【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉连续加料的旋转阀
本技术涉及单晶硅生产设备,尤其涉及一种单晶炉连续加料的旋转阀。
技术介绍
在单晶硅的拉制过程中,为达到产能的最大化,需要进行多次加料。外接加料装置都具备良好的密封性,为了确保真空无泄漏,当需要外部向炉内加料时,需要打开阀门,颗粒状的硅材料和粉尘会污染密封圈,导致关闭阀门时,真空密封不良,造成真空泄漏,炉内氧化,影响产品质量,甚至无法正常维持生产工艺而进行报废处理。因此,有必要对其进行改进,以克服上述缺陷。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种单晶炉连续加料的旋转阀,以避免加料过程对密封装置造成污染。本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是,一种单晶炉连续加料的旋转阀,包括阀体,其中:阀体中设有转轴,该转轴向阀体外部伸出,其末端设有驱动杆,阀体两端分别具有进料口与出料口,阀体内设有阀板,阀板的形状与出料口适配,转轴上具有支承件,阀板固定于该支承件上,转轴转动时可带动支承件与阀板移动,由阀板将出料口开启或关闭;阀体外设有送料管,该送料管一端与加料装置连通,其另一端伸入进料口,阀体上装设有密封波纹管,密封波纹管罩覆于送料管外部,密封波纹管底部具有定位环,定位环沿进料口边缘设置,并与阀体固定连接,密封波纹管顶部具有法兰环,法兰环内圈固定于送料管外壁;阀体上设有顶升气缸与导柱,顶升气缸的缸体固定于阀体外壁,其活塞杆与法兰环相接,导柱与送料管及顶升气缸的活塞杆相互平行,其底端固定于阀体外壁,法兰环中具有滑孔,导柱从该滑孔中穿过,由顶升气缸带动送料管沿导柱移动。阀体的横截面为圆形,转轴沿阀体的轴线设置,进料口及出料口位于轴线一侧。出料口内侧具有嵌槽, ...
【技术保护点】
一种单晶炉连续加料的旋转阀,包括阀体,其特征在于:阀体中设有转轴,该转轴向阀体外部伸出,其末端设有驱动杆,阀体两端分别具有进料口与出料口,阀体内设有阀板,阀板的形状与出料口适配,转轴上具有支承件,阀板固定于该支承件上,转轴转动时可带动支承件与阀板移动,由阀板将出料口开启或关闭;阀体外设有送料管,该送料管一端与加料装置连通,其另一端伸入进料口,阀体上装设有密封波纹管,密封波纹管罩覆于送料管外部,密封波纹管底部具有定位环,定位环沿进料口边缘设置,并与阀体固定连接,密封波纹管顶部具有法兰环,法兰环内圈固定于送料管外壁;阀体上设有顶升气缸与导柱,顶升气缸的缸体固定于阀体外壁,其活塞杆与法兰环相接,导柱与送料管及顶升气缸的活塞杆相互平行,其底端固定于阀体外壁,法兰环中具有滑孔,导柱从该滑孔中穿过,由顶升气缸带动送料管沿导柱移动。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉连续加料的旋转阀,包括阀体,其特征在于:阀体中设有转轴,该转轴向阀体外部伸出,其末端设有驱动杆,阀体两端分别具有进料口与出料口,阀体内设有阀板,阀板的形状与出料口适配,转轴上具有支承件,阀板固定于该支承件上,转轴转动时可带动支承件与阀板移动,由阀板将出料口开启或关闭;阀体外设有送料管,该送料管一端与加料装置连通,其另一端伸入进料口,阀体上装设有密封波纹管,密封波纹管罩覆于送料管外部,密封波纹管底部具有定位环,定位环沿进料口边缘设置,并与阀体固定连接,密封波纹管顶部具有法兰环,法兰环内圈固定于送料管外壁;阀体上设有顶升气缸与导柱,顶升气缸的缸体固定于阀体外壁,其活塞杆与法兰环相接,导...
【专利技术属性】
技术研发人员:曾国伟,乔晓东,
申请(专利权)人:嘉兴耐进新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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