一种籽晶轴传动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种籽晶轴传动装置。其包括安装座、升降机构，所述升降机构包括由伺服电机驱动的竖向设置的丝杠和安装在丝杠上的丝母座，所述安装座固定连接在所述丝杠的丝母座上，所述安装座上设有籽晶轴旋转机构，其包括由伺服电机驱动转动的转动轴，其特征是：在所述丝杠与驱动其转动的伺服电机之间安装有常开式电磁离合器A，在所述丝杠的下端安装有常闭式电磁离合器C与传动轴B连接，在所述传动轴B上安装有锥齿轮，所述锥齿轮的外侧设有端部连接有手轮的传动轴A，所述传动轴A上设有与所述锥齿轮相啮合的齿轮；在所述转动轴上安装有常开式电磁离合器B。

Seed crystal shaft transmission device

The utility model discloses a seed crystal shaft transmission device. It comprises a mounting seat and a lifting mechanism, the lifting mechanism comprises a vertical driven by a servo motor set screw and nut seat installed in the screw, the mounting seat is fixedly connected with the nut base of the screw, the mounting seat is provided with a seed shaft rotating mechanism, which comprises a the servo motor drive shaft rotation, and is characterized in that between the screw and drive the rotation of the servo motor is installed a normally open type electromagnetic clutch A, at the bottom of the screw is installed on the normally closed electromagnetic clutch C is connected with the transmission shaft B, a bevel gear mounted on the transmission shaft B. The outside of the bevel gear with drive shaft at the end of A is connected with a hand wheel, meshed with the bevel gear of the gear with the transmission shaft is A; the rotating shaft is provided with a normally open electromagnetic clutch B.

【技术实现步骤摘要】
一种籽晶轴传动装置
本技术涉及一种籽晶轴传动装置，属于碳化硅生产设备

技术介绍
液相法生长碳化硅晶体是通过加热将硅在高纯石墨坩埚中融化，形成碳在硅中的溶液，再通过头部贴付有籽晶的籽晶轴伸入到溶液中去生长晶体。生长过程中，籽晶轴需要进行提拉和旋转。现有的籽晶轴传动装置中，籽晶轴直接与驱动其旋转的旋转轴连接，旋转轴由电机驱动，当遇到停电等问题时，籽晶轴在电机惯性力的作用下会继续旋转，而停电时，坩埚内的溶液温度会下降，冷却的液体会将籽晶轴粘住，从而易导致已经长成的晶体损坏；另外，现有的籽晶轴传动装置中的提拉装置包括电机和丝杠，安装有籽晶轴旋转机构的安装座连接在与丝杠配合的丝母座上，通过丝杠的旋转带动丝母上下升降，从而实现籽晶轴的提拉，但是该籽晶轴传动装置在遇到停电等情况时，无法将坩埚内的籽晶轴快速提拉出来。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述缺陷，本技术提供了一种能够在停电时保护已经生长的晶体不被坏、且能在停电时快速将坩埚内的籽晶轴提拉出来的籽晶轴传动装置。本技术是通过如下技术方案来实现的：一种籽晶轴传动装置，包括安装座、升降机构，所述升降机构包括由伺服电机驱动的竖向设置的丝杠和安装在丝杠上的丝母座，所述安装座固定连接在所述丝杠的丝母座上，所述安装座上设有籽晶轴旋转机构，其包括由伺服电机驱动转动的转动轴，其特征是：在所述丝杠与驱动其转动的伺服电机之间安装有常开式电磁离合器A，在所述丝杠的下端安装有常闭式电磁离合器C与传动轴B连接，在所述传动轴B上安装有锥齿轮，所述锥齿轮的外侧设有端部连接有手轮的传动轴A，所述传动轴A上设有与所述锥齿轮相啮合的齿轮；在所述转动轴上安装有常开式电磁离合器B。本技术在正常工作时，电磁离合器A和电磁离合器B通电吸合，而电磁离合器C分离，在相应的电机的带动下可以实现籽晶轴的提拉和旋转。当出现停电时，电磁离合器A和电磁离合器B分离，而电磁离合器C吸合，通过转动手轮，利用相啮合的齿轮带动传动轴B和升降装置的丝杠转动，从而通过丝母座带动籽晶轴升降，实现了在断电状态下可以通过手动方式将籽晶轴快速提升出来。本技术结构简单，使用可靠，其能够在停电时通过电磁离合器使转动轴分离，从而保护已经生长的晶体不被坏，且能在停电时通过手动方式快速将坩埚内的籽晶轴提拉出来。附图说明图1为本技术具体实施方式中的结构示意图；图中，1、固定架，2、丝母座，3、锥齿轮，4、齿轮，5、传动轴A，6、手轮，7、转动轴，8、电磁离合器B，9、安装座，10、丝杠，11、电磁离合器A，12、伺服电机，13、伺服电机，14、齿轮，15、电磁离合器C，16、传动轴B。具体实施方式下面通过非限定性的实施例并结合附图对本技术作进一步的说明：如附图所示，一种籽晶轴传动装置，包括安装座9、升降机构，所述升降机构包括由伺服电机12驱动的竖向设置的丝杠10和安装在丝杠10上的丝母座2、固定架1，伺服电机12和丝杠10均安装在固定架1上。在所述丝杠10与驱动其转动的伺服电机10的输出轴之间安装有常开式电磁离合器A11，在所述丝杠10的下端安装有常闭式电磁离合器C15与传动轴B16连接，在所述传动轴B16上安装有锥齿轮3，所述锥齿轮3的外侧设有端部连接有手轮6的传动轴A5，所述传动轴A5上设有与所述锥齿轮3相啮合的齿轮4。所述安装座9固定连接在所述丝杠10的丝母座2上，所述安装座9上设有籽晶轴旋转机构，其包括由伺服电机13驱动转动的转动轴7，伺服电机13通过一对啮合的齿轮14驱动转动轴7转动，在所述转动轴7上安装有常开式电磁离合器B8。本技术在正常工作时，电磁离合器A11和电磁离合器B8通电吸合，而电磁离合器C15分离，此时在伺服电机12的带动下丝杠10旋转可以带动安装座升降，可以实现籽晶轴的提拉，在伺服电机8的带动下，旋转轴7可以旋转从而带动与其连接的籽晶轴旋转。此时，传动轴B16和锥齿轮3不转动。当出现停电时，电磁离合器A和电磁离合器B分离，而电磁离合器C吸合，此时，通过转动手轮6，利用相啮合的锥齿轮3和齿轮4带动传动轴B16和丝杠10转动，通过丝母座2带动安装座进行升降，从而带动籽晶轴升降，实现了在断电状态下可以通过手动方式将籽晶轴快速提升出来。本实施例中的其他部分为现有技术，在此不再赘述。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种籽晶轴传动装置，包括安装座(9)、升降机构，所述升降机构包括由伺服电机驱动的竖向设置的丝杠和安装在丝杠上的丝母座(2)，所述安装座(9)固定连接在所述丝杠的丝母座(2)上，所述安装座(9)上设有籽晶轴旋转机构，其包括由伺服电机驱动转动的转动轴(7)，其特征是：在所述丝杠与驱动其转动的伺服电机之间安装有常开式电磁离合器A(11)，在所述丝杠的下端安装有常闭式电磁离合器C(15)与传动轴B(16)连接，在所述传动轴B(16)上安装有锥齿轮(3)，所述锥齿轮(3)的外侧设有端部连接有手轮的传动轴A(5)，所述传动轴A(5)上设有与所述锥齿轮(3)相啮合的齿轮(4)；在所述转动轴(7)上安装有常开式电磁离合器B(8)。

【技术特征摘要】
1.一种籽晶轴传动装置，包括安装座(9)、升降机构，所述升降机构包括由伺服电机驱动的竖向设置的丝杠和安装在丝杠上的丝母座(2)，所述安装座(9)固定连接在所述丝杠的丝母座(2)上，所述安装座(9)上设有籽晶轴旋转机构，其包括由伺服电机驱动转动的转动轴(7)，其特征是：在所述丝杠与驱动其转动的伺服电机之间安装有常...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗艳民，王晓，梁庆瑞，窦文涛，
申请(专利权)人：山东天岳晶体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37