【技术实现步骤摘要】
多晶硅铸锭炉进气装置
本技术涉及一种多晶硅电池片生产
,特别涉及一种多晶硅铸锭炉的升级改造,尤其是一种多晶硅铸锭炉的进气装置。
技术介绍
多晶硅电池片的生产工序包括:坩埚喷涂→填料→铸锭→切割成块→线割成片→清洗干燥→检测→包装,其中,铸造多晶硅锭是一道重要的工艺,多晶硅铸锭的质量将直接影响太阳能电池的转换效率和质量。铸造多晶硅锭,是将填料后的坩埚放置在铸锭炉内,经过炉腔抽空、加热、熔化、长晶、退火、冷却后,完成硅锭的铸造。现有技术中多晶硅铸锭炉内设有顶部加热器和侧面加热器,顶部加热器和侧面加热器设为一体,通过顶部铜电极与炉体固定,顶部加热器和侧面加热器提供热量。在多晶硅锭铸造的整个过程中,为保证硅铸锭生产过程中适当的压力及周围的气氛一致,并及时带走从硅原料中挥发出的杂质,需要持续从石英坩埚上方通过石墨盖板中央的开孔通入保护气体,并流经硅料表面。通过是直接在石墨盖板上开进气孔,然后通过进气管将保护气以直通的方式通入内腔以带走杂质气体,但直通的方式不能形成有效的回流,因而通常存在杂质气体去除效果不好的状况。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术提供了一种多晶硅铸锭炉进气装置,以提高进气效率并提高杂质排出效率。为达到上述目的,本技术的技术方案如下:一种多晶硅铸锭炉进气装置,所述铸锭炉包括:炉体,所述炉体上设置有进气管,所述炉体内设置有保温护罩,所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台,所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部 ...
【技术保护点】
一种多晶硅铸锭炉进气装置,所述铸锭炉包括:炉体,所述炉体上设置有进气管,所述炉体内设置有保温护罩,所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台,所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热,所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑,所述散热平台支撑所述石墨护罩;其特征在于,所述进气管的出口处设置有高纯度耐高温材质制备的螺旋桨,通过进气管的高速保护气气流冲击螺旋桨后使螺旋桨旋转,进而使得进入所述石墨护罩腔室内的保护气形成有效的螺旋流动,并进一步带动硅液流动而有效排出硅液内部杂质,废气通过设置在所述石墨护罩上的排气孔导出至所述石墨护罩的腔室外部。
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅铸锭炉进气装置,所述铸锭炉包括:炉体,所述炉体上设置有进气管,所述炉体内设置有保温护罩,所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台,所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热,所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑,所述散热平台支撑所述石墨护罩;其特征在于,所述进气管的出口处设置有高纯度耐高温材质制备的螺旋桨,通过进气管的高速保护气气流冲击螺旋桨后使螺旋桨旋转,进而使得进入所述石墨护罩腔...
【专利技术属性】
技术研发人员:蒋兴贤,
申请(专利权)人:常州兆晶光能有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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