一种光伏太阳能硅片减薄处理装置制造方法及图纸

技术编号:16295331 阅读:21 留言:0更新日期:2017-09-26 15:06
本发明专利技术一种光伏太阳能硅片减薄处理装置公开了一种通过两级行星轮盘,对硅片进行双面磨削预减薄的装置。其特征在于密封轴承置于接屑盘底端中部,连接轴一端穿过密封轴承置于接屑盘内,磨削工作台中部通过连接套置于连接轴上,所述磨削工作台上表面开有导液槽,所述导液槽为网纹状结构,所述磨削工作台中心位置安装槽密度大于边缘位置,多个橡胶环分别置于磨削工作台上,且呈环形分布,所述橡胶环的直径从中间向两侧逐渐增加,所述橡胶环的内壁上均匀置有多个凸点,所述磨削工作台上开有多个限距孔,限距标杆置于限距孔内,第一中心齿轮置于连接轴上,且位于磨削工作台的下方,一级行星架总成置于连接轴上。

Photovoltaic solar wafer thinning treatment device

The invention discloses a photovoltaic solar silicon wafer thinning processing device, and discloses a device for double grinding and thinning silicon wafers through a two stage planetary wheel disk. It is characterized in that the seal bearing at the bottom end of the middle connecting chip disc, connecting shaft end seal through the bearing at the crumb tray, the grinding table by connecting the middle sleeve is arranged in the connecting shaft and the grinding table surface is provided with a guide groove, the guide groove is reticulate structure, the grinding table center position the mounting groove density is greater than the edge position, a plurality of rubber rings are respectively arranged on the grinding table, and a ring distribution, the rubber ring diameter increases gradually from the middle to both sides, a plurality of protrusions evenly the inner wall of the rubber ring on the grinding table is provided with a plurality of distance limit in the hole, the distance from the benchmark limit hole, the first center gear is arranged in the connecting shaft, and positioned below the grinding table, a planetary frame assembly is arranged at the connecting shaft.

【技术实现步骤摘要】
一种光伏太阳能硅片减薄处理装置
本专利技术一种光伏太阳能硅片减薄处理装置,涉及一种对光伏太阳能硅片进行预减薄处理的装置,属于光伏设备领域。特别涉及一种通过两级行星轮盘,对硅片进行双面磨削预减薄的装置。
技术介绍
目前,硅片被广泛应用在光伏领域,而硅片在加工过程中,需要对硅片的厚度进行适当的减薄调整,其主要原因是薄片可以降低器件的导通电阻和压降,从而大幅度减少器件的导通损耗,并提升器件在散热等方面的性能,现有的硅片加工时先对硅片进行切割,然后进行减薄,而硅片减薄方式包括研磨、化学机械抛光、干式抛光等,然而此类的减薄都是对硅片进行小范围内的减薄处理,精度要求较高,而切割后的硅片尺寸差值较大,直接进行上述方式进行减薄,费时费力,且对设备损失加大,且在减薄时,由于减薄磨削行程大,在磨削过程中会出现硅片内部应力释放导致开裂的问题,所以有必要在切割后以及精减薄之间增加预减薄的工作,以解决硅片减薄效率低、破碎率高的问题,同时现有的在磨削过程中,只能单独对硅片一面进行磨削,然后再更换另一面,这种方法不仅费时费力,降低了加工的效率,并且在对硅片进行翻转时需要配合真空吸盘,然而真空吸盘在翻转时会和硅片表面接触,对硅片表面造成损害,不利于硅片的后序加工。
技术实现思路
为了改善上述情况,本专利技术一种光伏太阳能硅片减薄处理装置提供了一种通过两级行星轮盘,对硅片进行双面磨削预减薄的装置。结构简单,方便实用。本专利技术一种光伏太阳能硅片减薄处理装置是这样实现的:本专利技术一种光伏太阳能硅片减薄处理装置由主体固定装置、传动装置和磨削装置组成,主体固定装置由接屑盘、橡胶环、连接套、限距标杆、限距孔、磨削工作台、连接轴和密封轴承组成,密封轴承置于接屑盘底端中部,连接轴一端穿过密封轴承置于接屑盘内,磨削工作台中部通过连接套置于连接轴上,所述磨削工作台上表面开有导液槽,所述导液槽为网纹状结构,所述磨削工作台中心位置安装槽密度大于边缘位置,多个橡胶环分别置于磨削工作台上,且呈环形分布,所述橡胶环的直径从中间向两侧逐渐增加,所述橡胶环的内壁上均匀置有多个凸点,所述磨削工作台上开有多个限距孔,限距标杆置于限距孔内,传动装置由第一中心齿轮、二级行星架总成、第二中心齿轮、第二齿圈、第一齿圈和一级行星架总成组成,第一中心齿轮置于连接轴上,且位于磨削工作台的下方,一级行星架总成置于连接轴上,所述一级行星架总成上的四个行星齿轮分别和第一中心齿轮相啮合,第一齿圈套置于一级行星架总成上,且分别和一级行星架总成上的四个行星齿轮相啮合,第二中心齿轮置于连接轴上,且位于磨削工作台的上方,二级行星架总成置于连接轴上,所述二级行星架总成上的四个行星齿轮分别和第二中心齿轮相啮合,第二齿圈套置于二级行星架总成上,且分别和二级行星架总成上的四个行星齿轮相啮合,磨削装置由磨削刀盘、磨削绒布、安装槽、导向套、磨削条、安装块、连接扣、排屑槽和磨削刀头组成,两个磨削刀盘分别置于第一齿圈和第二齿圈上,且中部分别通过连接套置于连接轴上,所述两个磨削刀盘分别位于磨削工作台的上下两侧,所述靠上的磨削刀盘下表面等角度开有多个安装槽,所述靠下的磨削刀盘上表面等角度开有多个安装槽,所述安装槽截面为T型,所述安装槽内置有橡胶垫,安装块置于安装槽内,磨削条置于安装块上,磨削刀头通过连接扣置于磨削条上,所述磨削刀头中间高度高于两侧,所述磨削刀头上开有多个排屑槽,所述排屑槽的进口宽,出口窄,所述磨削刀头的外表面和对应磨削刀盘靠近磨削工作台的表面齐平,所述两个磨削刀盘靠近磨削工作台的表面上分别置有一层磨削绒布,所述磨削绒布由鸵鸟绒毛制成。使用时,在光伏太阳能硅片进行精减薄前,首先将光伏太阳能硅片放置在橡胶环内,在两个磨削刀盘上的磨削绒布上分别滴入磨削液,将连接轴和外部动力装置相连接,通过限距孔调节限距标杆的高度,从而调节硅片磨削的厚度,外部动力转动带动连接轴转动,连接轴分别带动第一中心齿轮和第二中心齿轮转动过,第一中心齿轮带动一级行星架总成上的四个行星齿轮转动,一级行星架总成上的四个行星齿轮分别带动第一齿圈转动,第一齿圈带动靠下的磨削刀盘转动,靠下的磨削刀盘从而带动上表面安装槽内的磨削刀头转动,从而对硅片的下表面进行磨削,第二中心齿轮带动二级行星架总成上的四个行星齿轮转动,二级行星架总成上的四个行星齿轮分别带动第二齿圈转动,第二齿圈带动靠上的磨削刀盘转动,靠上的磨削刀盘从而带动下表面安装槽内的磨削刀头转动,从而对硅片的上表面进行磨削,从而同时对硅片的上下两面进行磨削,磨削掉的硅屑部分会被磨削绒布吸附,部分会落入排屑槽内,随着排屑槽内的硅屑不断增加,最后落在接屑盘内,所述磨削工作台上表面开有导液槽的设计,便于在磨削过程中,磨削液在磨削工作台上流动,辅助磨削工作的进行,所述磨削工作台中心位置安装槽密度大于边缘位置的设计,便于磨削液更好的留存在磨削工作台上,进一步提高磨削效果,所述橡胶环的直径从中间向两侧逐渐增加的设计,便于硅片的放入,并且也便于磨削刀头对硅片进行磨削,进一步提高磨削效果,所述橡胶环的设计,是经过多次试验后作出的最适应于本方案的设计,若橡胶环由金属材料制成,则在磨削过程中,容易对硅片侧面造成损伤,影响后期的加工使用,若橡胶环由陶瓷材料制成,则对硅片的固定稳定性较差,在磨削过程中,硅片容易出现晃动,影响磨削工作的进行,所述橡胶环的内壁上均匀置有多个凸点的设计,能够增加硅片和橡胶环之间的摩擦力,进一步提高硅片的稳定性,防止硅片在磨削过程中产生晃动,影响磨削效果,所述安装槽内置有橡胶垫的设计,能够更好的对磨削条进行固定,并且减少磨削过程中,产生的振动,所述磨削刀头中间高度高于两侧的设计,能够对硅片进行递进式的磨削,所述排屑槽的进口宽,出口窄的设计,便于硅屑的排出,所述磨削绒布由鸵鸟绒毛制成的设计,能够在磨削过程中不产生静电,防止磨削绒布吸附灰尘中的硬质颗粒,在磨削过程中划伤硅片,达到通过两级行星轮盘,对硅片进行双面磨削预减薄的目的。有益效果。一、结构简单,方便实用。二、成本低廉,易于推广。三、能够提高硅片减薄效果。附图说明图1为本专利技术一种光伏太阳能硅片减薄处理装置的立体拆分图。图2为本专利技术一种光伏太阳能硅片减薄处理装置磨削条的立体结构图。附图中其中零件为:接屑盘(1),第一中心齿轮(2),磨削刀盘(3),橡胶环(4),连接套(5),二级行星架总成(6),第二中心齿轮(7),第二齿圈(8),磨削绒布(9),限距标杆(10),限距孔(11),磨削工作台(12),安装槽(13),导向套(14),磨削条(15),第一齿圈(16),一级行星架总成(17),连接轴(18),密封轴承(19),安装块(20),连接扣(21),排屑槽(22),磨削刀头(23)。具体实施方式:本专利技术一种光伏太阳能硅片减薄处理装置是这样实现的,使用时,在硅片进行精减薄前,首先将硅片放置在橡胶环(4)内,在两个磨削刀盘(3)上的磨削绒布(9)上分别滴入磨削液,将连接轴(18)和外部动力装置相连接,通过限距孔(11)调节限距标杆(10)的高度,从而调节硅片磨削的厚度,外部动力转动带动连接轴(18)转动,连接轴(18)分别带动第一中心齿轮(2)和第二中心齿轮(7)转动过,第一中心齿轮(2)带动一级行星架总成(17)上的四个行星齿轮转动,一级行星架总本文档来自技高网...
一种光伏太阳能硅片减薄处理装置

【技术保护点】
一种光伏太阳能硅片减薄处理装置,其特征是:密封轴承置于接屑盘底端中部,连接轴一端穿过密封轴承置于接屑盘内,磨削工作台中部通过连接套置于连接轴上,所述磨削工作台上表面开有导液槽,所述磨削工作台中心位置安装槽密度大于边缘位置,多个橡胶环分别置于磨削工作台上,且呈环形分布,所述橡胶环的直径从中间向两侧逐渐增加,所述橡胶环的内壁上均匀置有多个凸点,所述磨削工作台上开有多个限距孔,限距标杆置于限距孔内,第一中心齿轮置于连接轴上,且位于磨削工作台的下方,一级行星架总成置于连接轴上,所述一级行星架总成上的四个行星齿轮分别和第一中心齿轮相啮合,第一齿圈套置于一级行星架总成上,且分别和一级行星架总成上的四个行星齿轮相啮合,第二中心齿轮置于连接轴上,且位于磨削工作台的上方,二级行星架总成置于连接轴上,所述二级行星架总成上的四个行星齿轮分别和第二中心齿轮相啮合,第二齿圈套置于二级行星架总成上,且分别和二级行星架总成上的四个行星齿轮相啮合,两个磨削刀盘分别置于第一齿圈和第二齿圈上,且中部分别通过连接套置于连接轴上,所述两个磨削刀盘分别位于磨削工作台的上下两侧,所述靠上的磨削刀盘下表面等角度开有多个安装槽,所述靠下的磨削刀盘上表面等角度开有多个安装槽,所述安装槽截面为T型,所述安装槽内置有橡胶垫,安装块置于安装槽内,磨削条置于安装块上,磨削刀头通过连接扣置于磨削条上,所述磨削刀头中间高度高于两侧,所述磨削刀头上开有多个排屑槽,所述排屑槽的进口宽,出口窄,所述磨削刀头的外表面和对应磨削刀盘靠近磨削工作台的表面齐平,所述两个磨削刀盘靠近磨削工作台的表面上分别置有一层磨削绒布。...

【技术特征摘要】
1.一种光伏太阳能硅片减薄处理装置,其特征是:密封轴承置于接屑盘底端中部,连接轴一端穿过密封轴承置于接屑盘内,磨削工作台中部通过连接套置于连接轴上,所述磨削工作台上表面开有导液槽,所述磨削工作台中心位置安装槽密度大于边缘位置,多个橡胶环分别置于磨削工作台上,且呈环形分布,所述橡胶环的直径从中间向两侧逐渐增加,所述橡胶环的内壁上均匀置有多个凸点,所述磨削工作台上开有多个限距孔,限距标杆置于限距孔内,第一中心齿轮置于连接轴上,且位于磨削工作台的下方,一级行星架总成置于连接轴上,所述一级行星架总成上的四个行星齿轮分别和第一中心齿轮相啮合,第一齿圈套置于一级行星架总成上,且分别和一级行星架总成上的四个行星齿轮相啮合,第二中心齿轮置于连接轴上,且位于磨削工作台的上方,二级行星架总成置于连接轴上,所述二级行星架总成上的四个行星齿轮分别和第二中心齿轮相啮合,第二齿圈套置于二级行星架...

【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人
申请(专利权)人:徐州蓝湖信息科技有限公司
类型:发明
国别省市:江苏,32

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