表面具有微细凹凸结构的构件的检查装置及检查方法、表面具有阳极氧化铝层的构件的制造方法、以及光学薄膜的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够简便地检查阳极氧化铝表面的微细凹凸结构的形状、阳极氧化铝的厚度的检查装置和检查方法等。本发明专利技术的阳极氧化铝的检查装置的特征在于，其具备：照射单元（22），对检查对象的阳极氧化铝照射光；摄像单元（24），对通过偏振单元的光进行拍摄；偏振单元（28），使从照射单元照射出的光偏振；以及图像处理单元（26），基于由使用摄像单元拍摄出的图像获得的颜色信息来判断阳极氧化铝的状态是否良好。

Inspection device and inspection method of component with fine concave convex structure on surface, method for producing surface with anodic alumina layer, and method for manufacturing optical film

The present invention provides an apparatus and method for checking the shape of an anode and convex surface of an anodic alumina surface, and the thickness of an anodized alumina material. Is that feature checking device of the invention of the anodic alumina having irradiation unit (22), anodic alumina light irradiation for the inspection object; the imaging unit (24), through a polarization light shooting unit; polarization unit (28), the polarized light emitted from the illumination unit illumination and image processing; unit (26), to determine whether the state of good anodic alumina by the use of camera images based on color information obtained unit.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及表面具有微细凹凸结构的构件的检查装置及检查方法、表面具有阳极氧化铝层的构件的制造方法、以及光学薄膜的制造方法。
技术介绍
表面形成有表面间距为可见光波长以下的微细凹凸结构的薄片等构件由于表现超亲水性、超疏水性、低反射等功能，其有用性正受到关注。特别是已知被称为蛾眼（Moth-eye）结构的微细凹凸结构的折射率从空气的折射率向构件材料的折射率连续变化，因此表现优异的防反射功能。作为这种表面具有微细凹凸结构的构件的制造方法，已知有（i）对基材本身的表面直接加工而形成表面具有微细凹凸结构的构件的方法；（ii）使用表面形成有与构件表面的微细凹凸结构互补的微细凹凸结构的转印模具，转印模具的微细凹凸结构转印到透明基材等构件本身的表面的方法（例如专利文献1）等，在生产率等观点方面，（ii）的方法在工业上优异。作为在模具的外表面形成反转结构的方法，已知有电子束绘制法、激光干涉法等。近年来，作为能够更简单地形成反转结构的方法，将铝基材的表面阳极氧化的方法正在受到关注（例如参照专利文献2）。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2010-201641号公报专利文献2:日本特开2005-156695号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题通过将铝基材的表面阳极氧化而形成的阳极氧化铝层为铝的氧化覆膜（耐酸铝），具有间距为可见光波长以下的多个细孔（微细凹凸结构）。这种具有微细凹凸结构的阳极氧化铝层中，阳极氧化时浸渍铝基材的电解液的浓度、温度有不均匀或者铝基材表面的性状有参差时，会有阳极氧化铝层表面的微细凹凸结构的形状（细孔深度、内径、细孔间的间距等）、阳极氧化铝的厚度等出现不均匀的情况。这种情况下，无法对薄片构件等转印最适合的微细凹凸结构。另外，作为阳极氧化铝的材料的铝基材可以使用纯度高的铝基材，但用于制造纯度高的铝基材的高纯度铝的晶粒易因铸造等而粗大化，在铝基材中会出现肉眼也能够观察到的程度的粗晶粒。因此，使用这种铝基材制造出的模具的阳极氧化铝的表面也会出现同样的晶界图案。对此，目前为了将由于晶粒而产生的图案微细化且均匀化，实施通过压延、挤出和锻造等来制造铝基材。然而，即使实施这种工序，锻造前的铸造时的粗大晶粒的痕迹有时也会根据加工方向、重复次数等条件而形成晶体取向的不均并残留在铝基材中，该斑痕会在由铝基材加工而成的具有微细凹凸结构的模具（主要为基材表面）中以肉眼难以确认的流痕形式残留。这种情况下，流痕会被转印给薄片构件等。进而，对于具备这种具有微细凹凸结构的阳极氧化铝层的模具，为了改善成型品的脱模性而在表面附着脱模剂。该脱模剂过量附着在具有阳微细凹凸结构的阳极氧化铝层的表面时，会产生微细凹凸结构被脱模剂掩埋、无法将最合适的微细凹凸结构转印到透明基材等的表面的问题。另一方面，脱模剂的量过少时，会有无法获得期望的脱模性的问题。如上所述的阳极氧化铝层表面的微细凹凸结构的形状不均匀、铝基材的残留、脱模剂的过量或过少的附着会对表面具有微细凹凸结构的薄片构件的生产造成不良影响。因此，需要检查阳极氧化铝的表面状态是否良好，但问题是目前为止不存在简便的检查方法。本专利技术的目的在于，提供能够简便地检查上述那样的模具等中所使用的阳极氧化铝等具有微细凹凸结构的构件的表面状态的检查装置及检查方法，以及提供表面具备具有表面状态良好的微细凹凸结构的阳极氧化铝的构件的制造方法。用于解决问题的方案本专利技术的专利技术人等鉴于上述问题进行了深入研究，结果发现，根据阳极氧化铝等具有微细凹凸结构的构件的表面状态是否良好，由这种具有微细凹凸结构的构件的表面反射的光的颜色会发生变化。即，发现由阳极氧化铝反射的光的颜色反映出具有微细凹凸结构的构件的表面状态是否良好的影响。进而，本专利技术的专利技术人等发现，由具有微细凹凸结构的表面反射的光包含关于具有微细凹凸结构的构件的表面状态是否良好的信息，该反射光根据具有微细凹凸结构的构件的表面状态朝着与形成有阳极氧化铝的表面垂直的方向、或者与形成有阳极氧化铝的表面平行的方向发生偏振。而且发现，通过利用偏振板等将偏振方向设置为适当的方向，由阳极氧化铝的表面反射的反射光的颜色变化被增强，从而完成了本专利技术。根据本专利技术，能够提供构件的检查装置，所述构件是表面具有由多个细孔形成的微细凹凸结构的构件，该装置具备：照射单元，对检查对象的构件照射照射光；摄像单元，对由构件反射出的反射光进行拍摄；偏振单元，使照射光或朝向摄像单元入射的反射光偏振；以及图像处理单元，基于由使用摄像单元拍摄出的图像获得的颜色信息来判断构件的表面状态是否良好。根据具有这种结构的本专利技术，可以简便地检查具有微细凹凸结构的表面的状态是否良好。根据本专利技术的其他优选实施方式，偏振单元是以偏振方向相对于与摄像单元的光轴和构件的表面接触的点处的切面相垂直的方向为-50°～50°的方式配置的。根据本专利技术的其他优选实施方式，偏振单元是以偏振方向相对于与摄像单元的光轴和构件的表面接触的点处的切面相平行的方向为-50°～50°的方式配置的。根据本专利技术的其他优选实施方式，图像处理单元判断构件的表面处的脱模剂的附着状态。根据本专利技术的其他优选实施方式，图像处理单元制作能够判断构件的流痕的输出。根据本专利技术的其他优选实施方式，上述构件为表面形成有具有微细凹凸结构的阳极氧化铝层的构件。根据本专利技术的其他优选实施方式，图像处理单元还判断阳极氧化铝层的微细凹凸结构的状态。根据本专利技术的其他优选实施方式，摄像单元是以其光轴与构件的表面的法线成45°以上且小于90°的角度配置的。根据本专利技术的其他优选实施方式，摄像单元输出RGB图像信号作为颜色信息，图像处理单元基于RGB图像信号来判断构件的表面状态。根据本专利技术的其他优选实施方式，摄像单元输出RGB图像信号作为颜色信息，图像处理单元具有将RGB图像信号转换为HSL表色系统信息的转换部，基于HSL表色系统信息来判断构件的表面状态。根据本专利技术的其他实施方式，能够提供一种检查方法，其特征在于，其是构件的检查方法，所述构件是表面具有由多个细孔形成的微细凹凸结构的构件，该方法具备：照射步骤，对检查对象的构件照射照射光；以及摄像步骤，对由构件的表面反射的反射光进行拍摄，利用偏振单元使照射光或要被拍摄的反射光偏振，方法还具备：图像处理步骤，基于由拍摄出的图像获得的颜色信息来判断构件的表面状态是否良好。根据具有这种结构的本专利技术，能够本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查装置，其特征在于，其是构件的检查装置，所述构件是表面具有由多个细孔形成的微细凹凸结构的构件，该装置具备：照射单元，对检查对象的构件照射照射光；摄像单元，对由所述构件反射的反射光进行拍摄；偏振单元，使所述照射光或朝向该摄像单元入射的所述反射光偏振；以及图像处理单元，基于由使用所述摄像单元拍摄出的图像获得的颜色信息来判断所述构件的表面状态是否良好。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.09.26 JP 2011-209705;2011.09.26 JP 2011-209701.一种检查装置，其特征在于，其是构件的检查装置，所述构件是表面
具有由多个细孔形成的微细凹凸结构的构件，该装置具备：
照射单元，对检查对象的构件照射照射光；
摄像单元，对由所述构件反射的反射光进行拍摄；
偏振单元，使所述照射光或朝向该摄像单元入射的所述反射光偏振；以
及
图像处理单元，基于由使用所述摄像单元拍摄出的图像获得的颜色信息
来判断所述构件的表面状态是否良好。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述偏振单元是以偏振方向
相对于与所述摄像单元的光轴和所述构件的表面接触的点处的切面相垂直
的方向为-50°～50°的方式配置的。
3.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述偏振单元是以偏振方向
相对于与所述摄像单元的光轴和所述构件的表面接触的点处的切面相平行
的方向为-50°～50°的方式配置的。
4.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述图像处理单元判断所述
构件的表面处的脱模剂的附着状态。
5.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述图像处理单元制作能够
判断所述构件的流痕的状态的输出。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的构件的检查装置，其中，所述构件
是表面形成有具有微细凹凸结构的阳极氧化铝层的构件。
7.根据权利要求6所述的检查装置，其中，所述图像处理单元判断所述
阳极氧化铝层的微细凹凸结构的状态。
8.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述摄像单元是以其光轴与
所述构件的表面的法线成45°以上且小于90°的角度配置的。
9.根据权利要求1所述的检查装置，其中，
所述摄像单元输出RGB图像信号作为所述颜色信息，
所述图像处理单元基于所述RGB图像信号来判断所述构件的表面状态。
10.根据权利要求1所述的检查装置，其中，
所述摄像单元输出RGB图像信号作为所述颜色信息，
所述图像处理单元具有将所述RGB图像信号转换为HSL表色系统信息
的转换部，基于该HSL表色系统信息来判断所述构件的表面状态。
11.一种检查方法，其特征在于，其是构件的检查方法，所述构件是表
面具有由多个细孔形成的微细凹凸结构的构件，该方法具备：
照射步骤，对检查对象的所述构件照射照射光；
摄像步骤，对由所述构件的表面反射的反射光进行拍摄；
利用偏振单元使所述照射光或要被拍摄的所述反射光偏振；所述方法还
具备：
图像处理步骤，基于由拍摄出的图像获得...

【专利技术属性】
技术研发人员：福山三文，石丸辉太，松原雄二，
申请(专利权)人：三菱丽阳株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP