The utility model provides a mechanical arm, including arm body, arm tip and para auxiliary devices; the main arm is connected with the arm tip, the contraposition auxiliary device is arranged on the arm body. In the mechanical arm, the utility model provides a transmission device and exposure device, the mechanical arm is arranged on the positioning device can accurately determine the relative position of the auxiliary of the mechanical arm and the chuck, avoid because of human misjudgment leads to the mechanical arm and the chuck friction effect of equipment operation and shorten the use of mechanical arm life.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造领域，特别涉及一种机械手臂及包含所述机械手臂的传送装置和曝光设备。
技术介绍
光刻是半导体制造的关键工艺之一，通过光刻工艺能够将光掩模板上的特征图形转移到半导体器件上。为了在半导体器件的各个膜层中形成各种特征图形，通常需要进行多次光刻。光刻工艺的核心设备是曝光设备，所述曝光设备包括传送装置和曝光腔室，所述传送装置将涂布有光刻胶的硅片或玻璃基板传送至曝光腔室中进行曝光，从而将光掩模板上的特征图形转移到光刻胶上。现有技术中曝光设备的传送装置通常包括机械手臂和卡盘，所述卡盘与所述曝光腔室连接。传送过程中机械手臂先将硅片或玻璃基板转移给卡盘，再通过卡盘将硅片或玻璃基板传送至曝光腔室中。请参考图1，其为现有技术的传送装置的结构示意图。如图1所示，所述传送装置100包括机械手臂110和卡盘120，其中，机械手臂110的手臂尖端111比较窄，卡盘120具有凹槽121，卡盘120的凹槽121比机械手臂110的手臂尖端111稍宽，在转移硅片或玻璃基板之前需要调整机械手臂110与卡盘120的相对位置，使机械手臂110的手臂尖端111对准并靠近卡盘120的凹槽121。若转移时机械手臂110的手臂尖端111没有对准卡盘120的凹槽121，机械手臂110和卡盘120之间会出现摩擦，摩擦导致卡盘120的边缘产生毛刺或变形，这会引起设备的真空侦测异常，同时，摩擦也会对机械手臂110造成损伤，缩短机械...
【技术保护点】
一种机械手臂，其特征在于，包括：手臂主体、手臂尖端和对位辅助装置；所述手臂主体与手臂尖端相连，所述对位辅助装置活动设置于所述手臂主体上。
【技术特征摘要】
1.一种机械手臂，其特征在于，包括：手臂主体、手臂尖端和对位辅助装
置；
所述手臂主体与手臂尖端相连，所述对位辅助装置活动设置于所述手臂主
体上。
2.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述对位辅助装置包括：
激光发射器、反射透镜组和基座；
所述激光发射器和反射透镜组位于所述基座的同一侧并固定于所述基座
上，所述激光发射器的发射方向对准所述反射透镜组。
3.如权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述反射透镜组包括依次
排列的第一半反射透镜、第二半反射透镜、第三半反射透镜和全反射透镜；
所述第一半反射透镜、第二半反射透镜、第三半反射透镜和全反射透镜相
互平行且均与所述基座的表面垂直；
所述激光发射器的发射方向与所述第一半反射透镜的表面成45°夹角。
4.如权利要求3所述的机械手臂，其特征在于，所述第二半反射透镜与第
三半反射透镜的间距根据所述手臂尖端的宽度进行设置，所述第一半反射透镜
与全反射透镜的间距根据与所述手臂尖端配套的凹槽的宽度进行设置。
5.如权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述手臂主体上设置有滑
...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡晓栋，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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