光偏转器的制造方法技术

本发明专利技术提供光偏转器的制造方法，光偏转器具备固定部以及可动部，可动部具备绕规定的摇动轴摇动从而使光偏转的镜部、被固定支承于固定部具有作为摇动轴的轴线的扭杆以及支承镜部且被固定于扭杆的支承体，支承体具备轴线经过的孔部，在孔部中配置有用于调整可动部的谐振频率的质量体，质量体是使可粘着的流体固化的构件，光偏转器的制造方法包含如下步骤：第1步骤，将驱动信号输入到没有在所述孔部中配置所述质量体的状态的所述光偏转器，使所述镜部摇动；第2步骤，在执行所述第1步骤的过程中，将流体状态的所述质量体提供给所述孔部；第3步骤，在执行所述第2步骤的过程中，当所述可动部的谐振频率到达预先规定的值时，停止所述质量体的提供。

Method for manufacturing optical deflector

The invention provides a method for manufacturing optical deflector, optical deflector has a fixed part and a movable part, the movable part has provided around the swing shaft so that the mirror, shaking the light deflection is fixed on the fixed part is supported as the rocking shaft axis of the torsion bar and the supporting part and fixed on the mirror supporting body torsion bar, the supporting body with hole axis passes, in the hole, is provided with means for mass resonance frequency adjustment of moving part, the quality of the component body is fluid curable adhesive, method of manufacturing the optical deflector includes the following steps: step first, the drive signal input to the optical deflector is not configured in the hole, the mass of the state, the mirror shook; the second step, in the execution process of the first step, the quality of body fluid state is provided to the hole; the third step In the course of performing the second step, the quality of the body is stopped when the resonance frequency of the movable part reaches a predetermined value.

【技术实现步骤摘要】
光偏转器的制造方法本申请是申请日为2014年5月28日、专利技术名称为“光偏转器、光偏转器的制造方法及光扫描装置”、申请号为“201410230681.0”的专利申请的分案申请。
本专利技术涉及用于形成静电潜像等的光偏转器的制造方法。
技术介绍
在电子照相方式的图像形成装置中，生成与图像数据对应调制的光束，使该光束反射、偏转，并使偏转的光束在如感光鼓般的像载体上进行扫描，从而形成静电潜像。光偏转器是使光束反射、偏转的设备。作为光偏转器，已有建议采用MEMS(MicroElectroMechanicalSystems)镜来代替多面镜(polygonmirror)的技术。MEMS镜具有扫描的高速化及降低耗电量等优点。采用MEMS镜的光偏转器具有：扭杆(torsionbar)、可绕扭杆的轴线摇动的镜部、以及镜驱动部。驱动信号被输入到镜驱动部，从而镜驱动部使MEMS镜的可动部谐振(振动)，使镜部成为绕扭杆的轴线摇动的状态，在该状态下使入射到镜部的光束反射、偏转，由此使光束进行扫描。MEMS镜的可动部，换言之则是MEMS镜的振动系统，其由镜部和扭杆构成。在按各MEMS镜将输入到MEMS镜的驱动信号的频率设为相同的值，并使用MEMS镜的情况下，需要按各MEMS镜分别调整MEMS镜的可动部的谐振频率(以下，也会仅记载为谐振频率)。这是因为如果谐振频率不同，则各MEMS镜的镜部的最大偏转角也不同。谐振频率取决于镜部的惯性矩及扭杆的弹簧常数(springconstant)等。只要这些物理量稍微不同，就会引起谐振频率的变化。例如，镜部的尺寸影响到镜部的惯性矩，镜部的尺寸只要与设计值偏离几微米，谐振频率就会发生变化。在MEMS镜的制造过程中，不可避免地产生上述物理量的误差，因此需要调整谐振频率。已有建议使MEMS镜的可动部的质量减轻从而调整谐振频率的技术、以及使MEMS镜的可动部的质量增加从而调整谐振频率的技术。前者是这样一种技术，即：将镜部的尺寸向左右两侧的方向变大，从而分别设置以扭杆为中心相互对称的第1区域及第2区域，并在各区域预先形成多个质量体，通过激光选择性地削掉质量体以减轻MEMS镜的可动部的质量，由此调整谐振频率数。后者是这样一种技术，即：将镜部的尺寸向左右两侧的方向变大，从而分别设置以扭杆为中心相互对称的第1区域及第2区域，并在各区域使固化性液体附着并固化来选择性地形成质量体，使得MEMS镜的可动部的质量增加，由此调整谐振频率数。惯性矩是将质量体与扭杆的轴线之间的距离的平方值乘以质量体的质量所得的值。在上述两种技术中，质量体位于远离扭杆的轴线的位置。据此，与质量体的质量变化相应的质量体的惯性矩的变化(即，MEMS镜的可动部的惯性矩的变化)较大。因而，在一边调整质量体的质量一边调整谐振频率的情况下，不利于谐振频率的微调。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种光偏转器的制造方法，能使光偏转器的可动部的谐振频率的调整精度得以提高。一种光偏转器的制造方法，其中，所述的光偏转器具备固定部以及可动部，所述可动部具备绕规定的摇动轴摇动从而使光偏转的镜部、被固定支承于所述固定部具有作为所述摇动轴的轴线的扭杆以及支承所述镜部且被固定于所述扭杆的支承体，其中，所述支承体具备所述轴线经过的孔部，在所述孔部中配置有用于调整所述可动部的谐振频率的质量体，所述质量体是使可粘着的流体固化的构件，所述光偏转器的制造方法的特征在于，其包含如下步骤：第1步骤，将驱动信号输入到没有在所述孔部中配置所述质量体的状态的所述光偏转器，使所述镜部摇动；第2步骤，在执行所述第1步骤的过程中，将流体状态的所述质量体提供给所述孔部；以及第3步骤，在执行所述第2步骤的过程中，当所述可动部的谐振频率到达预先规定的值时，停止所述质量体的提供。根据本专利技术，能使光偏转器的可动部的谐振频率的调整精度得以提高。附图说明图1是表示采用本实施方式所涉及的光偏转器的图像形成装置的内部结构的概略图。图2是表示图1所示的图像形成装置的结构的方框图。图3是表示构成图1所示的图像形成装置具备的光扫描装置的光学部件的配置关系的图。图4是本实施方式涉及的光偏转器的立体图。图5是将图4所示的光偏转器沿A1-A2线切断的剖视图。图6是在与图5相同的剖面中表示一侧的镜驱动部的PZT薄膜伸展、另一侧的镜驱动部的PZT薄膜收缩的状态的图。图7是从镜部的表面(光束的反射偏转面)侧观察本实施方式涉及的光偏转器所具备的设有镜部、扭杆、支承体、第1肋和第2肋的可动部的立体图。图8是从镜部的背面侧观察所述可动部的立体图。图9是将图7所示的可动部沿B1-B2线切断的放大剖视图。图10是将图7所示的可动部沿C1-C2线切断的放大剖视图。图11是将图7所示的可动部沿D1-D2线切断的放大剖视图。图12是放大图9中E所示的部分的剖视图。图13是表示输入到光偏转器的驱动电压的频率与镜部的最大偏转角的关系的图表。图14是在本实施方式涉及的光偏转器的制造方法中，为谐振频率的调整工序使用的调整系统的方框图。图15是与图9同样的剖面，表示用喷嘴向支承体的孔部提供质量体的状态。图16是表示本实施方式涉及的光偏转器的制造方法中谐振频率的调整工序的流程图。具体实施方式下面，按照附图详细说明本专利技术的实施方式。图1是表示采用本实施方式所涉及的光偏转器的图像形成装置1的内部结构的概略图。图像形成装置1，例如可应用于具有复印功能、打印功能、扫描功能及传真功能的数码复合机。图像形成装置1包括装置主体100、配置于装置主体100上的原稿读取部200、配置于原稿读取部200上的原稿提供部300及配置于装置主体100的上部前面的操作部400。原稿提供部300作为自动原稿输送装置发挥功能，将放在原稿载置部301上的多张原稿连续地输送给原稿读取部200。原稿读取部200具有：装载有曝光灯等的支架201；由玻璃等透明部件构成的原稿台203；图中未示出的CCD(ChargeCoupledDevice，电荷耦合元件)传感器及原稿读取缺口205。当要读取放在原稿台203上的原稿时，一边让支架201沿原稿台203的长边方向移动，一边由CCD传感器读取原稿。而当要读取原稿提供部300提供的原稿时，让支架201移动到与原稿读取缺口205相对的位置，由CCD传感器通过原稿读取缺口205读取从原稿提供部300输送来的原稿。CCD传感器将读取的原稿作为图像数据来输出。装置主体100具有纸张储存部101、图像形成部103及定影部105。纸张储存部101设置在装置主体100的最下部，具有用于储存纸摞的供纸盒107。储存在供纸盒107的纸摞中最上面的纸张通过抽取辊109的驱动被输送到纸张输送路111。纸张经过纸张输送路111，被输送到图像形成部103。图像形成部103在输送来的纸张上形成调色剂图像。图像形成部103具有感光鼓113、光扫描装置115、显影部117及转印部119。光扫描装置115生成与图像数据(从原稿读取部200输出的图像数据、从个人电脑发送来的图像数据、传真机接收的图像数据等)对应调制的光，将该光照射到均匀带电的感光鼓113的周面。由此，在感光鼓113的周面形成与图像数据对应的静电潜像。在此状态下由显影部117向感光鼓113的周面提供调色剂，从而在周面上形成对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光偏转器的制造方法，其中，所述的光偏转器具备固定部以及可动部，所述可动部具备绕规定的摇动轴摇动从而使光偏转的镜部、被固定支承于所述固定部具有作为所述摇动轴的轴线的扭杆以及支承所述镜部且被固定于所述扭杆的支承体，其中，所述支承体具备所述轴线经过的孔部，在所述孔部中配置有用于调整所述可动部的谐振频率的质量体，所述质量体是使可粘着的流体固化的构件，所述光偏转器的制造方法的特征在于，其包含如下步骤：第1步骤，将驱动信号输入到没有在所述孔部中配置所述质量体的状态的所述光偏转器，使所述镜部摇动；第2步骤，在执行所述第1步骤的过程中，将流体状态的所述质量体提供给所述孔部；以及第3步骤，在执行所述第2步骤的过程中，当所述可动部的谐振频率到达预先规定的值时，停止所述质量体的提供。

【技术特征摘要】
2013.05.31 JP 2013-1154631.一种光偏转器的制造方法，其中，所述的光偏转器具备固定部以及可动部，所述可动部具备绕规定的摇动轴摇动从而使光偏转的镜部、被固定支承于所述固定部具有作为所述摇动轴的轴线的扭杆以及支承所述镜部且被固定于所述扭杆的支承体，其中，所述支承体具备所述轴线经过的孔部，在所述孔部中配置有用于调整所述可动部的谐振频率的质量体，所述质量体是使可粘着的流体固化的构件，所述光偏转器的制造方法的特征在于，其包含如下步骤：第1步骤，将驱动信号输入到没有在所述孔部中...

【专利技术属性】
技术研发人员：水谷秀次，
申请(专利权)人：京瓷办公信息系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP