蒸发源装置及蒸发镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种蒸发源装置及蒸发镀膜设备，包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置设置有喷嘴组和角度板，所述喷嘴组包括多个喷嘴，所述角度板位于所述喷嘴组两侧，所述角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。本实用新型专利技术将分离式的角度板变为只形成一个蒸发出口的角度板，确保多种材料从同一个蒸发出口蒸镀到玻璃基板上，保证多种材料混合度更加均一，从而保证蒸镀到玻璃基板上的膜层不会因材料蒸发的角度问题出现分层现象，可提高Profile重合性(＞80％)，继而保证了器件具有更高的效率。

【技术实现步骤摘要】
蒸发源装置及蒸发镀膜设备
本技术涉及蒸发镀膜
，特别是指一种蒸发源装置及蒸发镀膜设备。
技术介绍
板显示包括LCD(液晶显示器)显示、OLED(有机电致发光二极管)显示、PDP(等离子显示板)显示和电子墨水显示等多种，OLED显示具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域、可以实现柔性显示等优点，是下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括PMOLED(PassivematrixOrganicLight-EmittingDiode，被动矩阵有机电激发光二极管)显示和AMOLED(ActivematrixOrganicLight-EmittingDiode，主动矩阵有机发光二极体)显示。其中AMOLED显示的实现方式有低温多晶硅(LTPS)背板+精细金属掩膜(FMMMask)的方式，和Oxide(氧化物)背板+WOLED(白光有机电致发光二极管)+彩膜的方式。前者主要应用于小尺寸面板，对应手机和移动应用；后者主要应用于大尺寸面板，对应显示屏和电视等应用。现在LTPS背板+FMMMask的方式已经初步成熟，并实现了量产。精细金属掩膜(FMMMask)模式，是通过蒸镀方式将OLED材料按照预定程序蒸镀到低温多晶硅(LTPS)背板上，利用FMM上的图形，形成红绿蓝器件。蒸镀是在真空环境中，将有机材料加热、蒸发，并镀到基板上，量产中使用线性蒸发源和线性坩埚。器件的发光层通常使用两种或两种以上的材料来提高发光效率和寿命，为了确保多种材料蒸发到玻璃基板上的Profile(轮廓)重合，而不出现分层现象，传统的线性蒸发源上部采用分离式的角度板来控制蒸发材料的蒸发角度，不同的材料从各自的角度板空间中蒸发出来，并在到达玻璃基板上的途中进行混合，然后到达玻璃基板。如图1所示，每个坩埚喷嘴组102的出口处分别设置有角度板104(分离式的角度板)，坩埚的外壁设置有冷却壁103，不同的材料从各自的角度板104围成的空间中蒸发出来，并在到达玻璃基板101上的途中进行混合，然后到达玻璃基板101。但是，这种蒸发方式导致多种材料的Profile重合性并不好(通常小于80％)，使得由此制得的器件的性能较差，而且由于无加热装置，导致大量材料蒸发到角度板上，造成材料浪费，材料利用率较低(通常为20％左右)，而且材料在角度板上积累过多常常会导致材料掉落，引起坩埚喷嘴堵塞等现象，因此需要定期更换或清理角度板，导致日常清理维护比较繁琐。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提出一种蒸发源装置及蒸发镀膜设备，以解决多种材料的Profile重合性不好和/或蒸发材料利用率低的技术问题。基于上述目的，本技术提供的蒸发源装置包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置设置有喷嘴组和角度板，所述喷嘴组包括多个喷嘴，所述角度板位于所述喷嘴组两侧，所述角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。在本技术的一些实施例中，所述喷嘴组的四周分别设置有角度板，所述喷嘴组四周的角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。在本技术的一些实施例中，所述角度板设置有用于使所述角度板温度升高的电热元件。在本技术的一些实施例中，所述角度板的内部为中空结构，所述电热元件设置于所述中空结构中。在本技术的一些实施例中，所述电热元件选自电热丝、电热合金、微波加热器件、电热板、云母发热器件中的至少一种；和/或所述角度板朝向所述喷嘴组的一侧为陶瓷板和/或金属板。在本技术的一些实施例中，所述角度板在背离所述喷嘴组的另一侧设置有冷却板。在本技术的一些实施例中，所述冷却板的内部与循环冷却水连通；和/或所述冷却板的内部填充有冷却剂。在本技术的一些实施例中，所述角度板的开合角度可调。在本技术的一些实施例中，所述角度板的端部与加热装置的外壁铰接，所述角度板的端部能够绕着铰接处转动。本技术还提供一种蒸发镀膜设备，包括上述任意一个实施例中的蒸发源装置。从上面所述可以看出，本技术提供的蒸发源装置和蒸发镀膜设备将分离式的角度板变为只形成一个蒸发出口的角度板，确保多种材料从同一个蒸发出口蒸镀到玻璃基板上，保证多种材料混合度更加均一，从而保证蒸镀到玻璃基板上的膜层不会因材料蒸发的角度问题出现分层现象，可提高Profile重合性(＞80％)，继而保证了器件具有更高的效率。由于角度板的温度可控，可以通过使角度板温度升高，避免大量蒸镀材料在角度板上冷凝，减少材料因粘附到角度板上而造成的浪费，使尽可能多的材料可以通过蒸发出口喷发出去，到达玻璃基板表面，从而提高材料的利用率，也可以避免由于长时间的吸附粘黏材料角度控制会有所变化的问题和由于材料积累过多导致掉落引起坩埚喷嘴堵塞的问题。附图说明图1为现有技术中的蒸发源装置蒸镀时的结构示意图；图2为本技术一个实施例蒸发源装置的结构示意图；图3为本技术一个实施例蒸发源装置蒸镀时的结构示意图；图4为本技术实施例角度板的结构示意图；图5为本技术另一个实施例蒸发源装置的结构示意图；图6为本技术实施例角度板和冷却板的结构示意图；图7为本技术另一个实施例蒸发源装置蒸镀时的结构示意图；图8为本技术实施例蒸发源装置的角度板敞开时的结构示意图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本技术进一步详细说明。参考图2，其为本技术一个实施例蒸发源装置的结构示意图。作为本技术的一个实施例，所述蒸发源装置包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置设置有喷嘴组202和角度板204，所述喷嘴组202包括多个喷嘴，所述角度板204位于所述喷嘴组202两侧，所述角度板204在所述喷嘴组202的顶部形成一个蒸发出口206。参考图3，其为本技术一个实施例蒸发源装置蒸镀时的结构示意图。蒸镀时，不同的材料从喷嘴组202中蒸发出来，在角度板204之间进行均匀混合，并使蒸发材料最终从同一个蒸发出口206喷发出来，然后到达玻璃基板201。可见，本技术提供的蒸发源装置可以有效地使材料在蒸发源内部(角度板之间)进行均匀混合，并使蒸发材料最终从同一个蒸发出口喷发出来，避免因多种材料的Profile重合不好，导致蒸镀到玻璃基板表面的膜层出现分层现象，从而解决多种材料的Profile重合性不好的问题。可选地，所述喷嘴组202为线性喷嘴组，多个喷嘴沿着线源方向设置，有机材料从所述线性喷嘴组中蒸发出来，并通过同一个蒸发出口镀到玻璃基板上。作为本技术的又一个实施例，所述喷嘴组202的四周分别设置有角度板204，所述喷嘴组202四周的角度板204在所述喷嘴组202的顶部形成一个蒸发出口206。在本实施例中，这些设置在喷嘴组202四周的角度板在喷嘴组202的顶部形成一个蒸发出口206，不同的材料从喷嘴组202中蒸发出来，在角度板204之间进行均匀混合，并使蒸镀材料最终从同一个蒸发出口206喷发出来，然后到达玻璃基板201。因此，本技术提供的蒸发源装置可以有效地使材料在蒸发源内部(角度板之间)进行均匀混合，并使蒸镀材料最终从同一个蒸发出口喷发出来，避免因多种材料的Profile重合不好，导致蒸镀到玻璃基板表面的膜层出现分层现象，从而解决多种材料的Profile重合性不好的问题。在本实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸发源装置，其特征在于，包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置设置有喷嘴组和角度板，所述喷嘴组包括多个喷嘴，所述角度板位于所述喷嘴组两侧，所述角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置设置有喷嘴组和角度板，所述喷嘴组包括多个喷嘴，所述角度板位于所述喷嘴组两侧，所述角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述喷嘴组的四周分别设置有角度板，所述喷嘴组四周的角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。3.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述角度板设置有用于使所述角度板温度升高的电热元件。4.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，所述角度板的内部为中空结构，所述电热元件设置于所述中空结构中。5.根据权利要求3或4所述的蒸发源装置，其特征在于，所述电热元件选自...

【专利技术属性】
技术研发人员：李建，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京,11