一种高真空质量流量计制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高真空质量流量计，包括经过预排气处理的流量计内管及设于流量计内管外且经过预排气处理的罩壳，所述流量计内管与罩壳之间的真空度至少达到3.0e‑3Pa。本实用新型专利技术的技术目的在于提供一种用于深冷行业的高真空质量流量计，能够提高其使用寿命及计量精度。

High vacuum mass flowmeter

The utility model discloses a high vacuum mass flowmeter, including through the flow of exhaust pipe and pre processing on the outside of the inner pipe flowmeter and after casing exhaust pre processing, between the inner tube and the flow meter cover vacuum degree of at least 3.0E 3Pa. The technical purpose of the utility model is to provide a high vacuum mass flow meter used in the cryogenic industry, which can improve the service life and the measuring accuracy.

【技术实现步骤摘要】
一种高真空质量流量计
本技术涉及流量测量
，特别涉及一种高真空质量流量计。
技术介绍
目前，用于深冷行业的质量流量计的隔热为在测量管与罩壳之间填充有保温隔热材料，而这种用于深冷行业的质量流量计长期在低温工况下使用，质量流量计的表面容易结冰，质量流量计外部震动及传感器自身震动发生改变都会影响其测量精度，因此就会影响其计量性能，降低流量计的测量精度，降低质量流量计的精准性，同时质量流量计的使用寿命也较短。
技术实现思路
针对上述质量流量计存在的不足，本技术的技术目的在于提供一种用于深冷行业的高真空质量流量计。本技术通过以下技术方案实现：本技术的高真空质量流量计，包括经过预排气处理的测量管及设于测量管外且经过预排气处理的罩壳，所述测量管与罩壳形成真空腔，所述测量管与罩壳之间的真空腔的真空度至少达到3.0e-3Pa，所述测量管的一端连接有进液管，所述测量管的另一端连接有出液管，所说进液管及出液管均经过预排气处理，预排气处理是通过真空钎焊炉加热，并对材料保温，达到除真空排气处理，使金属材料残存内气体排出金属体外。本技术的高真空质量流量计，所述流量计内管与罩壳之间的真空区域内设有低温吸附剂。本技术的高真空质量流量计，所述低温吸附剂为两个，分别设于流量计内管的两端。本技术的高真空质量流量计，所述低温吸附剂设于烧结滤网内部，所述烧结滤网通过氩弧焊焊接在测量管或罩壳上。本技术的高真空质量流量计，所述罩壳上设有真空密封装置。本技术的高真空质量流量计，所述真空密封装置包括阀芯、第一密封圈、真空保护罩及阀座，所述阀座为筒形，阀座一端设于罩壳本体上，阀座的另一端开口的内壁设有锥面，所述阀芯为柱形，阀芯的外圆柱面上设有用于安装第一密封圈的凹槽，第一密封圈与阀座内壁形成密封，阀芯外端部设有与锥面配合的凸起部，所述阀座外部设有将阀座罩住的真空保护罩。本技术的高真空质量流量计，所述真空保护罩与阀座之间设有使得真空保护罩与阀座之间密封的第二密封圈。本技术的高真空质量流量计，所述阀座与第二密封圈配合安装的外圆柱面及阀座与第一密封圈配合安装的内圆柱面的粗糙度小于或等于0.8。本技术的有益效果是:通过对质量流量计的罩壳及内管进行预排气处理，并且使得流量计内管与罩壳之间的真空度至少达到3.0e-3Pa，从而在流量计内管与罩壳之间形成高真空，从而能够使得真空质量流量计能够长期在深冷工况下使用，大大降低表面结冰程度，使得流量计的震动模态在使用过程中保持一致，进一步保证质量流量计性能更加稳定可靠，提升其测量精度，也提升了质量流量计的使用外观；通过增加的低温吸附剂，能够使得流量计内部的真空度的真空状态维持10年以上，大大提高质量流量计在深冷行业的使用寿命。附图说明图1是高真空质量流量计的结构示意图；图2是真空密封装置的结构示意图。图中标记：1为测量管、2为罩壳、3为低温吸附剂、4为真空密封装置、41为阀芯、42为第一密封圈、43为第二密封圈、44为真空保护罩、45为阀座、46为锥面、47为凸起部、48为卡槽、49为凸环、5为检测线圈、6为激励线圈、7为进液管、8为出液管、9为固定块。具体实施方式下面结合附图对本技术作详细描述。如图1及图2所示的高真空质量流量计，包括均经过预排气处理的罩壳2和测量管1，测量管1为两根，也可为一根，为两根测量管时，两测量管1通过固定块9固定，能够起到减震作用，所述测量管1呈“U”形结构或三角形结构，三角形结构包括正三角形与倒三角形结构，所述测量管1套设于罩壳2内，且测量管1位于罩壳2的中央，即测量管与罩壳之间的距离相等，测量管1通有低温介质，将测量管1安装在罩壳2的中央位置，能够避免测量管1偏移，从而造成的局部低温，从而引起局部形变及局部应力集中，从而影响真空流量计的寿命，而现有的质量流量计填充的隔热保温材料就会造成此种现象，从而大大降低了质量流量计的寿命及质量流量计的测量精度，使得质量流量计的此类高精度保持时间大大降低；所述测量管1的一端连接有进液管7，所述测量管的另一端连接有出液管8,对进液管7及出液管8进行预排气处理，从而能够使得测量管1与罩壳2之间的腔体长时间保持高真空度状态；所述罩壳2呈现“U”形结构，且所述罩壳2的两端分别与进出液管密封，“U”形的结构能够使得测量管1在激励线圈的作用下的震动更线性，使得测量的精度更加精准，所述罩壳2的中部设有真空密封装置4，使所述罩壳2内形成至少为3.0e-3Pa的真空状态，在罩壳2内形成的真空状态还可为4.0e-3Pa、5.0e-3Pa、1.0e-4Pa、2.0e-4Pa、3.0e-4Pa、4.0e-4Pa、5.0e-4Pa、6.0e-4Pa、7.0e-4Pa、8.0e-4Pa、9.0e-4Pa、1.0e-5Pa、2.0e-5Pa、3.0e-5Pa、4.0e-5Pa、5.0e-5Pa、6.0e-5Pa或7.0e-5Pa，最好为3.0e-5Pa，测量管1内通有被测介质，流量计的内管1上配合安装有用于检测内管1震动的激励线圈6及用于检测内管1震动情况的检测线圈6，再将测得的数据通过计算处理，从而测得流体的质量。金属在制造过程中，内部均残存有气体，气体以化合物、残渣、气泡等形式存在，需要通过真空加热排除金属材料内气体；预排气处理是通过真空钎焊炉加热，并对材料保温，达到除真空排气处理，真空钎焊炉真空泵可以达到真空度为5.0e-3Pa，使金属材料残存内气体排出金属体外。在质量流量计内部设有检测线圈及激励线圈，对检测线圈及激励线圈也可进行预排气处理，使得流量计内的真空度能够保持更长时间，维持其测量的准确性。这种真空质量流量计能够长期在深冷工况下使用，而能够保证其表面不结冰，保持其振动模态的稳定性，保证其测量的精确性。所述测量管1的一端连接有进液管7，所述测量管的另一端连接有出液管8，所说进液管7及出液管8均经过预排气处理，从而能够使得流量计的真空度保持更好，持续时间更长。所述测量管1与罩壳2之间的真空区域内设有低温吸附剂3，在低温下低温吸附剂可通过烧结滤网吸附传感器内部残余空气分子，以提高传感器内部真空度。所述低温吸附剂3为两个，分别设于测量管1的两端；所述低温吸附剂3设于烧结滤网内部，所述烧结滤网通过氩弧焊焊接在测量管1或罩壳2上，从而能够便于安装低温吸附剂3，并且能够有利于吸附流量计内的气体。将烧结滤网设于罩壳2的内壁，能够避免影响测量管1的震动，以提高测量的精准性。通过罩壳2上设有的真空密封装置4能够在安装好低温吸附剂后，能够将低温吸附剂封装在流量计内，通过粗抽真空，降低低温吸附剂与大气的接触时间，保证低温吸附剂后续的真空吸附性能。所述真空密封装置4包括阀芯41、第一密封圈42、真空保护罩44及阀座45，所述阀座45为筒形，阀座45一端设于罩壳2本体上，阀座45的另一端开口的内壁设有锥面46，所述阀芯41为柱形，阀芯41的外圆柱面上设有用于安装第一密封圈42的凹槽，第一密封圈42与阀座45内壁形成密封，阀芯41外端部设有与锥面46配合的凸起部47，所述阀座45外部设有将阀座45罩住的真空保护罩44。所述真空保护罩44与阀座45之间设有使得真空保护罩44与阀座45之间密封的第二密封圈43。所述阀座45与第二密封圈本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高真空质量流量计，其特征在于，包括经过预排气处理的测量管（1）及设于测量管（1）外且经过预排气处理的罩壳（2），所述测量管（1）与罩壳（2）形成真空腔，所述测量管（1）与罩壳（2）之间的真空腔的真空度至少达到3.0e‑3Pa。

【技术特征摘要】
1.一种高真空质量流量计，其特征在于，包括经过预排气处理的测量管（1）及设于测量管（1）外且经过预排气处理的罩壳（2），所述测量管（1）与罩壳（2）形成真空腔，所述测量管（1）与罩壳（2）之间的真空腔的真空度至少达到3.0e-3Pa。2.根据权利要求1所述的高真空质量流量计，其特征在于，所述测量管（1）的一端连接有进液管（7），所述测量管的另一端连接有出液管（8），所述进液管（7）及出液管（8）均经过预排气处理。3.根据权利要求1或2所述的高真空质量流量计，其特征在于，所述测量管（1）与罩壳（2）之间的真空区域内设有低温吸附剂（3）。4.根据权利要求3所述的高真空质量流量计，其特征在于，所述低温吸附剂（3）为两个，分别设于测量管（1）的两端。5.根据权利要求4所述的高真空质量流量计，其特征在于，所述低温吸附剂（3）设于烧结滤网内部，所述烧结滤网通过氩弧焊焊接在测量管（1）或罩壳（2）上。6.根据权利要求1所述的高真空质量流量计，其特征在于，所述罩壳（2）上设有真空密封装置（4）。7.根据权利要求6所述的高真空质量流量计，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟骁，宁扬忠，倪周博，韩亮，曾学兵，黎敏，
申请(专利权)人：成都安迪生精测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51