玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术的玻璃板的制造方法具备：成形步骤，使熔融玻璃自成形体流下而成形玻璃板；及冷却步骤，一面通过配置在成形体的下方的一对辊将成形步骤中所成形的玻璃板向下方搬送，一面通过以在玻璃板的搬送方向上温度依序降低的方式控制玻璃板的温度的加热器而冷却玻璃板；且在冷却步骤中，一对辊一面被以抑制由热所致的变形的方式冷却一面夹持玻璃板，加热器对通过一对辊而冷却的玻璃板的区域的温度以在玻璃板的宽度方向上变得均匀的方式控制。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置
本专利技术涉及一种玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置。
技术介绍
业界使用利用下拉法而制造玻璃板(板玻璃)的方法。通过下拉法而成形的板玻璃包含：板厚大致固定的制品区域(宽度方向中央区域)；及板厚较制品区域厚的位于制品区域的宽度方向的两端的端部(耳部)。为了将所成形的板玻璃稳定地朝下方向搬送，而通过搬送辊夹持板玻璃的制品区域与端部的交界区域。此外，板玻璃是以使翘曲、应变满足固定的品质基准的方式冷却(缓冷)。具体而言，以使翘曲及应变成为特定值的方式，沿行进方向预先设计有板玻璃的宽度方向的温度分布。即，通过以成为预先设计的温度分布的方式执行温度管理，而可制造具有预先设定的翘曲、应变的值的玻璃板。由此，可制造满足客户方的翘曲及应变的品质基准的玻璃板。因此，利用冷却装置或加热器等以板玻璃成为所设计的温度分布的方式进行严格的温度管理。[先前技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2013-212987号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]为了抑制在对板玻璃一面搬送一面进行冷却时用于板玻璃的搬送的搬送辊因热而变形，而以搬送辊的温度成为固定以下的方式进行冷却。当搬送辊被冷却时，搬送辊与板玻璃的温度差变大，进而，当板玻璃变薄而板玻璃的保有热变小时，存在板玻璃变得易于受搬送辊的影响，难以基于特定的温度分布而成形搬送辊夹持板玻璃的区域的情形。因此，本专利技术的目的在于提供一种玻璃板的制造方法、及玻璃板的制造装置，即便为较薄的玻璃板，于在搬送辊夹持板玻璃的区域欲再现所设计的温度分布的情形时也可容易地实现该温度分布，从而能够高精度地获得玻璃板的平面度(翘曲量)。[解决问题的技术手段]本专利技术包含以下形态。(形态1)一种玻璃板的制造方法，其特征在于具备：成形步骤，使熔融玻璃自成形体流下而成形玻璃板；及冷却步骤，一面通过配置在所述成形体的下方的一对辊将所述成形步骤中所成形的所述玻璃板向下方搬送，一面通过以在所述玻璃板的搬送方向上温度依序降低的方式控制所述玻璃板的温度的加热器而冷却所述玻璃板；且在所述冷却步骤中，所述一对辊一面被以抑制由热所致的变形的方式冷却一面夹持所述玻璃板，所述加热器对通过所述一对辊而冷却的所述玻璃板的区域的温度以在所述玻璃板的宽度方向上变得均匀的方式控制。(形态2)如形态1，其中在所述成形步骤中成形玻璃板，该玻璃板具有所述玻璃板的宽度方向的两端、及介于所述两端的所述玻璃板的厚度较所述两端的所述玻璃板的厚度薄的宽度方向中央区域，在所述冷却步骤中，所述一对辊夹持所述宽度方向中央区域与所述端之间的区域，所述加热器在所述辊夹持之前以所述宽度方向中央区域的温度变得均匀，且所述辊夹持的夹持区域的温度变得高于所述宽度方向中央区域的温度的方式控制所述玻璃板的温度。(形态3)如形态1或2，其中在所述冷却步骤中，所述加热器在所述辊夹持所述玻璃板之前，以使所述夹持区域的温度分布朝向介于所述两端的所述玻璃板的厚度较所述两端的所述玻璃板的厚度薄的宽度方向中央区域及所述端而降低的方式控制所述玻璃板的温度。(形态4)如形态1至3中任一项的形态，其中所述加热器包含有在所述宽度方向上被分割为多个的分割加热器，所述分割加热器包含设置在与所述辊夹持的夹持区域对应的宽度方向的位置的夹持区域对应加热器。(形态5)如形态4，其中所述分割加热器除包含所述夹持区域对应加热器以外，还包含中央区域对应加热器，该中央区域对应加热器设置在与介于所述玻璃板的宽度方向的两端的所述玻璃板的厚度较所述两端的所述玻璃板的厚度薄的宽度方向中央区域对应的宽度方向的位置，使所述夹持区域对应加热器距所述玻璃板的距离远于所述中央区域对应加热器距所述玻璃板的距离，在所述辊夹持所述玻璃板之前，以所述夹持区域的温度变得高于所述宽度方向中央区域的温度的方式控制所述夹持区域对应加热器的输出。(形态6)如形态5，其中所述宽度方向中央区域具有包含所述宽度方向的中心的第1中央区域、及位于所述第1中央区域与所述夹持区域之间的第2中央区域，所述中央区域对应加热器包含设置在与所述第1中央区域对应的宽度方向的位置的第1中央区域对应加热器、及设置在与所述第2中央区域对应的宽度方向的位置的第2中央区域对应加热器，使所述第2中央区域对应加热器距所述玻璃板的距离远于所述第1中央区域对应加热器距所述玻璃板的距离，在所述辊夹持所述玻璃板之前，以使所述第2中央区域的温度变得部分性地高于所述第1中央区域的温度的方式控制所述第2中央区域对应加热器的输出。(形态7)如形态3，其中所述夹持区域的所述温度分布的最高温度与所述宽度方向中央区域的温度之间的温度差，自所述玻璃板的所述搬送方向的上游侧朝向下游侧而慢慢变小。(形态8)如形态1至7中任一项的形态，其中在所述玻璃板与所述加热器之间以与所述玻璃板的表面对向的方式配置有均热板，通过利用所述均热板使所述加热器的所述宽度方向的热分布变得平稳，而控制所述玻璃板的温度分布。(形态9)一种玻璃板的制造装置，其特征在于具备：成形体，其使熔融玻璃流下而成形玻璃板；一对辊，其等配置在所述成形体的下方，将所述玻璃板向下方搬送；及加热器，其以在所述玻璃板的搬送方向上温度依序降低的方式控制所述玻璃板的温度；且所述一对辊一面被以抑制由热所致的变形的方式冷却一面夹持所述玻璃板，所述加热器对通过所述一对辊而冷却的所述玻璃板的区域的温度以在所述玻璃板的宽度方向上变得均匀的方式控制。[专利技术的效果]根据本专利技术，即便为较薄的玻璃板，在欲在搬送辊夹持板玻璃的区域再现所设计的温度分布的情形时也可实现所设计的温度分布，从而可高精度地获得玻璃板的平面度(翘曲量)。附图说明图1是本实施方式的玻璃板的制造方法的流程图。图2是表示玻璃板的制造方法中所使用的玻璃板的制造装置的示意图。图3是成形装置的概略的概略图(剖视图)。图4是成形装置的概略的概略图(侧视图)。图5是控制装置的控制方块图。图6是自背面侧观察控制冷却腔室内的环境温度的加热器的图。图7是自上游侧观察图6的图。图8是表示冷却步骤中的板玻璃的特定高度位置的温度分布的图。图9是表示冷却步骤中的板玻璃的特定高度位置的板玻璃的温度分布的图。图10是表示冷却步骤中的分割加热器的配置例的图。具体实施方式在本实施方式的玻璃板(玻璃基板)的制造方法中，例如制造TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)显示器用的玻璃基板。玻璃板是利用下拉法而制造。以下，参照图式对本实施方式的玻璃基板的制造方法进行说明。(1)玻璃板的制造方法的概要首先，参照图1及图2，对玻璃基板的制造方法中所包含的多个步骤及多个步骤中所使用的玻璃基板的制造装置100进行说明。玻璃基板的制造方法如图1所示，主要包含熔融步骤S1、澄清步骤S2、成形步骤S3、冷却步骤S4、及切断步骤S5。熔融步骤S1是将玻璃的原料熔融的步骤。玻璃的原料在以成为所期望的组成的方式调配之后，如图2所示投入至配置在上游的熔融装置11中。玻璃原料例如包含SiO2、Al2O3、B2O3、CaO、SrO、BaO等组成。具体而言，使用应变点为660℃以上的玻璃原料。玻璃的原料在熔融装置11中熔融而成为熔融玻璃FG。熔融温度是根据玻璃的种类而调整。在本实施方式中，玻璃原料在1500℃～1650本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃板的制造方法，其特征在于具备：成形步骤，使熔融玻璃自成形体流下而成形玻璃板；及冷却步骤，一面通过配置在所述成形体的下方的一对辊将所述成形步骤中所成形的所述玻璃板向下方搬送，一面通过以在所述玻璃板的搬送方向上温度依序降低的方式控制所述玻璃板的温度的加热器而冷却所述玻璃板；且在所述冷却步骤中，所述一对辊一面被以抑制由热所致的变形的方式冷却一面夹持所述玻璃板，所述加热器对通过所述一对辊而冷却的所述玻璃板的区域的温度以在所述玻璃板的宽度方向上变得均匀的方式控制。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.27 JP 2014-2668801.一种玻璃板的制造方法，其特征在于具备：成形步骤，使熔融玻璃自成形体流下而成形玻璃板；及冷却步骤，一面通过配置在所述成形体的下方的一对辊将所述成形步骤中所成形的所述玻璃板向下方搬送，一面通过以在所述玻璃板的搬送方向上温度依序降低的方式控制所述玻璃板的温度的加热器而冷却所述玻璃板；且在所述冷却步骤中，所述一对辊一面被以抑制由热所致的变形的方式冷却一面夹持所述玻璃板，所述加热器对通过所述一对辊而冷却的所述玻璃板的区域的温度以在所述玻璃板的宽度方向上变得均匀的方式控制。2.根据权利要求1所述的玻璃板的制造方法，其中在所述成形步骤中成形玻璃板，该玻璃板具有所述玻璃板的宽度方向的两端、及介于所述两端的所述玻璃板的厚度较所述两端的所述玻璃板的厚度薄的宽度方向中央区域，且在所述冷却步骤中，所述一对辊夹持所述宽度方向中央区域与所述端之间的区域，所述加热器在所述辊夹持所述玻璃板之前，以所述宽度方向中央区域的温度变得均匀，且所述辊夹持的夹持区域的温度变得高于所述宽度方向中央区域的温度的方式控制所述玻璃板的温度。3.根据权利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其中在所述冷却步骤中，所述加热器在所述辊夹持所述玻璃板之前，以所述夹持区域的温度分布朝向介于所述两端的所述玻璃板的厚度较所述两端的所述玻璃板的厚度薄的宽度方向中央区域及所述端而降低的方式控制所述玻璃板的温度。4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中所述加热器包含有在所述宽度方向上被分割为多个的分割加热器，且所述分割加热器包含设置在与所述辊夹持的夹持区域对应的宽度方向的位置的夹持区域对应加热器。5.根据权利要求4所述的玻璃板的制造方法，其中所述分割加热器除包含所述夹持区域对应加热器以外，还包含中央区域对应加热器，该中央区域对应加热器设置在与介于所述玻璃板的宽度方向的两端的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：中嶋公彦，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，安瀚视特股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP