嘴形成为一体，在与所述外侧喷嘴之间形成所述间隙。5.根据权利要求4所述的加工喷嘴，其特征在于，所述间隙形成部具有与所述外侧喷嘴抵接的抵接面，在所述抵接面形成槽，由所述槽部分形成所述间隙。6.根据权利要求1所述的加工喷嘴，其特征在于，所述间隙形成部是夹持在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：濑口正记，中村直幸，宫崎隆典，村井博幸，猿田健儿，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP