MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术公开了一种MEMS麦克风，其包括设有收容空间的壳体以及置于所述壳体中的MEMS传感器和ASIC芯片，所述MEMS麦克风还包括置于收容空间内的MEMS振荡器，所述MEMS振荡器与所述ASIC芯片电连接并为ASIC芯片提供时钟信号。本实用新型专利技术的MEMS麦克风时钟频率稳定，一致性好。

MEMS Microphone

The utility model discloses a MEMS microphone, which comprises a MEMS sensor and a ASIC chip shell is provided with a containing space and arranged in the shell, the MEMS microphone also includes MEMS oscillator arranged in the containing space, the MEMS oscillator and the ASIC chip is electrically connected and provides the clock signal for ASIC chip. The MEMS microphone clock frequency of the utility model is stable, and the consistency is good.

【技术实现步骤摘要】
MEMS麦克风
本技术涉及一种声音装置，更具体地涉及一种MEMS麦克风。
技术介绍
MEMS麦克风是基于MEMS技术制造的麦克风，采用表贴工艺进行制造,能够承受很高的回流焊温度,容易与CMOS工艺及其它音频电路相集成,并具有改进的噪声消除性能与良好的RF及EMI抑制能，其广泛应用手机、PAD或其它便携设备上。目前，MEMS麦克风正逐步向智能化方向发展，智能MEMS麦克风除具有传统麦克风的声音采集功能外，还可以具有触摸感测、智能激活等功能。MEMS麦克风中的ASIC芯片若要正常工作需要有一个稳定的时钟信号。现有技术中一般通过以下几种方案来提供这一时钟信号：(1)由脉冲密度调制器中的时钟来为ASIC芯片提供时钟信号；(2)由ASIC芯片的片内的时钟振荡器提供；(3)在与智能设备连接后，由智能设备中的Codec芯片(编译码器)提供。在方案(1)中，由于PDM时钟由于需要担负信号传输和模式切换的作用，时钟频率并不稳定，不宜作为ASIC芯片的工作时钟；在方案(2)中，由于ASIC芯片集成度很高，在制造过程中难以做到每个芯片内部的时钟振荡器的频率都一致，稳定性与一致性差，且功耗大，频率难以做的很高，这样会造成利用同一型号的芯片所制造出的MEMS麦克风质量并不完全相同；在方案(3)中，Codec芯片始终要保持运行状态，这样在智能设备处于休眠状态时，Codec芯片依然要输出时钟信号，大大增加了智能设备的功耗。
技术实现思路
针对现有技术的缺陷，本技术提供了一种MEMS麦克风，其包括设有收容空间的壳体以及置于所述壳体中的MEMS传感器和ASIC芯片，所述MEMS麦克风还包括置于收容空间内的MEMS振荡器，所述MEMS振荡器与所述ASIC芯片电连接并为ASIC芯片提供时钟信号。优选的，所述MEMS振荡器和MEMS传感器集成于一体。优选的，所述MEMS振荡器和ASIC芯片集成于一体。优选的，所述壳体包括外壳和与所述外壳盖接形成收容空间的线路板，所述MEMS传感器和所述ASIC芯片均固定在线路板上。优选的，所述MEMS传感器、ASIC芯片以及MEMS振荡器为分体结构。优选的，所述壳体包括外壳和与所述外壳盖接形成收容空间的线路板，所述MEMS传感器、所述ASIC芯片以及MEMS振荡器均固定在线路板上。优选的，所述MEMS传感器和ASIC芯片通过绑定金线电连接。优选的，所述MEMS振荡器和ASIC芯片通过绑定金线电连接。优选的，所述MEMS麦克风为智能MEMS麦克风。本技术的有益效果是：通过MEMS振荡器为麦克风提供时钟信号，时钟频率稳定，一致性好，且可以输出较高频率的时钟信号，可以通过ASIC芯片来调节其输出的时钟频率，降低了功耗。【附图说明】图1是本技术的MEMS麦克风的实施例1的结构示意图；图2是本技术的MEMS麦克风的实施例1的电路示意图；；图3是本技术的MEMS麦克风的实施例2的电路示意图。【具体实施方式】为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明，使本技术的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按比例绘制附图，重点在于示出本技术的主旨。实施例1如图1和图2所示，MEMS麦克风包括设有收容空间6的壳体1以及置于所述壳体1中的MEMS传感器4和ASIC芯片2，所述壳体1包括外壳11和与所述外壳11盖接形成收容空间6的线路板12，所述MEMS传感器4和所述ASIC芯片固定在线路板12上。MEMS麦克风还包括置于收容空间6内的MEMS振荡器3，MEMS振荡器3也固定在线路板1上。在该实施例中，MEMS传感器4、ASIC芯片2和MEMS振荡器3为三个相互分立的器件。所述MEMS振荡器3与所述ASIC芯片2通过绑定金线5电连接并为ASIC芯片2提供时钟信号，MEMS传感器4与ASIC芯片2也通过绑定金线5电连接。MEMS传感器4一般由可变电容实现，用于采集声音信号，ASIC芯片2用于对采集到的声音信号进行处理，如消噪、放大等，处理后的信号经过PDM(图中未示出)调制后发送出去。另外，MEMS麦克风为智能MEMS麦克风。对于一般的电子设备而言，石英振荡器较大的体积是可以接受的。但是在麦克风狭小的空间内，完全无法容纳传统的石英振荡器，而MEMS振荡器最大的优势是体积远小于石英振荡器，因此可以作为智能麦克风的时钟源。另外，单独制造与封装的MEMS振荡器时钟信号稳定，不同器件间具有良好的稳定性与一致性，同一批次制造的MEMS振荡器可以输出相同的频率信号。且单独制造与封装的MEMS振荡器，可以输出较高的时钟频率，功耗低。实施例2请参阅图3，该实施例与实施例1的区别仅在于：在实施例2中，MEMS振荡器与MEMS传感器集成于一体，即将MEMS振荡器与MEMS传感器集成为一个芯片43。将MEMS振荡器与MEMS传感器集成于一体，这样可以减少麦克风内分立部件的数目，使得麦克风的制造与组装更加快捷、简便，提高了生产效率。另外，在其它实施例中，也可将MEMS振荡器和ASIC芯片集成于一体。通过上述实施例的介绍可以看出，本新型通过MEMS振荡器为麦克风提供时钟信号，时钟频率稳定，一致性好，且可以输出较高频率的时钟信号，可以通过控制IC来调节其输出的时钟频率，降低了功耗。在以上的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是以上描述仅是本技术的较佳实施例而已，本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，因此本技术不受上面公开的具体实施的限制。同时任何熟悉本领域技术人员在不脱离本技术技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和
技术实现思路
对本技术技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。凡是未脱离本技术技术方案的内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本技术技术方案保护的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS麦克风，包括设有收容空间的壳体以及置于所述壳体中的MEMS传感器和ASIC芯片，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括置于收容空间内的MEMS振荡器，所述MEMS振荡器与所述ASIC芯片电连接并为ASIC芯片提供时钟信号。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风，包括设有收容空间的壳体以及置于所述壳体中的MEMS传感器和ASIC芯片，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括置于收容空间内的MEMS振荡器，所述MEMS振荡器与所述ASIC芯片电连接并为ASIC芯片提供时钟信号。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS振荡器和MEMS传感器集成于一体。3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS振荡器和ASIC芯片集成于一体。4.根据权利要求2或3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述壳体包括外壳和与所述外壳盖接形成收容空间的线路板，所述MEMS传感器和所述ASIC芯片均固定在线路板上...

【专利技术属性】
技术研发人员：张金宇，
申请(专利权)人：瑞声科技新加坡有限公司，
类型：新型
国别省市：新加坡,SG