一种太阳能电池片刻蚀设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种太阳能电池片刻蚀设备，所述设备包括第一碱槽、第一水槽、氢氟酸槽及第二水槽；所述第一碱槽用于容置第一KOH溶液，在电池片处于漂浮状态时对电池片背面进行抛光，以去除所述电池片背面的PN结；所述第一水槽用于去除所述电池片上残留的第一KOH溶液；所述氢氟酸槽用于去除所述电池片正面的磷硅玻璃；所述第二水槽用于去除所述电池片上残留的氢氟酸溶液。本实用新型专利技术的太阳能电池片刻蚀设备可以取消硝酸的使用，从而不需产生含氮废水，减少了对水资源的污染，并降低了废液处理成本，同时还具备RENA刻蚀所具有的边缘刻蚀、背抛光、去PSG(磷硅玻璃)的作用，其中所述边缘刻蚀通过激光刻蚀法实现。

Solar cell slice etching equipment

The utility model provides a solar cell etching apparatus, the apparatus includes a first base, the first slot slot and the two tank water tank, hydrofluoric acid; the first base slot for holding the first KOH solution, in the cell in the polishing of the back surface of a cell floating state, to remove the battery PN junction on the reverse; the first tank for the first KOH solution to remove the residual cell sheet; the groove is used for removing the hydrofluoric acid battery sheet phosphorosilicate glass positive; the second tank for removal of residual hydrofluoric acid solution of the battery on a chip. The utility model of the solar cell etching equipment can cancel the use of nitric acid, which does not generate wastewater containing nitrogen, to reduce the pollution of water resources, and reduce the cost of wastewater treatment, but also has the edge etching and RENA etching with back polishing, PSG (phosphorus silicon glass) the role of the the edge etching by laser etching.

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池片刻蚀设备
本技术属于光伏领域，涉及一种太阳能电池片刻蚀设备。
技术介绍
图1显示为现有太阳能电池片工艺流程，包括如下步骤：清洗制绒、扩散制结、边缘刻蚀/背抛光/去除磷硅玻璃、PECVD镀膜、丝网印刷/烧结。其中，边缘刻蚀/背抛光/去除磷硅玻璃通过RENA刻蚀实现。如图2所示，在太阳能电池片的RENA刻蚀过程中，依次会通过蚀刻槽、第一水槽、碱洗槽、第二水槽、酸洗槽、第三水槽。其中蚀刻槽中的溶液由硝酸、氢氟酸和硫酸的混合液组成，由于混合液的表面张力，电池片漂浮在蚀刻槽溶液上，进行边缘刻蚀及背面抛光，以去除电池片边缘及背面的PN结；第一水槽进行循环喷淋水洗以去除刻蚀后吸附在电池片上的刻蚀液；碱洗槽采用KOH溶液，通过KOH喷淋(两面喷淋)将电池片表面从刻蚀槽中携带的未冲洗干净的酸除去，并去除电池片上的多孔硅及杂质；第二水槽进行循环喷淋水洗以去除吸附在电池片上的碱液；酸洗槽采用氢氟酸溶液，通过HF循环冲刷喷淋去除电池片正面的磷硅玻璃；第三水槽进行循环喷淋水洗去除吸附在电池片上的HF酸液。现有的RENA刻蚀过程在采用第一水槽对电池片进行清洗时会使其含氮，这个过程会产生大量含氮废水。如果含氮废水没有得到好的处理，就会污染水资源。由于含氮废水的处理成本相对较高，会提高了电池片的生产成本。因此，如何提供一种新的太阳能电池片刻蚀设备，以在避免使用硝酸的情况下完成太阳能电池片刻蚀的工艺要求(边缘刻蚀/背抛光/去磷硅玻璃)，杜绝含氮废水的产生，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种太阳能电池片刻蚀设备，用于解决现有技术中硝酸处理晶体硅后会产生含氮废液，容易污染水资源，废液处理成本高的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种太阳能电池片刻蚀设备，所述太阳能电池片刻蚀设备包括：第一碱槽；所述第一碱槽用于容置第一KOH溶液，在电池片处于漂浮状态时对电池片背面进行抛光，以去除所述电池片背面的PN结；第一水槽；所述第一水槽用于去除所述电池片上残留的第一KOH溶液；氢氟酸槽；所述氢氟酸槽用于去除所述电池片正面的磷硅玻璃；第二水槽；所述第二水槽用于去除所述电池片上残留的氢氟酸溶液。可选地，所述太阳能电池片刻蚀设备包括：第一碱槽；所述第一碱槽用于容置第一KOH溶液，在电池片处于漂浮状态时对电池片背面进行抛光，以去除所述电池片背面的PN结；第一水槽；所述第一水槽用于去除所述电池片上残留的第一KOH溶液；第二碱槽；所述第二碱槽用于采用第二KOH溶液喷淋去除所述电池片正面及背面的污染物；第三水槽；所述第三水槽用于去除所述电池片上残留的第二KOH溶液；氢氟酸槽；所述氢氟酸槽用于去除所述电池片正面的磷硅玻璃；第二水槽；所述第二水槽用于去除所述电池片上残留的氢氟酸溶液。可选地，所述第一碱槽中设有若干平行排列的用于承载电池片并传送电池片的滚轮；所述滚轮包括主体轴及若干环绕所述主体轴表面的用于在传动过程中将所述第一KOH溶液带至所述电池片背面的凸纹。可选地，各凸纹之间分立设置且平行排列。可选地，所述凸纹的径面与所述主体轴的轴线垂直。可选地，相邻凸纹之间的距离为1-10毫米。可选地，所述凸纹的高度范围是1-6毫米。可选地，所述凸纹的横截面为三角形、矩形、梯形或锯齿形。可选地，所述第一水槽包括上水刀及下水刀，以对电池片两面进行喷淋。可选地，所述第二水槽均包括上水刀及下水刀，以对电池片两面进行喷淋。可选地，所述氢氟酸槽包括上水刀及下水刀，以采用氢氟酸溶液对电池片两面进行喷淋。如上所述，本技术的太阳能电池片刻蚀设备，具有以下有益效果：使用本技术的太阳能电池片刻蚀设备进行电池片刻蚀，可以取消硝酸的使用，从而不需产生含氮废水，减少了对水资源的污染，并降低了废液处理成本，同时还具备RENA刻蚀所具有的边缘刻蚀、背抛光、去PSG(磷硅玻璃)的作用，其中所述边缘刻蚀通过激光刻蚀法实现。附图说明图1显示为现有太阳能电池片工艺流程图2显示为现有太阳能电池片的RENA刻蚀过程所采用的刻蚀设备。图3a-图3b显示为本技术的太阳能电池片刻蚀设备的结构示意图。图4a-图4b显示为利用本技术的太阳能电池片刻蚀设备进行太阳能电池片制作的工艺流程图。图5显示为利用本技术的太阳能电池片刻蚀设备进行太阳能电池片制作的过程中在第一碱槽中采用第一KOH溶液抛光所述电池片背面的示意图。图6显示为所述滚轮的结构示意图。图7显示为所述滚轮的侧视图。图8-图11分别显示为所述凸纹横截面为三角形、矩形、梯形或锯齿形的示意图。图12显示为利用本技术的太阳能电池片刻蚀设备进行太阳能电池片制作在一种实施方式中的工艺流程。元件标号说明S1～S6，S301～S302步骤1主体轴2凸纹具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图3至图12。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，遂图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。实施例一本技术提供一种太阳能电池片刻蚀设备，请参阅图3a，显示为所述太阳能电池片刻蚀设备的结构示意图，包括第一碱槽、第一水槽、氢氟酸槽及第二水槽。本实施例中，所述第一碱槽、第一水槽、氢氟酸槽及第二水槽依次连续放置，以便于太阳能电池片在各个槽中依次流转。当然，在其他实施例中，所述第一碱槽、第一水槽、氢氟酸槽及第二水槽的相对位置也可以根据需要进行调整，此处不应过分限制本技术的保护范围。具体的，所述第一碱槽用于容置第一KOH溶液，在电池片处于漂浮状态时对电池片背面进行抛光，以去除所述电池片背面的PN结。本实施例中，所述第一碱槽中设有若干平行排列的用于承载电池片并传送电池片的滚轮。本技术中，所述第一碱槽可以代替常规RENA刻蚀工艺中的刻蚀槽实现对电池片背面的抛光，从而可以取消硝酸的使用，不需产生含氮废水，减少了对水资源的污染，并降低了废液处理成本。由于KOH溶液的表面张力不如硝酸/氢氟酸/硫酸混合液的表面张力，本实施例中，为了实现电池片经过第一碱槽时处于漂浮状态，将传统的内部行走滚轮改为凸纹状滚轮。传统的内部行走滚轮包括主体轴及套设于所述主体轴上的橡胶圈，且相邻橡胶圈之间的间距较大(只要保证间距小于电池片宽度，防止电池片掉下即可)。而本技术中的凸纹状滚轮包括主体轴及若干环绕所述主体轴表面的用于在传动过程中将所述第一KOH溶液带至所述电池片背面的凸纹。作为示例，各凸纹之间分立设置且平行排列，且所述凸纹的径面与所述主体轴的轴线垂直(如图6及图7所示)，以防止电池片在传送过程中跑偏。当然，在其他实施例中，也可采用其它可以防止电池片跑偏的凸纹排布方式，此处不应过分限制本技术的保护范围。作为示例，所述凸纹的横截面包括但不限于三角形、矩形、梯形、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池片刻蚀设备，其特征在于，所述太阳能电池片刻蚀设备包括：第一碱槽；所述第一碱槽用于容置第一KOH溶液，在电池片处于漂浮状态时对电池片背面进行抛光，以去除所述电池片背面的PN结；第一水槽；所述第一水槽用于去除所述电池片上残留的第一KOH溶液；氢氟酸槽；所述氢氟酸槽用于去除所述电池片正面的磷硅玻璃；第二水槽；所述第二水槽用于去除所述电池片上残留的氢氟酸溶液。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池片刻蚀设备，其特征在于，所述太阳能电池片刻蚀设备包括：第一碱槽；所述第一碱槽用于容置第一KOH溶液，在电池片处于漂浮状态时对电池片背面进行抛光，以去除所述电池片背面的PN结；第一水槽；所述第一水槽用于去除所述电池片上残留的第一KOH溶液；氢氟酸槽；所述氢氟酸槽用于去除所述电池片正面的磷硅玻璃；第二水槽；所述第二水槽用于去除所述电池片上残留的氢氟酸溶液。2.根据权利要求1所述的太阳能电池片刻蚀设备，其特征在于：所述太阳能电池片刻蚀设备还包括：第二碱槽；所述第二碱槽用于采用第二KOH溶液喷淋去除所述电池片正面及背面的污染物；第三水槽；所述第三水槽用于去除所述电池片上残留的第二KOH溶液。3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池片刻蚀设备，其特征在于：所述第一碱槽中设有若干平行排列的用于承载电池片并传送电池片的滚轮；所述滚轮包括主体轴及若干环绕所述主体轴表面的用于在传...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯希满，童锐，杨大谊，
申请(专利权)人：太极能源科技昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32