The invention discloses an integrated circuit including cleaning brush, rubber balloon blowing, set, air duct, dust collecting bottle, fan, filter, brush, vacuum tube, sleeve, anti-static rubber sleeve, a rubber balloon blowing air outlet is connected with the guide pipe, air duct outlet corresponding fan, a paste installed in the rubber balloon blowing side, dust collecting bottle screws installed in the upper fan, filter screw is mounted on the lower end of the sleeve is installed in the outer sleeve, brush bottom, vacuum tube installed in the sleeve bottom diameter, anti-static rubber sleeve is sheathed on the outer wall of the sleeve, an integrated circuit cleaning brush, brush the outer diameter of the installation in the sleeve bottom end, for dust combing of the integrated circuit board, vacuum tube installed in the sleeve bottom diameter, rubber extrusion blowing balloons, rubber balloon blowing by an air driven fan, fan driven air convection Dust inhalation into the dust bottle, filter screen, filter impurities, anti-static rubber sleeve, with good anti-static function.
【技术实现步骤摘要】
一种集成电路清洁毛刷
本专利技术涉及集成电路领域,特别是一种集成电路清洁毛刷。
技术介绍
为集成电路元器件的载体,半导体基板在原初状态下的性能愈发的引起了行业的关注。研究表明,半导体基板遍历尽可能多的必要加工工艺对基板产品整体良率的提高有很大的促进作用,根据产品的需要,这些可能的加工工艺包括但不限于刻蚀、显影、涂胶以及研磨等工艺。由于各个工艺之间相对独立,每一工艺步骤中所使用的化学药剂也不尽相同,所以半导体基板通常每完成一道或几道工序之后,对基板进行清洗处理的工作不可或缺。这也是为什么半导体行业对清洁机台的需求异常旺盛的原因。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种集成电路清洁毛刷。为实现上述目的本专利技术采用以下技术方案:一种集成电路清洁毛刷,包括橡胶吹气球、套把、导气管、集尘瓶、扇叶、过滤网、毛刷、吸尘管、套筒、防静电胶套,橡胶吹气球出气口连接导气管,导气管出气口对应扇叶,套把黏贴安装在橡胶吹气球一侧,集尘瓶螺钉安装在扇叶上端,过滤网螺钉安装在套筒下端,毛刷安装在套筒底端外径上,吸尘管安装在套筒底端内径上,防静电胶套套装在套筒外壁。优选的,所述扇叶由旋转中轴和扇片组成,旋转中轴杆体上胶接有扇片。优选的,所述集尘瓶螺纹安装在套筒内径,可单独拆装。与现有技术相比,本专利技术具有以下优点:一种集成电路清洁毛刷,毛刷安装在套筒底端外径上,用于梳理集成电路板的灰尘,吸尘管安装在套筒底端内径上,挤压橡胶吹气球,橡胶吹气球通过导气管带动扇叶,扇叶旋转带动空气对流,将灰尘吸入集尘瓶内部,过滤网过滤杂质,防静电胶套具有很好的防静电功能。附图说明图1为 ...
【技术保护点】
一种集成电路清洁毛刷,其特征在于,包括橡胶吹气球(1)、套把(2)、导气管(3)、集尘瓶(4)、扇叶(5)、过滤网(6)、毛刷(7)、吸尘管(8)、套筒(9)、防静电胶套(10),橡胶吹气球(1)出气口连接导气管(3),导气管(3)出气口对应扇叶(5),套把(2)黏贴安装在橡胶吹气球(1)一侧,集尘瓶(4)螺钉安装在扇叶(5)上端,过滤网(6)螺钉安装在套筒(9)下端,毛刷(7)安装在套筒(9)底端外径上,吸尘管(8)安装在套筒(9)底端内径上,防静电胶套(10)套装在套筒(9)外壁。
【技术特征摘要】
1.一种集成电路清洁毛刷,其特征在于,包括橡胶吹气球(1)、套把(2)、导气管(3)、集尘瓶(4)、扇叶(5)、过滤网(6)、毛刷(7)、吸尘管(8)、套筒(9)、防静电胶套(10),橡胶吹气球(1)出气口连接导气管(3),导气管(3)出气口对应扇叶(5),套把(2)黏贴安装在橡胶吹气球(1)一侧,集尘瓶(4)螺钉安装在扇叶(5)上端,过滤网(6)螺钉安装在套筒(9)下端,毛...
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