一种X射线测量设备的图像重建方法、结构物的制造方法、X射线测量设备的图像重建程序以及X射线测量设备技术

该图像重建方法包括：通过旋转被测定物以及/或者改变X射线的照射方向，在多个不同的前述照射方向，将前述X射线照射前述被测定物，检测在前述多个不同照射方向上穿透前述被测定物的X射线，并且生成多个检测数据，该检测数据有关X射线穿透前述被测定物的强度；从前述多个不同的照射方向给推定结构物，即基于前述被测定物的形状信息推定的形状，照射前述X射线时，推定X射线按前述多个不同的照射方向穿透的强度，并生成多个推定数据；对于前述多个检测数据，使用前述X射线的照射方向相互对应的前述检测数据与前述推定数据，从前述检测数据提取差异数据，该差异数据表示前述推定数据与前述检测数据之间的差异。

An image reconstruction method for a X ray measuring apparatus, a method of manufacturing a structure, an image reconstruction program for a X ray measuring apparatus, and a X ray measuring apparatus

Including the image reconstruction method: the irradiation direction of rotation measured object and / or change the X ray, in a number of different of the irradiation direction, the X ray irradiation the measured object detection, through X ray the object to be measured in the different illumination direction, and generate a plurality of detection the data, the detection data on X ray through the object to be measured from the strength; the plurality of different irradiation direction to a putative structure, namely the presumption of the measured object shape information based on the shape of the irradiation, X rays, X rays, according to the presumption of a plurality of different irradiation direction penetration strength. And generate a plurality of data for the plurality of presumption; test data, the test data using the X ray irradiation direction corresponding to each other with the presumption of data, from the detection of poor data extraction The difference data represents the difference between the aforementioned presumptive data and the aforementioned test data.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】一种X射线测量设备的图像重建方法、结构物的制造方法、X射线测量设备的图像重建程序以及X射线测量设备
本专利技术涉及一种X射线测量设备的图像重建方法、结构物的制造方法、X射线测量设备的图像重建程序以及X射线测量设备。
技术介绍
作为一种无需破坏物体即可获得物体内部信息的设备，例如，了解到有一种X射线设备，用以对物体照射X射线，并对透过该物体的X射线进行检测。该X射线设备具有照射X射线的X射线源，可检测透过物体的X射线，并对物体内部进行观察(请参照专利文献1)。由此，获取物体内部信息。先行技术文献专利文献1:美国专利申请公开2010/0098209号公报然而，采用上述X射线设备获取的图像，是由照射到物体上的X射线引起的，所获得的图像中可能含有伪像等。其结果，就会出现标准精度下降这个问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种可抑制检查精度下降的X射线测量设备的图像重建方法、结构物的制造方法、X射线测量设备的图像重建程序以及X线测量设备。根据本专利技术的第一方面，X射线测量设备的图像重建方法具有如下特征，即通过旋转被测定物以及/或者改变X射线的照射方向，从多个不同的照射方向，针对被测定的物体照射X射线，并检测多个不同的、每一个照射方向上所穿透被测定物的X射线，且生成多个有关被测定物穿透X射线强度的检测数据，以及依据被测定物的形状信息，推定定结构物的形状，当从多个不同的照射方向，向该推定定结构物照射X射线时，推定推定多个不同的、每一个照射方向上的X射线的透射强度，从而生成多个推定推定数据，再有，分别针对多个检测数据，采用在X射线的照射方向上相互对应的检测数据与推定推定数据，从检测数据中提取差异数据，该差异数据表示推定推定数据与检测数据之间的差异。根据本专利技术的第二方面，X射线测量设备的图像重建方法具有如下特征，即通过旋转被测定物以及/或者改变X射线的照射方向，从多个不同的照射方向，针对被测定的物体照射X射线，并检测从多个不同的、每一个照射方向上所穿透被测定物的X射线，且生成多个有关被测定物穿透X射线强度的检测数据，以及依据被测定物的形状信息，推定推定结构物的形状，当从多个不同的照射方向，向该推定推定结构物照射X射线时，推定多个不同的、每一个照射方向上的X射线的透射强度推定，从而生成多个推定推定数据，再有，分别针对多个检测数据，采用在X射线的照射方向上相互对应的检测数据与推定推定数据，从检测数据中提取差异数据，该差异数据表示推定数据与检测数据之间的差异，进而当所提取的差异数据所表示的差异未超过既定值的条件下，即可判断被测定物为良品。根据本专利技术的第三方面，结构物的制造方法，就是编写有关结构物形状的设计信息，并基于设计信息编制结构物，采用上述任一方面的X射线测量设备的图像重建方法测量所编制的结构物形状，并获取形状信息，再将所获取的形状信息与设计信息进行比较。根据本专利技术的第四方面，X射线测量设备的图像重建程序是在计算机上运行如下各种处理，即实施检测数据生成处理，它将通过旋转被测定物以及/或者改变X射线的照射方向，针对被测定物，从多个不同的照射方向照射X射线，并检测多个不同的、每一个照射方向上，穿透被测定物的X射线，从而分别生成多个有关被测定物穿透X射线强度的检测数据与，再有，实施推定数据生成处理，它依据被测定物的形状信息，对推定出形状的推定结构物从多个不同的照射方向，给该推定结构物照射X射线，推定多个不同的、每一个照射方向上所穿透X射线的强度，从而分别生成多个推定数据，以及实施差异数据的提取处理，它将分别针对对多个检测数据，采用在X射线的照射方向上相互对应的检测数据与推定数据，从检测数据中提取差异数据，该差异数据表示推定数据与检测数据之间的差异。根据本专利技术的第五方面，X射线测量设备具有如下各部分。具有检测数据获取部，它是通过旋转被测定物以及/或者改变X射线的照射方向，针对被测定物，从多个不同的照射方向照射X射线，并通过对多个不同的、每一个照射方向上所穿透被测定物的X射线进行检测而生成的，，从而获取多个有关被测定物穿透X射线强度的检测数据，以及具有图像生成部，对依据被测定物的形状信息所推定出形状的推定结构物从多个不同的照射方向，给该推定结构物照射X射线，并对多个不同的、每一个照射方向上所穿透X射线的强度进行推定，并生成多个推定数据，再分别针对多个检测数据，提取差异数据，该差异数据表示通过在X射线的照射方向上相互对应的获取部分而获取的检测数据与推定数据之间的差异。附图说明图1为本专利技术实施形态的X射线装置构成说明图。图2为用以生成三维图像的概念示意图。图3为采用各种数据，示意性显示生成三维图像的概念图。图4为示意性显示修改推定结构物形状的概念图。图5为对第1、第2实施形态中生成三维图像的处理进行说明的流程图。图6说明在第3实施形态中生成三维图像的处理流程图。图7通过第4实施形态表示结构物制造系统构成的框图。图8通过第4实施形态说明结构物制造系统工作状态的流程图。图9说明为提供程序产品而使用的设备整体配置图。符号说明：2：X射线源，4：检测器，5：控制装置，53：图像生成部，100：X射线装置，600：结构物制造系统，610：设计装置，620：成型装置，630：控制系统，632：检查部，640：修复装置具体实施方式实施例1下面参照附图，针对第1实施形态的X射线设备作进一步说明。X射线设备，通过对被测定物进行X射线照射，并检测穿透被测定物的透射X射线，即可不用破坏测定物来获取被测定物的内部信息(例如内部结构)等。当被测定物，为机械部件和电子部件等产业用零部件时，X射线设备即被称为检验产业用零部件的产业用X射线CT(ComputedTomography)检验设备。同时，作为被测定物的检验对象，通常可以将人体、动物、植物等生物作为对象。另外，既可以将该生物的一部分组织作为对象。并且还可以把生物与产业用零部件这类非生物组合在一起。本实施形态是为理解专利技术宗旨而进行具体说明的内容，在没有特别指定的情况下，则不限定本专利技术的内容。图1是通过本实施形态，表示X射线设备100配置的一个例子的示意图。进而，为了方便说明，将由X轴、Y轴、Z轴组成的坐标系按图示进行设定。X射线设备100具备壳体1、X射线源2、承载载置部3、检测器4、控制装置5、监视器6以及架子8。壳体1配置在车间等的操作台面上，确保与XZ平面平行(水平)，且其内部可容纳X射线源2、承载载置部3、检测器4以及架子8。壳体1的材质含有铅，用以防止X射线向外部泄漏。X射线源2射出X射线(所谓锥形射束)，它是通过控制装置5进行控制，并在此控制下，以图1所示出射点Q为顶点，沿着平行于Z轴的光轴Zr，以圆锥状向Z轴+方向扩展。出射点Q相当于X射线源2的焦点。也就是说，光轴Zr连接X射线源2的焦点即出射点Q与下面将要叙述的检测器4的图像区域的中心。此外，X射线源2取代以圆锥状放射X射线的情形，放射扇形X射线(所谓扇形射束)和线性X射线(所谓笔形波束)的情形也包含在本专利技术的一个方面内。X射线源2可以发射诸如约50eV的超软X射线、约0.1～2keV的软X射线、约2～20keV的X射线以及约20～100keV的硬X射线的至少一种。此外，甚至X射线源2还可以发射诸如1～10Mev的X射线。承载载置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种X射线测量设备的图像重建方法，其特征在于，即通过旋转被测定物以及/或者改变X射线的照射方向，在多个不同的前述照射方向，将前述X射线照射前述被测定物，检测在前述多个不同照射方向上，穿透前述被测定物的X射线，并且生成多个检测数据，该检测数据有关X射线穿透前述被测定物的强度；从前述多个不同的照射方向，给推定结构物，即基于前述被测定物的形状信息推定的形状，照射前述X射线时，推定X射线按前述多个不同的照射方向穿透的强度，并生成多个推定数据；对于前述多个检测数据，使用前述X射线的照射方向相互对应的前述检测数据与前述推定数据，从前述检测数据提取差异数据，该差异数据表示前述推定数据与前述检测数据之间的差异。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种X射线测量设备的图像重建方法，其特征在于，即通过旋转被测定物以及/或者改变X射线的照射方向，在多个不同的前述照射方向，将前述X射线照射前述被测定物，检测在前述多个不同照射方向上，穿透前述被测定物的X射线，并且生成多个检测数据，该检测数据有关X射线穿透前述被测定物的强度；从前述多个不同的照射方向，给推定结构物，即基于前述被测定物的形状信息推定的形状，照射前述X射线时，推定X射线按前述多个不同的照射方向穿透的强度，并生成多个推定数据；对于前述多个检测数据，使用前述X射线的照射方向相互对应的前述检测数据与前述推定数据，从前述检测数据提取差异数据，该差异数据表示前述推定数据与前述检测数据之间的差异。2.一种X射线测量设备的图像重建方法，其特征在于，在根据权利要求1记载的X射线测量设备图像重建方法中，反向投影前述提取的多个差异数据，并生成图像，组合前述反向投影并生成的图像与前述推定结构物，生成前述被测定物的内部结构图像。3.一种X射线测量设备的图像重建方法，其特征在于，根据权利要求1或者2记载的X射线测量设备图像重建方法中，基于前述被测定物的材料信息与射入前述被测定物的X射线光谱信息，推定前述X射线照射前述推定结构物时前述穿透X射线的强度，并生成前述推定数据。4.一种X射线测量设备的图像重建方法，其特征在于，根据权利要求1或者2记载的X射线测量设备图像重建方法中，基于射入前述被测定物的X射线光谱信息与，X射线穿透前述被测定物时有关光电吸收的信息与，X射线穿透前述被测定物时有关康普顿效应的信息的至少一个信息，推定前述X射线照射前述推定结构物时的前述穿透X射线强度。5.一种X射线测量设备的图像重建方法，其特征在于，根据权利要求3或者4记载的X射线测量设备图像重建方法中，假定前述X射线的衰减系数含有依赖于前述X射线光子能量的第1要素与不依赖于前述X射线光子能量的第2要素，通过使用前述检测数据与前述推定数据，计算前述第2要素的值，提取前述差异数据。6.一种X射线测量设备的图像重建方法，其特征在于，根据权利要求1乃至5的任何一项记载的X射线测量设备图像重建方法中，前述形状信息是前述被测定物的设计信息。7.一种X射线测量设备的图像重建方法，其特征在于，根据权利要求1乃至5的任何一项记载的X射线测量设备图像重建方法中，前述形状信息是采用反向投影前述多个检测数据的图像生成的。8.一种X射线测量设备的图像重建方法，其特征在于，根据权利要求1乃至7的任何一项记载的X射线测量设备图像重建方法中，当前述提取的差异数据所表示的差异不超过第1阈值时，反向投影前述多个差异数据，并生成前述差异数据的反向投影图像，组合前述差异数据的反向投影图像与前述推定结构物，并生成前述被测定物的内部结构图像。9.一种X射线测量设备的图像重建方法，其特征在于，根据权利要求8记载的X射线测量设备的图像重建方法中，当前述提取的差异数据所表示的差异比前述第1阈值还大时，基于前述多个差异数据所表示的差异，修正前述推定数据并生成修正后推定数据。10.一种X射线测量设备的图像重建方法，其特征在于，根据权利要求9记载的X射线测量设备的图像重建方法中，采用前述检测数据与前述修正后推定数据，从前述检测数据重新提取差异数据，该差异数据表示前述检测数据与前述修正后推定数据之间的差异；当前述新的差异数据所表示的差异不超过前述第1阈值时，反向投影前述新的差异数据，并且生成前述差异数据的反向投影图像，组合前述差异数据的反向投影图像与前述推定结构物，并生成前述被测定物的内部结构图像。11.一种X射线测量设备的图像重建方法，其特征在于，通过旋转被测定物以及/或者改变X射线的照射方向，在多个不同的前述照射方向，给前述被测定物照射前述X射线，检测在前述多...

【专利技术属性】
技术研发人员：山田笃志，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本,JP