The invention discloses a photovoltaic solar silicon wafer thinning processing device, and discloses a device for double grinding and thinning silicon wafers through a two stage planetary wheel disk. It is characterized in that the seal bearing at the bottom end of the middle connecting chip disc, connecting shaft end seal through the bearing at the crumb tray, the grinding table by connecting the middle sleeve is arranged in the connecting shaft and the grinding table surface is provided with a guide groove, the guide groove is reticulate structure, the grinding table center position the mounting groove density is greater than the edge position, a plurality of rubber rings are respectively arranged on the grinding table, and a ring distribution, the rubber ring diameter increases gradually from the middle to both sides, a plurality of protrusions evenly the inner wall of the rubber ring on the grinding table is provided with a plurality of distance limit in the hole, the distance from the benchmark limit hole, the first center gear is arranged in the connecting shaft, and positioned below the grinding table, a planetary frame assembly is arranged at the connecting shaft.
【技术实现步骤摘要】
一种光伏太阳能硅片减薄处理装置
本专利技术一种光伏太阳能硅片减薄处理装置,涉及一种对光伏太阳能硅片进行预减薄处理的装置,属于光伏设备领域。特别涉及一种通过两级行星轮盘,对硅片进行双面磨削预减薄的装置。
技术介绍
目前,硅片被广泛应用在光伏领域,而硅片在加工过程中,需要对硅片的厚度进行适当的减薄调整,其主要原因是薄片可以降低器件的导通电阻和压降,从而大幅度减少器件的导通损耗,并提升器件在散热等方面的性能,现有的硅片加工时先对硅片进行切割,然后进行减薄,而硅片减薄方式包括研磨、化学机械抛光、干式抛光等,然而此类的减薄都是对硅片进行小范围内的减薄处理,精度要求较高,而切割后的硅片尺寸差值较大,直接进行上述方式进行减薄,费时费力,且对设备损失加大,且在减薄时,由于减薄磨削行程大,在磨削过程中会出现硅片内部应力释放导致开裂的问题,所以有必要在切割后以及精减薄之间增加预减薄的工作,以解决硅片减薄效率低、破碎率高的问题,同时现有的在磨削过程中,只能单独对硅片一面进行磨削,然后再更换另一面,这种方法不仅费时费力,降低了加工的效率,并且在对硅片进行翻转时需要配合真空吸盘,然而真空吸盘在翻转时会和硅片表面接触,对硅片表面造成损害,不利于硅片的后序加工。
技术实现思路
为了改善上述情况,本专利技术一种光伏太阳能硅片减薄处理装置提供了一种通过两级行星轮盘,对硅片进行双面磨削预减薄的装置。结构简单,方便实用。本专利技术一种光伏太阳能硅片减薄处理装置是这样实现的:本专利技术一种光伏太阳能硅片减薄处理装置由主体固定装置、传动装置和磨削装置组成,主体固定装置由接屑盘、橡胶环、连接套、限距标杆 ...
【技术保护点】
一种光伏太阳能硅片减薄处理装置,其特征是:密封轴承置于接屑盘底端中部,连接轴一端穿过密封轴承置于接屑盘内,磨削工作台中部通过连接套置于连接轴上,所述磨削工作台上表面开有导液槽,所述磨削工作台中心位置安装槽密度大于边缘位置,多个橡胶环分别置于磨削工作台上,且呈环形分布,所述橡胶环的直径从中间向两侧逐渐增加,所述橡胶环的内壁上均匀置有多个凸点,所述磨削工作台上开有多个限距孔,限距标杆置于限距孔内,第一中心齿轮置于连接轴上,且位于磨削工作台的下方,一级行星架总成置于连接轴上,所述一级行星架总成上的四个行星齿轮分别和第一中心齿轮相啮合,第一齿圈套置于一级行星架总成上,且分别和一级行星架总成上的四个行星齿轮相啮合,第二中心齿轮置于连接轴上,且位于磨削工作台的上方,二级行星架总成置于连接轴上,所述二级行星架总成上的四个行星齿轮分别和第二中心齿轮相啮合,第二齿圈套置于二级行星架总成上,且分别和二级行星架总成上的四个行星齿轮相啮合,两个磨削刀盘分别置于第一齿圈和第二齿圈上,且中部分别通过连接套置于连接轴上,所述两个磨削刀盘分别位于磨削工作台的上下两侧,所述靠上的磨削刀盘下表面等角度开有多个安装槽,所述 ...
【技术特征摘要】
1.一种光伏太阳能硅片减薄处理装置,其特征是:密封轴承置于接屑盘底端中部,连接轴一端穿过密封轴承置于接屑盘内,磨削工作台中部通过连接套置于连接轴上,所述磨削工作台上表面开有导液槽,所述磨削工作台中心位置安装槽密度大于边缘位置,多个橡胶环分别置于磨削工作台上,且呈环形分布,所述橡胶环的直径从中间向两侧逐渐增加,所述橡胶环的内壁上均匀置有多个凸点,所述磨削工作台上开有多个限距孔,限距标杆置于限距孔内,第一中心齿轮置于连接轴上,且位于磨削工作台的下方,一级行星架总成置于连接轴上,所述一级行星架总成上的四个行星齿轮分别和第一中心齿轮相啮合,第一齿圈套置于一级行星架总成上,且分别和一级行星架总成上的四个行星齿轮相啮合,第二中心齿轮置于连接轴上,且位于磨削工作台的上方,二级行星架总成置于连接轴上,所述二级行星架总成上的四个行星齿轮分别和第二中心齿轮相啮合,第二齿圈套置于二级行星架...
【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人,
申请(专利权)人:徐州蓝湖信息科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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