The utility model discloses a furnace bottom heater has the advantages of convenient processing, uniform heating, which comprises a heating body, electrode joint, which is serpentine parallel the heating body into two groups of symmetrical form, the snake body made of carbon / carbon composites made of graphite or material, the utility model has the advantages of simple structure, convenient processing, low cost, has the characteristics of high strength, high heat efficiency, uniform heating etc..
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶炉，具体地说是一种单晶炉用底部加热器。
技术介绍
硅单晶炉热场系统对单晶成品率、拉速及单晶棒质量都有很大的影响，而对硅单晶生产企业来说，提高硅材料利用率，降低单位能耗，提高生产效率，降低生产成本一直是企业追求的目标。因此，热场系统设计和热场内关键元件的选材和使用备受关注。众所周知，硅棒越大，产品品质就越好，单位成本也随之降低。但是，增加硅棒尺寸，热场系统的尺寸也相应增加，投料量从原来的90㎏左右增加到150㎏以上，显著增加了热场控制的难度。为此，目前运行的大尺寸单晶炉（22英寸以上）都在尝试采用双加热结构，也就是在原来环形加热的基础上增加一个底部加热器，这样可以提高热场的均匀性，缩短化料时间，有效解决热场控制难及熔硅再结晶的问题。目前，底部加热器主要选用石墨材质。然而，由于石墨材料自身电阻率较小、力学性能较差且高温热震脆性大等特点，制备的石墨加热器有如下缺点：（1）电阻率小，在加热器形状一定的情况下，为了提高电阻，有时只能减小横截面积，由于石墨性脆，强度低，横截面积较小容易折断；（2）石墨性脆，强度低，在维修过程中易损坏，使用寿命较短。如专利号200920122502.6，申请日为2009年6月22日，公开号为CN201501940U的专利公开了一种改进的直拉单晶炉加热器结构。该加热器包括一个石墨材质的圆周均匀分布的底部加热器。该底部加热器采用扇形结构，离圆心越近，单位空间的发热面积越大，在使用时会导致离圆心不同距离的点上发热不均匀；同时，该加热器采用石墨材料制备，且设计为条状的扇形结构，...
【技术保护点】
一种单晶炉用底部加热器，它包括发热体、电极接头，其特征是所述发热体为两组形状对称的蛇形体并联而成，所述蛇形体由碳/碳复合材料或石墨材料制成。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用底部加热器，它包括发热体、电极接头，其特征是所述发热体为两组形状对称的蛇形体并联而成，所述蛇形体由碳/碳复合材料或石墨材料制成。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用底部加热器，其特征是所述两组蛇形体的弯部的边缘与两个相同中心的弧外切或内切。
3.根据权利要求2所述的单晶炉用底部加热器，其特征是所述两组蛇形体的弯部的边缘与弧外切的弧为圆或椭圆上的一段，蛇...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖寄乔，李军，石磊，邰卫平，王跃军，龚玉良，
申请(专利权)人：湖南金博复合材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43
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