氧化铝组合物、包含该组合物的基板以及该基板的制造方法技术

本发明专利技术提供一种包含氧和铝的氧化铝组合物，其中，基于整个氧化铝组合物的总原子，所包含的氧的量为40原子比例至70原子比例，所包含的铝的量为30原子比例至60原子比例。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】氧化铝组合物、包含该组合物的基板以及该基板的制造方法
本申请要求于2014年8月11日提交到韩国知识产权局的韩国专利申请No.10-2014-0103911、于2015年3月16日提交到韩国知识产权局的韩国专利申请No.10-2015-0036093和于2015年6月22日提交到韩国知识产权局的韩国专利申请No.10-2015-0088650的优先权和权益，这三项申请的内容通过引用全部并入本文。本申请涉及一种氧化铝组合物、包含该组合物的基板以及该基板的制造方法。
技术介绍
铝是多样地用于各种领域的轻质金属，并且已经使用各种不同的涂布剂或已经使用化学溶液来改变铝的特性。然而，通常，铝具有会增加生产成本并且会产生环境污染物的问题，因此，已经进行研究以减轻这种问题。[引用列表][专利文献]国际出版官方公报No.2007-064003
技术实现思路
技术问题本说明书的一个目的是提供一种化学稳定并且在成本方面经济有效的氧化铝组合物，所述氧化铝组合物的特性通过环境友好的方法赋予。技术方案本说明书的一个示例性实施方案提供一种包含氧和铝的氧化铝组合物，其中，基于全部氧化铝组合物的总原子，氧的含量为40原子比例至70原子比例，铝的含量为30原子比例至60原子比例。本说明书的一个示例性实施方案提供一种基板，包括：基底；铝层，设置在所述基底的至少一个表面上并且包含铝、氮化铝和氮氧化铝中的一种或多种；以及上述氧化铝组合物，设置在所述铝层的上表面和侧表面的至少一部分上。另外，本说明书的一个示例性实施方案提供一种基板，包括：基底；以及上述氧化铝组合物，设置在所述基底的至少一个表面上。本说明书的一个示例性实施方案提供一种氧化铝组合物的制备方法，该制备方法包括：将包含铝、氮化铝和氮氧化铝中的一种或多种的铝层浸渍在水中。最后，本说明书的一个示例性实施方案提供一种基板的制造方法，该制造方法包括：制备基底；在所述基底的至少一个表面上形成包含铝、氮化铝和氮氧化铝中的一种或多种的铝层；以及通过上述氧化铝组合物的制备方法，在所述铝层的上表面和侧表面的至少一部分上形成氧化铝组合物。有益效果根据本说明书的一个示例性实施方案的基板包含透明的氧化铝组合物，从而赋予其表面亲水特性。在本说明书中，可以包含透明的氧化铝组合物以形成透明基板。此外，氧化铝组合物使用氧化物，因此对外部环境稳定。另外，由于通过相对简单的表面改性，不需要单独进行用表面改性材料涂布或者等离子体表面处理，因此在加工时间和/或成本方面经济有效。根据另一示例性实施方案的基板具有根据氧化程度来提高粘附性(adhesion)的效果，并且可以通过调节加工时间来调节薄层电阻。另外，根据又一示例性实施方案的基板具有优异的透明度和低雾度值。附图说明图1是示出根据本说明书的一个示例性实施方案的氧化铝组合物的X射线衍射(XRD)的视图；图2至图4是示出通过X射线光电子能谱仪分析的根据本说明书的一个示例性实施方案的氧化铝组合物在深度方向上的含量的变化的结果的视图；图5是示出通过HR-TEM测定的根据本说明书的一个示例性实施方案的基板的横截面的视图；图6是示出根据本说明书的一个示例性实施方案的铝层的衍射花样的分析结果的视图；图7是示出根据本说明书的一个示例性实施方案的氧化铝组合物的衍射花样的分析结果的视图；图8是示出根据本说明书的一个示例性实施方案的基板的选区衍射花样(SADP)的分析结果的视图；图9至图13是示出根据本说明书的一个示例性实施方案的基板的侧表面结构的视图；图14是示出将基板浸渍在水中之前和之后，基板相对于水的接触角的视图；图15是示出当将氧化铝组合物层浸渍在水中时，通过扫描电子显微镜(SEM)观察的氧化铝组合物层的表面随时间的变化的视图；图16是示出当将氧化铝组合物层浸渍在水中时，粘附力和薄膜电阻值随时间的变化的曲线图；图17是示出将铝层浸渍在水中之前和之后，通过扫描电子显微镜(SEM)观察的铝层的厚度的视图；图18是示出当将铝层浸渍在水中时观察到的透光率随时间的变化的视图；图19是示出当将铝层浸渍在水中时透光率随时间的变化的曲线图；图20是示出当将铝层浸渍在水中时透光率随时间的变化的曲线图；图21是示出当将铝层浸渍在水中时雾度值随时间的变化的曲线图；图22是示出在比较例2和实施例7中制造的基板在从300nm至2,300nm的区域中的透光率的曲线图；图23是示出在比较例2和实施例7中制造的基板在从300nm至2,300nm的区域中的反射率的曲线图；图24是示出氧化铝组合物的生成速率随水的pH范围的变化的视图。[相关标号和符号的说明]101：基底102：铝层103：氧化铝组合物a：铝层的线宽b：铝层的厚度具体实施方式在本说明书中，当一个元件布置在另一元件“之上”时，这不仅包括一个元件与另一元件接触的情况，而且包括在这两个元件之间还存在又一元件的情况。在本说明书中，当一个部件“包含”一个组成元件时，除非另外特别描述，否则这并不表示排除另一组成元件，而是表示还可以包含另一组成元件。下文中，将更详细地描述本说明书。氧化铝组合物及其制备方法本说明书的一个示例性实施方案提供一种包含氧和铝的氧化铝组合物，其中，基于全部氧化铝组合物的总原子，氧的含量为40原子比例至70原子比例，铝的含量为30原子比例至60原子比例。在本说明书的一个示例性实施方案中，氧化铝组合物通过包括将包含铝、氮化铝和氮氧化铝中的一种或多种的铝层浸渍在水中来制备。通常，铝的氧化形式的反应可以如下面描述的进行，根据本说明书的一个示例性实施方案的氧化铝组合物由勃姆石(AlO(OH))、三羟铝石(Al(OH)3)、Al2O3和铝组成。基于全部氧化铝组合物的总原子，根据本说明书的一个示例性实施方案的氧化铝组合物包含的氧的含量为40原子比例至70原子比例，铝的含量为30原子比例至60原子比例。更具体地，氧的含量为55原子比例至60原子比例，铝的含量为40原子比例至45原子比例。图1是示出根据本说明书的一个示例性实施方案的氧化铝组合物的X射线衍射(XRD)的视图。在图1中，分别将铝、氮氧化铝与铝的层压体以及氮氧化铝的各铝层浸渍在100℃的去离子水(DI水)中3分钟至5分钟以形成氧化铝组合物，通过使用型号名称为K-Alpha(ThermoFisherScientific)的光电子能谱仪(XPS或ESCA)进行测定。-分析条件：PANalyticalExpertProMRDXRD，电压：45kV，电流：40am，CuK-α辐射(波长：A)从图1的结果可以确认赋予了特性的氧化铝组合物的成分。另外，图2至图4是示出通过X射线光电子能谱仪分析的根据本说明书的一个示例性实施方案的氧化铝组合物在深度方向上的含量的变化的结果的视图。图2是在PET基底上层压厚度为100nm的铝，然后将PET基底浸渍在去离子水(DI水)中以形成氧化铝组合物，并根据深度方向测定元素的比例的视图。图3是在PET基底上层压厚度为50nm的铝，并且层压厚度为50nm的氮氧化铝，然后将PET基底浸渍在去离子水(DI水)中以形成氧化铝组成组合物，并根据深度方向测定元素的比例的视图。图4是在PET基底上层压厚度为100nm的氮氧化铝，然后将PET基底浸渍在去离子水(DI水)中以形成氧化铝组合物本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种包含氧和铝的氧化铝组合物，其中，基于全部所述氧化铝组合物的总原子，氧的含量为40原子比例至70原子比例，铝的含量为30原子比例至60原子比例。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.08.11 KR 10-2014-0103911;2015.03.16 KR 10-2011.一种包含氧和铝的氧化铝组合物，其中，基于全部所述氧化铝组合物的总原子，氧的含量为40原子比例至70原子比例，铝的含量为30原子比例至60原子比例。2.一种基板，包括：基底；铝层，设置在所述基底的至少一个表面上并且包含铝、氮化铝和氮氧化铝中的一种或多种；以及根据权利要求1所述的氧化铝组合物，设置在所述铝层的上表面和侧表面的至少一部分上。3.一种基板，包括：基底；以及根据权利要求1所述的氧化铝组合物，设置在所述基底的至少一个表面上。4.根据权利要求2所述的基板，其中，所述基板相对于水的接触角为10度以下。5.根据权利要求2所述的基板，其中，所述氧化铝组合物设置在所述铝层的与所述基底相对的一个表面上的90％以上的区域。6.根据权利要求2所述的基板，其中，所述氧化铝组合物的粘附力大于所述铝层的粘附力的100％。7.根据权利要求2所述的基板，其中，与不包含所述氧化铝组合物的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东炫，李承宪，成知玹，金姝延，金萨拉，李贞沇，裵南锡，
申请(专利权)人：株式会社LG化学，
类型：发明
国别省市：韩国,KR